JP2012212836A - 放電ランプ点灯装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】フル点灯モードによる供給電力が大きくなったときに、発光管の封止部のクラックの発生や金属箔の破断の発生を防止することができる放電ランプ点灯装置を提供する。
【解決手段】発光部の両端に箔シール構造の封止部が形成されてなる発光管を有するロングアーク型の放電ランプ10と、この放電ランプに給電する給電装置20とを備えてなり、前記放電ランプが、前記給電装置によって、フル点灯モードと、このフル点灯モードによる供給電力より小さい電力を供給するスタンバイ点灯モードとを切り替えて点灯されると共に、前記フル点灯モードによる供給電力が定照度制御される放電ランプ点灯装置であって、前記フル点灯モードによる供給電力が大きくなったときに、これに応じて前記スタンバイ点灯モードによる供給電力が大きくなるよう制御される。
【選択図】図1

Description

本発明は、フル点灯モードと、このフル点灯モードより低い電力を供給するスタンバイ点灯モードとを切り替えて放電ランプを点灯する放電ランプ点灯装置に関するものである。
現在、例えば光硬化性接着剤等の硬化処理やプリント基板などの露光処理においては、光照射装置が利用されており、この光照射装置における光源としては、ロングアーク型の放電ランプが広く用いられている。このロングアーク型の放電ランプは、直管状の発光部の両端に金属箔が埋設された箔シール構造の封止部が形成されてなる発光管内に、一対の電極が互いに対向するよう配置されて構成されている。
このような光照射装置においては、一の被照射処理物に対する光照射処理が終了した後、後続の被照射処理物に対する光照射処理を行う前までの間の電力消費を少なくするため、被照射処理物に対して光照射処理を行うフル点灯モードと、このフル点灯モードより低い電力、例えばフル点灯モードによる供給電力の30〜70%の電力を供給するスタンバイ点灯モードとを切り替えて放電ランプを点灯する放電ランプ点灯装置を備えてなるものが知られている(特許文献1参照。)。
而して、このような光照射装置に用いられる放電ランプ点灯装置においては、フル点灯モードにおいて放電ランプに一定の値の電力を供給する場合には、放電ランプを長時間点灯すると、当該放電ランプの照度が低下するため、被照射処理物に対する光照射量を一定の値に維持するために、放電ランプの供給電力は定照度制御される。
特開2009−104839号公報
しかしながら、上記の放電ランプ点灯装置においては、フル点灯モードによる供給電力が大きくなったときに、発光管の封止部にクラックが発生したり、封止部に埋設された金属箔における電極との接続部分に破断が生じたりする、という問題があることが判明した。これは、フル点灯モードによる供給電力が大きくなったときに、フル点灯モードによる供給電力とスタンバイ点灯モードによる供給電力との差が過度に大きくなることにより、フル点灯モードからスタンバイ点灯モードに切り替えられたときに放電ランプに急激な温度変化が生じるためであると考えられる。
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、フル点灯モードとスタンバイ点灯モードとを切り替えて放電ランプを点灯すると共に、フル点灯モードによる供給電力が定照度制御される放電ランプ点灯装置において、フル点灯モードによる供給電力が大きくなったときにも、発光管の封止部におけるクラックの発生や金属箔の破断の発生を防止することができる放電ランプ点灯装置を提供することにある。
本発明の放電ランプ点灯装置は、発光部の両端に箔シール構造の封止部が形成されてなる発光管を有するロングアーク型の放電ランプと、この放電ランプに給電する給電装置とを備えてなり、前記放電ランプが、前記給電装置によって、フル点灯モードと、このフル点灯モードによる供給電力より小さい電力を供給するスタンバイ点灯モードとを切り替えて点灯されると共に、前記フル点灯モードによる供給電力が定照度制御される放電ランプ点灯装置であって、
前記フル点灯モードによる供給電力が大きくなったときに、これに応じて前記スタンバイ点灯モードによる供給電力が大きくなるよう制御されることを特徴とする。
本発明の放電ランプ点灯装置においては、前記スタンバイ点灯モードによる供給電力と前記フル点灯モードによる供給電力との差が定格電力に対して50%以下であることが好ましい。
