JP2012222311A - 板状物の研磨方法 - Google Patents
板状物の研磨方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012222311A JP2012222311A JP2011089791A JP2011089791A JP2012222311A JP 2012222311 A JP2012222311 A JP 2012222311A JP 2011089791 A JP2011089791 A JP 2011089791A JP 2011089791 A JP2011089791 A JP 2011089791A JP 2012222311 A JP2012222311 A JP 2012222311A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- plate
- chuck table
- polishing pad
- holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 145
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 238000000926 separation method Methods 0.000 abstract 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 32
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 9
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】 板状物の裏面を板状物の直径より大きな半径の研磨面を有する研磨パッドで研磨する板状物の研磨方法であって、板状物を保持する保持面を有するチャックテーブルで板状物の表面側を保持する保持ステップと、該チャックテーブルで保持された板状物の裏面全面を該研磨パッドの研磨面で覆った状態で、該研磨パッドが装着されたスピンドルを回転させて板状物を研磨する研磨ステップとを具備し、該研磨ステップでは、該研磨パッドの回転中心から外側に向かって該研磨面と該保持面とが離反する方向に相対的に傾斜するように該スピンドルの回転軸と該チャックテーブルの回転軸とを相対的に傾斜させて研磨を実施することを特徴とする。
【選択図】図3
Description
10 研磨ユニット
11 光デバイスウエーハ
13 サファイア基板
19 光デバイス
21 表面保護テープ
24 研磨ヘッド
26 研磨パッド
26b 研磨面
36 チャックテーブル
Claims (1)
- 板状物の裏面を板状物の直径より大きな半径の研磨面を有する研磨パッドで研磨する板状物の研磨方法であって、
板状物を保持する保持面を有するチャックテーブルで板状物の表面側を保持する保持ステップと、
該チャックテーブルで保持された板状物の裏面全面を該研磨パッドの研磨面で覆った状態で、該研磨パッドが装着されたスピンドルを回転させて板状物を研磨する研磨ステップとを具備し、
該研磨ステップでは、該研磨パッドの回転中心から外側に向かって該研磨面と該保持面とが離反する方向に相対的に傾斜するように、該スピンドルの回転軸と該チャックテーブルの回転軸とを相対的に傾斜させて研磨を実施することを特徴とする板状物の研磨方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011089791A JP2012222311A (ja) | 2011-04-14 | 2011-04-14 | 板状物の研磨方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011089791A JP2012222311A (ja) | 2011-04-14 | 2011-04-14 | 板状物の研磨方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012222311A true JP2012222311A (ja) | 2012-11-12 |
Family
ID=47273469
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011089791A Pending JP2012222311A (ja) | 2011-04-14 | 2011-04-14 | 板状物の研磨方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2012222311A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018160627A (ja) * | 2017-03-23 | 2018-10-11 | 株式会社ディスコ | ウエーハの研磨方法及び研磨装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07297195A (ja) * | 1994-04-27 | 1995-11-10 | Speedfam Co Ltd | 半導体装置の平坦化方法及び平坦化装置 |
JP2002346910A (ja) * | 2001-05-22 | 2002-12-04 | Sony Corp | 研磨方法および装置 |
JP2004356480A (ja) * | 2003-05-30 | 2004-12-16 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研磨装置 |
JP2005262441A (ja) * | 2005-05-11 | 2005-09-29 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ガラス基板研磨方法 |
JP2006175534A (ja) * | 2004-12-21 | 2006-07-06 | Nippon Quality Links Kk | 研磨方法及び研磨装置 |
JP2007319994A (ja) * | 2006-06-01 | 2007-12-13 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研磨パッド |
JP2008279553A (ja) * | 2007-05-11 | 2008-11-20 | Nitta Haas Inc | 研磨パッド |
JP2009090389A (ja) * | 2007-10-04 | 2009-04-30 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハの研削加工装置 |
-
2011
- 2011-04-14 JP JP2011089791A patent/JP2012222311A/ja active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07297195A (ja) * | 1994-04-27 | 1995-11-10 | Speedfam Co Ltd | 半導体装置の平坦化方法及び平坦化装置 |
JP2002346910A (ja) * | 2001-05-22 | 2002-12-04 | Sony Corp | 研磨方法および装置 |
JP2004356480A (ja) * | 2003-05-30 | 2004-12-16 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研磨装置 |
JP2006175534A (ja) * | 2004-12-21 | 2006-07-06 | Nippon Quality Links Kk | 研磨方法及び研磨装置 |
JP2005262441A (ja) * | 2005-05-11 | 2005-09-29 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ガラス基板研磨方法 |
JP2007319994A (ja) * | 2006-06-01 | 2007-12-13 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研磨パッド |
JP2008279553A (ja) * | 2007-05-11 | 2008-11-20 | Nitta Haas Inc | 研磨パッド |
JP2009090389A (ja) * | 2007-10-04 | 2009-04-30 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハの研削加工装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018160627A (ja) * | 2017-03-23 | 2018-10-11 | 株式会社ディスコ | ウエーハの研磨方法及び研磨装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI710427B (zh) | 磨削輪及被加工物的磨削方法 | |
US9768049B2 (en) | Support plate and method for forming support plate | |
JP2013004726A (ja) | 板状物の加工方法 | |
TWI668751B (zh) | Grinding method of workpiece | |
JP2018120916A (ja) | ウェーハの研削方法 | |
JP2012222311A (ja) | 板状物の研磨方法 | |
JP5415181B2 (ja) | ウエーハの研削装置 | |
JP5777383B2 (ja) | 研磨パッド及び該研磨パッドを使用した板状物の研磨方法 | |
JP2010094789A (ja) | 研削ホイール | |
JP5841738B2 (ja) | ウェーハの研削方法 | |
JP2010046744A (ja) | サファイアウエーハの研削方法 | |
JP2021058943A (ja) | 基板の研削方法 | |
JP2017017214A (ja) | ウェーハの研磨方法 | |
JP2019062147A (ja) | 保護部材の加工方法 | |
JP2019062148A (ja) | 保護部材の加工方法 | |
JP5653234B2 (ja) | 硬質基板の研削方法 | |
JP5955069B2 (ja) | ウエーハの研削方法 | |
JP5934491B2 (ja) | サファイア基板の研削方法 | |
JP2012091245A (ja) | 研削装置 | |
JP2012151410A (ja) | 硬質基板の研削方法 | |
JP2023109277A (ja) | 研削方法 | |
JP2011044475A (ja) | ウエーハの研削装置 | |
JP2023114076A (ja) | 被加工物の加工方法 | |
JP2019059007A (ja) | 保護部材の加工方法 | |
JP5939792B2 (ja) | サファイア基板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140324 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150305 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150310 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150331 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151117 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20160524 |