JP2012210049A - 圧電アクチュエーター、ロボット及びロボットハンド - Google Patents

圧電アクチュエーター、ロボット及びロボットハンド Download PDF

Info

Publication number
JP2012210049A
JP2012210049A JP2011073556A JP2011073556A JP2012210049A JP 2012210049 A JP2012210049 A JP 2012210049A JP 2011073556 A JP2011073556 A JP 2011073556A JP 2011073556 A JP2011073556 A JP 2011073556A JP 2012210049 A JP2012210049 A JP 2012210049A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric
piezoelectric actuator
sliding portion
diaphragm
wear
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2011073556A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2012210049A5 (enExample
Inventor
Akira Matsuzawa
明 松沢
Osamu Miyazawa
修 宮澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2011073556A priority Critical patent/JP2012210049A/ja
Publication of JP2012210049A publication Critical patent/JP2012210049A/ja
Publication of JP2012210049A5 publication Critical patent/JP2012210049A5/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Manipulator (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
JP2011073556A 2011-03-29 2011-03-29 圧電アクチュエーター、ロボット及びロボットハンド Withdrawn JP2012210049A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011073556A JP2012210049A (ja) 2011-03-29 2011-03-29 圧電アクチュエーター、ロボット及びロボットハンド

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011073556A JP2012210049A (ja) 2011-03-29 2011-03-29 圧電アクチュエーター、ロボット及びロボットハンド

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2012210049A true JP2012210049A (ja) 2012-10-25
JP2012210049A5 JP2012210049A5 (enExample) 2014-04-03

Family

ID=47189357

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011073556A Withdrawn JP2012210049A (ja) 2011-03-29 2011-03-29 圧電アクチュエーター、ロボット及びロボットハンド

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2012210049A (enExample)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105048861A (zh) * 2014-04-30 2015-11-11 精工爱普生株式会社 压电驱动器以及机器臂
US9381653B2 (en) 2014-03-10 2016-07-05 Samsung Electronics Co., Ltd. Robot and substrate handling apparatus including the same
JP2017139831A (ja) * 2016-02-01 2017-08-10 セイコーエプソン株式会社 圧電アクチュエーター、積層アクチュエーター、圧電モーター、ロボット、ハンド、及び送液ポンプ
US10601345B2 (en) 2015-12-03 2020-03-24 Seiko Epson Corporation Piezoelectric driving device, motor, robot, and pump
US10658950B2 (en) 2016-07-28 2020-05-19 Seiko Epson Corporation Piezoelectric actuator, piezoelectric motor, robot, and electronic component conveyance apparatus

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09285155A (ja) * 1996-04-12 1997-10-31 Nikon Corp 振動アクチュエータ
JP2006223078A (ja) * 2005-02-14 2006-08-24 Denso Corp 回転電機
JP2008286402A (ja) * 2008-06-30 2008-11-27 Gates Unitta Asia Co 寿命予知可能なタイミングベルト及びその製造方法
JP2009017722A (ja) * 2007-07-06 2009-01-22 Seiko Epson Corp 超音波モータおよび電子機器
JP2009136939A (ja) * 2007-12-04 2009-06-25 Toyota Industries Corp ロボットハンド
JP2009232622A (ja) * 2008-03-24 2009-10-08 Nikon Corp 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒、カメラ
JP2010233339A (ja) * 2009-03-26 2010-10-14 Seiko Epson Corp 圧電モーター、液体噴射装置及び時計

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09285155A (ja) * 1996-04-12 1997-10-31 Nikon Corp 振動アクチュエータ
JP2006223078A (ja) * 2005-02-14 2006-08-24 Denso Corp 回転電機
JP2009017722A (ja) * 2007-07-06 2009-01-22 Seiko Epson Corp 超音波モータおよび電子機器
JP2009136939A (ja) * 2007-12-04 2009-06-25 Toyota Industries Corp ロボットハンド
JP2009232622A (ja) * 2008-03-24 2009-10-08 Nikon Corp 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒、カメラ
JP2008286402A (ja) * 2008-06-30 2008-11-27 Gates Unitta Asia Co 寿命予知可能なタイミングベルト及びその製造方法
JP2010233339A (ja) * 2009-03-26 2010-10-14 Seiko Epson Corp 圧電モーター、液体噴射装置及び時計

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9381653B2 (en) 2014-03-10 2016-07-05 Samsung Electronics Co., Ltd. Robot and substrate handling apparatus including the same
CN105048861A (zh) * 2014-04-30 2015-11-11 精工爱普生株式会社 压电驱动器以及机器臂
CN105048861B (zh) * 2014-04-30 2018-11-02 精工爱普生株式会社 压电驱动器以及机器臂
US10601345B2 (en) 2015-12-03 2020-03-24 Seiko Epson Corporation Piezoelectric driving device, motor, robot, and pump
JP2017139831A (ja) * 2016-02-01 2017-08-10 セイコーエプソン株式会社 圧電アクチュエーター、積層アクチュエーター、圧電モーター、ロボット、ハンド、及び送液ポンプ
US10658950B2 (en) 2016-07-28 2020-05-19 Seiko Epson Corporation Piezoelectric actuator, piezoelectric motor, robot, and electronic component conveyance apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6113280B2 (ja) 超音波振動デバイス、超音波振動デバイスの製造方法および超音波医療装置
US8525387B2 (en) Piezoelectric actuator, motor, robot hand, and robot
JP2012210049A (ja) 圧電アクチュエーター、ロボット及びロボットハンド
JP2012253990A (ja) 圧電アクチュエーター、ロボットハンド、及びロボット
JP2012253989A (ja) 圧電アクチュエーター、ロボットハンド、及びロボット
JP4035157B2 (ja) 超音波アクチュエータ
CN105324928A (zh) 超声电机
JP5621687B2 (ja) 圧電アクチュエーター、ロボットハンド及びロボット
JP2014180298A (ja) 指アシスト装置
JP2006094591A (ja) 超音波モータとその運転方法
KR101904747B1 (ko) 진동파 모터, 렌즈 경통 및 카메라
JP2012210053A (ja) 圧電アクチュエーター、ロボット及びロボットハンド
JP2007306799A (ja) 超音波アクチュエータ
JP2014079135A (ja) 圧電アクチュエーター、ロボットハンド、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置、搬送装置
JP5776269B2 (ja) 圧電アクチュエーター、ロボット及びロボットハンド
JP2004274916A (ja) アクチュエータ
JP7746037B2 (ja) 振動型アクチュエータ、光学機器および電子機器
JP6107894B2 (ja) 圧電アクチュエーター、ロボット及びロボットハンド
CN112636630A (zh) 压电致动器、压电电机及机器人
WO2011093307A1 (ja) 超音波モータ用振動子摩擦接触部材および超音波モータ用振動子
JP7272177B2 (ja) 圧電駆動装置およびロボット
JP2010172157A (ja) 超音波モータ駆動装置
JP4578799B2 (ja) 圧電アクチュエータ及びそれを用いた電子機器
JP2008172885A (ja) 超音波アクチュエータ
JPH05252767A (ja) 超音波モータ

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140213

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20140213

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20141003

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20141021

A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20141202