JP2012230816A5 - - Google Patents
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すなわち、本発明に係る有機ＥＬ素子の製造方法は、
気化された有機層形成材料をノズルから吐出させることにより、該ノズルに対して相対的に移動する基材上に有機層を形成する蒸着工程を含み、前記有機層からなり基材移動方向に対して垂直な方向の幅Ａ（ｍｍ）を有する発光領域を形成する有機ＥＬ素子の製造方法であって、
ロール状に巻き取られた帯状の前記基材を繰り出し、繰り出した前記基材を巻き取ることによって前記基材を移動させつつ、且つ、前記ノズルの開口部における前記基材移動方向と垂直方向の長さをＷ（ｍｍ）、前記開口部と前記基材との距離をｈ（ｍｍ）とするとき、式Ｗ≧Ａ＋２×ｈ（但し、Ｗ＝５〜１００ｍｍ、Ａ＝３〜９０ｍｍ、ｈ≦５ｍｍである。）を満たすようにして前記蒸着工程を行なうことを特徴とする。
気化された有機層形成材料をノズルから吐出させることにより、該ノズルに対して相対的に移動する基材上に有機層を形成する蒸着工程を含み、前記有機層からなり基材移動方向に対して垂直な方向の幅Ａ（ｍｍ）を有する発光領域を形成する有機ＥＬ素子の製造方法であって、
ロール状に巻き取られた帯状の前記基材を繰り出し、繰り出した前記基材を巻き取ることによって前記基材を移動させつつ、且つ、前記ノズルの開口部における前記基材移動方向と垂直方向の長さをＷ（ｍｍ）、前記開口部と前記基材との距離をｈ（ｍｍ）とするとき、式Ｗ≧Ａ＋２×ｈ（但し、Ｗ＝５〜１００ｍｍ、Ａ＝３〜９０ｍｍ、ｈ≦５ｍｍである。）を満たすようにして前記蒸着工程を行なうことを特徴とする。
また、本発明に係る有機ＥＬ素子の製造装置は、
気化された有機層形成材料をノズルから吐出することにより、該ノズルに対して相対的に移動する基材上に有機層を形成する蒸着源を備え、有機層からなり基材移動方向に対して垂直な方向の幅Ａ（ｍｍ）を有する発光領域を形成するように構成された有機ＥＬ素子の製造装置であって、
ロール状に巻き取られた帯状の前記基材を繰り出し、繰り出した前記基材を巻き取ることによって前記基材を移動させつつ、且つ、前記ノズルの開口部における前記基材移動方向と垂直方向の長さをＷ（ｍｍ）、前記開口部と前記基材との距離をｈ（ｍｍ）とするとき、式Ｗ≧Ａ＋２×ｈ（但し、Ｗ＝５〜１００ｍｍ、Ａ＝３〜９０ｍｍ、ｈ≦５ｍｍである。）を満たすように構成されたことを特徴とする。
気化された有機層形成材料をノズルから吐出することにより、該ノズルに対して相対的に移動する基材上に有機層を形成する蒸着源を備え、有機層からなり基材移動方向に対して垂直な方向の幅Ａ（ｍｍ）を有する発光領域を形成するように構成された有機ＥＬ素子の製造装置であって、
ロール状に巻き取られた帯状の前記基材を繰り出し、繰り出した前記基材を巻き取ることによって前記基材を移動させつつ、且つ、前記ノズルの開口部における前記基材移動方向と垂直方向の長さをＷ（ｍｍ）、前記開口部と前記基材との距離をｈ（ｍｍ）とするとき、式Ｗ≧Ａ＋２×ｈ（但し、Ｗ＝５〜１００ｍｍ、Ａ＝３〜９０ｍｍ、ｈ≦５ｍｍである。）を満たすように構成されたことを特徴とする。
上記開口幅Ｗは、ｈが５ｍｍ以下であり、且つ、Ｗ≧Ａ＋２×ｈを満たす。但し、開口幅Ｗが小さ過ぎると発光領域Ｒを形成するのに十分な有機層を形成できないおそれがあり、大き過ぎると製造装置の大型化を招きコストが増大するおそれがある。例えば、開口幅Ｗが５ｍｍ未満であると、発光エリアが狭くなり、スループットが低下するおそれがあり、開口幅Ｗが１０００ｍｍを超えると、装置の大型化を招き、装置コストがかかるおそれがある。従って、例えばかかる観点を考慮して開口幅Ｗを適宜設計することができ、開口幅Ｗは、５ｍｍ以上１００ｍｍ以下であり、１０ｍｍ以上７０ｍｍ以下であることが好ましい。また、開口幅Ｗが基材２１の幅より大きいと、有機層形成用材料２２が無駄に飛散するおそれがあるため、かかる観点を考慮して、例えば開口幅Ｗは基材２１の幅以下であることが好ましい。
上記発光幅Ａは、ｈが５ｍｍ以下であり、且つ、Ｗ≧Ａ＋２×ｈを満たす。但し、Ａが小さ過ぎると発光領域Ｒが小さくなり過ぎて有機ＥＬ素子として十分な発光が得られないおそれがあり、大き過ぎると微小な異物の混入によって歩留まりが低下するおそれがある。また、発光幅Ａは、有機ＥＬ素子が用いられる用途等に応じて設計されるという性質も有する。従って、例えばかかる観点を考慮して発光幅Ａを適宜設計することができ、発光幅Ａは、３ｍｍ以上９０ｍｍ以下であり、５ｍｍ以上６０ｍｍ以下であることが好ましい。
Claims (2)
- 気化された有機層形成材料をノズルから吐出させることにより、該ノズルに対して相対的に移動する基材上に有機層を形成する蒸着工程を含み、前記有機層からなり基材移動方向に対して垂直な方向の幅Ａ（ｍｍ）を有する発光領域を形成する有機ＥＬ素子の製造方法であって、
ロール状に巻き取られた帯状の前記基材を繰り出し、繰り出した前記基材を巻き取ることによって前記基材を移動させつつ、且つ、前記ノズルの開口部における前記基材移動方向と垂直方向の長さをＷ（ｍｍ）、前記開口部と前記基材との距離をｈ（ｍｍ）とするとき、式Ｗ≧Ａ＋２×ｈ（但し、Ｗ＝５〜１００ｍｍ、Ａ＝３〜９０ｍｍ、ｈ≦５ｍｍである。）を満たすようにして前記蒸着工程を行なうことを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。 - 気化された有機層形成材料をノズルから吐出することにより、該ノズルに対して相対的に移動する基材上に有機層を形成する蒸着源を備え、有機層からなり基材移動方向に対して垂直な方向の幅Ａ（ｍｍ）を有する発光領域を形成するように構成された有機ＥＬ素子の製造装置であって、
ロール状に巻き取られた帯状の前記基材を繰り出し、繰り出した前記基材を巻き取ることによって前記基材を移動させつつ、且つ、前記ノズルの開口部における前記基材移動方向と垂直方向の長さをＷ（ｍｍ）、前記開口部と前記基材との距離をｈ（ｍｍ）とするとき、式Ｗ≧Ａ＋２×ｈ（但し、Ｗ＝５〜１００ｍｍ、Ａ＝３〜９０ｍｍ、ｈ≦５ｍｍである。）を満たすように構成されたことを特徴とする有機ＥＬ素子の製造装置。
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