JP2012220338A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012220338A5 JP2012220338A5 JP2011086303A JP2011086303A JP2012220338A5 JP 2012220338 A5 JP2012220338 A5 JP 2012220338A5 JP 2011086303 A JP2011086303 A JP 2011086303A JP 2011086303 A JP2011086303 A JP 2011086303A JP 2012220338 A5 JP2012220338 A5 JP 2012220338A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement
- unit
- shape
- measured
- information
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 54
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 9
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011086303A JP5948729B2 (ja) | 2011-04-08 | 2011-04-08 | 形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011086303A JP5948729B2 (ja) | 2011-04-08 | 2011-04-08 | 形状測定装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012220338A JP2012220338A (ja) | 2012-11-12 |
| JP2012220338A5 true JP2012220338A5 (cg-RX-API-DMAC7.html) | 2014-05-29 |
| JP5948729B2 JP5948729B2 (ja) | 2016-07-06 |
Family
ID=47272004
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011086303A Active JP5948729B2 (ja) | 2011-04-08 | 2011-04-08 | 形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5948729B2 (cg-RX-API-DMAC7.html) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015152585A (ja) * | 2014-02-19 | 2015-08-24 | 小林 茂樹 | 金属表面の形状測定装置及び形状検査装置 |
| JP6507067B2 (ja) * | 2015-08-27 | 2019-04-24 | 株式会社日立製作所 | 計測方法、計測装置及びこれを用いた製造方法 |
| WO2017038903A1 (ja) * | 2015-08-31 | 2017-03-09 | 株式会社ニコン | 表面形状測定装置および表面形状測定プログラム |
| JP6489220B2 (ja) * | 2015-08-31 | 2019-03-27 | 株式会社ニコン | 表面形状測定装置および表面形状測定プログラム |
| JP6543170B2 (ja) * | 2015-11-09 | 2019-07-10 | 株式会社東芝 | 計測装置及び計測方法 |
| JP2018165655A (ja) * | 2017-03-28 | 2018-10-25 | 凸版印刷株式会社 | 対象物計測制御装置及び対象物計測制御方法 |
| WO2022189327A1 (de) * | 2021-03-12 | 2022-09-15 | Saint-Gobain Glass France | Iteratives verfahren zur ermittlung der oberflächenform eines platten- oder schichtartigen gegenstands mit hoher messgenauigkeit |
| JP7600859B2 (ja) | 2021-05-19 | 2024-12-17 | オムロン株式会社 | 情報処理システム、情報処理方法、プログラム |
| WO2024214290A1 (ja) * | 2023-04-14 | 2024-10-17 | 三菱電機株式会社 | 計測経路生成装置、計測経路生成方法および計測システム |
| JP7531037B1 (ja) | 2023-08-30 | 2024-08-08 | 株式会社キーエンス | 光学式変位計 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63253206A (ja) * | 1987-04-10 | 1988-10-20 | Mitsubishi Electric Corp | 形状計測装置 |
| JPH04176543A (ja) * | 1990-11-08 | 1992-06-24 | Fanuc Ltd | デジタイジング制御装置 |
| JPH074932A (ja) * | 1993-06-17 | 1995-01-10 | Mazda Motor Corp | 物体の形状測定方法およびその装置 |
-
2011
- 2011-04-08 JP JP2011086303A patent/JP5948729B2/ja active Active