本発明の放電ランプ点灯装置によれば、フル点灯モードによる供給電力が大きくなったときに、これに応じてスタンバイ点灯モードによる供給電力が大きくなるよう制御されることにより、フル点灯モードによる供給電力が大きくなったときにも、フル点灯モードによる供給電力とスタンバイ点灯モードによる供給電力との差が過度に大きくなることがないため、フル点灯モードからスタンバイ点灯モードに切り替えられたときに放電ランプに急激な温度変化が生じることが抑制される。その結果、発光管の封止部におけるクラックの発生や金属箔の破断の発生を防止することができ、従って、放電ランプにおいて長い使用寿命が得られる。
本発明の放電ランプ点灯装置の一例における構成を示す説明図である。 図1に示す放電ランプ点灯装置における放電ランプの構成を示す説明図である。
以下、本発明の放電ランプ点灯装置の実施の形態について説明する。
図1は、本発明の放電ランプ点灯装置の一例における構成を示す説明図である。この放電ランプ点灯装置は、ロングアーク型の放電ランプ10と、この放電ランプ10に電力を供給する給電装置20とを備えてなるものである。
放電ランプ10は、図2に示すように、直管状の発光部12の両端の各々に箔シール構造の封止部13が形成された発光管11を有し、この発光管11における発光部12内には、それぞれタングステンよりなる一対の電極14,15が互いに対向するよう配置されて構成されている。
具体的に説明すると、一対の電極14,15の各々は、発光管11の管軸方向に沿って伸びる棒状の軸部14b,15bと、この軸部14b,15bの各々の先端に連続して形成された円柱状の頭部14a,15aとにより構成されており、それぞれの頭部14a,15aが互いに対向するよう配置されると共に、各軸部14b,15bの基端部分が封止部13の各々に埋設されることによって保持されている。発光管11における封止部13の各々の内部には、モリブデンよりなる金属箔16,17が気密に埋設され、金属箔16,17の各々の一端には、一対の電極14,15の各々における軸部14b,15bの基端が例えばスポット溶接によって溶接されて電気的に接続されており、一方、金属箔16,17の他端には、封止部13の外端から外方に突出する外部リード18,19が例えばスポット溶接によって溶接されて電気的に接続されている。
発光管11は例えば石英ガラスにより構成され、この発光管11の発光部12内には、例えば、水銀および発光物質、ハロゲンおよび希ガスが封入されている。
発光物質としては、鉄、コバルト、ニッケル、鉛、ガリウム、マグネシウム、錫、タリウム、マンガン等のを用いることができる。
ハロゲンとしては、ヨウ素を用いることが好ましい。
希ガスとしては、アルゴンガスを用いることが好ましい。
このような放電ランプ10の具体的な寸法の一例を示すと、発光管11における発光部12の長さが1100mm、外径が26.1mm、内径が22.5mm(肉厚が1.8mm)、電極間距離が1100mmである。
給電装置20は、フル点灯モードと、このフル点灯モードによる供給電力より小さい電力を供給するスタンバイ点灯モードとを切り替えて放電ランプ10を点灯する機能を有すると共に、フル点灯モードによる供給電力を定照度制御する、すなわちフル点灯モードによる供給電力を放電ランプ10からの光による照度が一定の値になるよう制御する機能を有するものである。
この例の給電装置20は、放電ランプ10に矩形波電圧および電流を供給するランプ電源21と、このランプ電源21を制御する制御機構22と、ランプ電源21から放電ランプ10に供給される電力の電圧値および電流値を測定する電力モニター23と、放電ランプ10からの光の照度を測定する照度計24とにより構成されている。
制御機構22は、ランプ電源21、電力モニター23および照度計24の各々に接続されており、この制御機構22によって、フル点灯モードとスタンバイ点灯モードとが切り替えられると共に、電力モニター23および照度計24からの出力信号に基づいて、ランプ電源21から放電ランプ10に供給される電力が制御される。
ここで、フル点灯モードによる供給電力の定照度制御は、電力モニター23および照度計24からの出力信号に基づいて連続的に実行されてもよいが、照度が特定の値に低下したときに供給電力を増加するよう段階的に実行されてもよい。例えば照度計24によって検出される照度(以下、「検出照度」という。)が初期照度の95%に低下するまで一定の供給電力で放電ランプ10を点灯し、検出照度が初期照度の95%に達したときに、当該検出照度が初期照度と同等となるよう供給電力を制御してもよい。
