JP5594545B2 - X線管 - Google Patents
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Description
電子を放出する電子放出源と、
前記電子放出源が放出した電子が照射され、X線を吸収しない材質で形成され、その内面に電子が衝突することによりX線を放射する部材が配置された複数の中空パイプを束ねたマイクロキャピラリと、
前記マイクロキャピラリが放射したX線を外部に取り出す窓材と、
を具備したものである。X線を発生させるターゲット基材とX線を平行化する部材を兼ねることができるので、ゾーンプレート等のX線を平行化、収束化する部材が不要になり、X線の減衰を小さくすることができる。また、簡単にマイクロキャピラリを作ることができる。
前記X線を放射する部材を、前記マイクロキャピラリの前記電子が衝突する面にも配置するようにしたものである。発生するX線の強度が高くなる。
本発明によれば、X線を発生させるターゲット基材、あるいはX線を外部に取り出す窓材と、X線を平行化、収束化する部材を兼用するようにした。
λ=c/(e/h)=ch/e ・・・・・・・ (2)
但し、c=光速(2.99792458E+08m/s)、h=プランク定数(6.62602876E-34)、e=電子の電荷(1.6021892E-19J、1J=6.24E18eVで換算)である。
5keVでλ≒0.248nm
10leVでλ≒0.124nm
になる。5keVのX線を焦点距離f=1000mm位置に収束させるためには、最内側の輪帯の半径r1を15.7μmにすればよい。
11 ゾーンプレート
12 測定対象
14 検出器
21、26 ヒータ
22、27 ターゲット基材
23、28、30 窓材
24、29 高圧電源
31、32 カソード
40 マイクロキャピラリ
41 中空パイプ
42 タングステン
Claims (2)
- 電子を放出する電子放出源と、
前記電子放出源が放出した電子が照射され、X線を吸収しない材質で形成され、その内面に電子が衝突することによりX線を放射する部材が配置された複数の中空パイプを束ねたマイクロキャピラリと、
前記マイクロキャピラリが放射したX線を外部に取り出す窓材と、
を具備したことを特徴とするX線管。 - 前記X線を放射する部材を、前記マイクロキャピラリの前記電子が衝突する面にも配置するようにしたことを特徴とする請求項1記載のX線管。
Priority Applications (1)
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JP2012195006A JP5594545B2 (ja) | 2012-09-05 | 2012-09-05 | X線管 |
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JP2008045843A Division JP5119974B2 (ja) | 2008-02-27 | 2008-02-27 | X線管 |
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JP2012234843A JP2012234843A (ja) | 2012-11-29 |
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ID=47434917
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JPS6298541A (ja) * | 1985-10-24 | 1987-05-08 | Shozo Ino | 細管型対陰極を用いたx線発生方法及び装置 |
JPH0745223A (ja) * | 1993-06-17 | 1995-02-14 | Hamamatsu Photonics Kk | X線管 |
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