そして、本発明の放電ランプ点灯装置においては、フル点灯モードによる供給電力が大きくなったときに、これに応じてスタンバイ点灯モードによる供給電力が大きくなるよう制御される。具体的には、フル点灯モードからスタンバイ点灯モードに切り替えられるときに、フル点灯モードによる供給電力とスタンバイ点灯モードによる供給電力との差が、予め設定された値(以下、「最大電力差」という。)を超えないよう、当該スタンバイ点灯モードによる供給電力が制御される。
ここで、最大電力差は、放電ランプ10の仕様や放電ランプ10に実際に供給される電力の値などに応じて適宜設定されるが、例えば定格電力が電極間距離の単位長さ当たり160W/cmの放電ランプ10を用いる場合には、最大電力差は、定格電力に対して50%以下とされることが好ましい。
スタンバイ点灯モードによる供給電力は、通常、フル点灯モードによる供給電力の30〜70%の範囲で設定されるが、消費電力の低減化の観点から、フル点灯モードによる供給電力の50%以下であることが好ましい。
また、スタンバイ点灯モードによる供給電力は、電極間距離の単位長さ当たり50W/cm以上であることが好ましい。この供給電力が過小である場合には、放電ランプ10を点灯させることが困難となることがある。
このような放電ランプ点灯装置によれば、フル点灯モードによる供給電力が大きくなったときに、これに応じてスタンバイ点灯モードによる供給電力が大きくなるよう制御されることにより、フル点灯モードによる供給電力が大きくなったときにも、フル点灯モードによる供給電力とスタンバイ点灯モードによる供給電力との差が過度に大きくなることがないため、フル点灯モードからスタンバイ点灯モードに切り替えられたときに放電ランプ10に急激な温度変化が生じることが抑制される。その結果、発光管11の封止部13におけるクラックの発生や金属箔16,17の破断の発生を防止することができ、従って、放電ランプ10において長い使用寿命が得られる。
図2に示す構成に従い、下記の仕様の放電ランプを作製した。
・発光管(11)は石英ガラス製で、発光部(12)の長さが1100mm、発光部(12)の外径が26.1mm、発光部(12)の内径が22.5mm(肉厚が1.8mm)、発光部(12)の内容積が450cm3 であり、封止部(13)の長さが30mm、外径が10mmである。
・電極の各々はタングステン製で、電極間距離が1100mmである。
・金属箔(16,17)は、モリブデン製で、厚みが0.025mmで幅が5mmのものを2枚使用した2枚箔シールである。
・発光管内には、水銀75mg、鉄4.8mg、ヨウ素15mgおよび静圧で6kPaのアルゴンガスが封入されている。
・定格電力が17.6kW(電極間距離の単位長さ当たりの定格電力が160W/cm)である。
〈実験例1〉
フル点灯モードによる供給電力が14.85kW(電極間距離の単位長さ当たり135W/cm)、スタンバイ点灯モードによる供給電力が5.5kW(電極間距離の単位長さ当たり50W/cm)の条件で、上記の放電ランプを、フル点灯モードで30秒間点灯した後にスタンバイ点灯モードで30秒間点灯する操作を繰り返しながら合計で300時間点灯させる連続点灯試験を行った。
次いで、フル点灯モードによる供給電力を17.6kW(電極間距離の単位長さ当たり160W/cm)に変更すると共に、スタンバイ点灯モードによる供給電力を8.25kW(電極間距離の単位長さ当たり75W/cm)に変更し、この条件で、上記と同様の連続点灯試験を行った。
以上において、フル点灯モードによる供給電力とスタンバイ点灯モードによる供給電力との差は9.35kW(電極間距離の単位長さ当たり85W/cm)である。
上記の試験が終了した後、放電ランプにおける発光管の封止部を観察したところ、クラックや金属箔の破断は認められなかった。
〈実験例2〉
フル点灯モードによる供給電力が14.85kW(電極間距離の単位長さ当たり135W/cm)、スタンバイ点灯モードによる供給電力が5.5kW(電極間距離の単位長さ当たり50W/cm)の条件で、上記の放電ランプを、フル点灯モードで30秒間点灯した後にスタンバイ点灯モードで30秒間点灯する操作を繰り返しながら合計で300時間点灯させる連続点灯試験を行った。
次いで、フル点灯モードおよびスタンバイ点灯モードによる供給電力を、それぞれ550W(電極間距離の単位長さ当たり5W/cm)ずつ増加して上記と同様の連続点灯試験を行った。このように、フル点灯モードおよびスタンバイ点灯モードによる供給電力を増加して連続点灯試験を行う操作をフル点灯モードの供給電力が17.6kW(電極間距離の単位長さ当たり160W/cm)に達するまで行った。
以上において、フル点灯モードによる供給電力とスタンバイ点灯モードによる供給電力との差は9.35kW(電極間距離の単位長さ当たり85W/cm)である。
上記の試験が終了した後、放電ランプにおける発光管の封止部を観察したところ、クラックや金属箔の破断は認められなかった。
〈比較実験例1〉
フル点灯モードによる供給電力が14.85kW(電極間距離の単位長さ当たり135W/cm)、スタンバイ点灯モードによる供給電力が6.6kW(電極間距離の単位長さ当たり60W/cm)の条件で、上記の放電ランプを、フル点灯モードで30秒間点灯した後にスタンバイ点灯モードで30秒間点灯する操作を繰り返しながら合計で300時間点灯させる連続点灯試験を行った。
次いで、フル点灯モードによる供給電力を、550W(電極間距離の単位長さ当たり5W/cm)ずつ増加して上記と同様の連続点灯試験を行った。このように、フル点灯モードによる供給電力のみを増加して連続点灯試験を行う操作を繰り返したところ、フル点灯モードの供給電力が16.5kW(電極間距離の単位長さ当たり150W/cm)の条件(フル点灯モードによる供給電力とスタンバイ点灯モードによる供給電力との差が9.9kW(電極間距離の単位長さ当たり90W/cm)となる条件)で連続点灯試験を行ったときに、放電ランプにおける発光管の封止部にクラックが発生したことが確認された。
〈比較実験例2〉
フル点灯モードによる供給電力が15.95kW(電極間距離の単位長さ当たり145W/cm)、スタンバイ点灯モードによる供給電力が7.7kW(電極間距離の単位長さ当たり70W/cm)の条件で、上記の放電ランプを、フル点灯モードで30秒間点灯した後にフル点灯モードで30秒間点灯する操作を繰り返しながら合計で300時間点灯させる連続点灯試験を行った。
次いで、フル点灯モードによる供給電力を、550W(電極間距離の単位長さ当たり5W/cm)ずつ増加して上記と同様の連続点灯試験を行った。このように、フル点灯モードによる供給電力のみを増加して連続点灯試験を行う操作を繰り返したところ、フル点灯モードの供給電力が17.6kW(電極間距離の単位長さ当たり160W/cm)の条件(フル点灯モードによる供給電力とスタンバイ点灯モードによる供給電力との差が9.9kW(電極間距離の単位長さ当たり90W/cm)となる条件)で連続点灯試験を行ったときに、放電ランプにおける発光管の封止部にクラックが発生したことが確認された。
以上の結果から明らかなように、フル点灯モードによる供給電力が大きくなったときに、これに応じてスタンバイ点灯モードによる供給電力が大きくなるよう制御されることにより、発光管の封止部におけるクラックの発生や金属箔の破断の発生が防止されることが確認された。
10 放電ランプ
11 発光管
12 発光部
13 封止部
14,15 電極
14a,15a 頭部
14b,15b 軸部
16,17 金属箔
18,19 外部リード
20 給電装置
21 ランプ電源
22 制御機構
23 電力モニター
24 照度計

Claims (2)

  1. 発光部の両端に箔シール構造の封止部が形成されてなる発光管を有するロングアーク型の放電ランプと、この放電ランプに給電する給電装置とを備えてなり、前記放電ランプが、前記給電装置によって、フル点灯モードと、このフル点灯モードによる供給電力より小さい電力を供給するスタンバイ点灯モードとを切り替えて点灯されると共に、前記フル点灯モードによる供給電力が定照度制御される放電ランプ点灯装置であって、
    前記フル点灯モードによる供給電力が大きくなったときに、これに応じて前記スタンバイ点灯モードによる供給電力が大きくなるよう制御されることを特徴とする放電ランプ点灯装置。
  2. 前記スタンバイ点灯モードによる供給電力と前記フル点灯モードによる供給電力との差が定格電力に対して50%以下であることを特徴とする請求項1に記載の放電ランプ点灯装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPWO2014167406A1 (ja) * 2013-04-09 2017-02-16 株式会社オーク製作所 光源装置および光源装置を備えた露光装置
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