JP2012204686A - 固体撮像装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本実施形態の固体撮像装置は、半導体基板10内の画素形成領域内に設けられる光電変換素子5と、半導体基板10上及び光電変換素子5上に設けられ、光電変換素子の上方に少なくとも1つの凸部4を含む絶縁膜41と、絶縁膜41上に設けられる配線層31と、絶縁膜41上及び配線層31上に設けられ、凸部4に対応するように形成された傾斜角を有する段差部6を含む絶縁膜42と、を含む。
【選択図】図3
Description
以下、図面を参照しながら、本実施形態について詳細に説明する。以下の説明において、同一の機能及び構成を有する要素については、同一符号を付し、重複する説明は必要に応じて行う。
図1乃至図6を参照して、第1の実施形態の固体撮像装置の構造及び製造方法について説明する。
図1乃至図3を用いて、本実施形態の固体撮像装置の構造について、説明する。
第1の層間絶縁膜40上に、第1の配線層(例えば、金属層)30が設けられている。第1の金属層30は、半導体基板10表面に対して垂直方向においてフォトダイオード5の上方を覆わないように、設けられている。金属層30は、フォトダイオード50と上下に重ならない位置に配置されている。金属層30は、隣接する画素間の遮光膜として、用いられる。
すなわち、段差領域は、下地層(層間絶縁膜)41の凸部4に対して自己整合的に生じた段差部6によって、形成される。傾斜角を有する段差部6によって、層間絶縁膜/保護膜40,41,42からフォトダイオードへの光の反射が抑制される。
図3乃至図6を用いて、第1の実施形態の固体撮像装置(例えば、イメージセンサ)の製造方法について、説明する。図4乃至図6は、第1の実施形態の固体撮像装置の製造方法の各工程にける断面工程図を示している。
図7を参照して、第2の実施形態の固体撮像装置について、説明する。
図7は、本実施形態の固体撮像装置(例えば、ラインCCDセンサ)の画素の構造を示す平面図である。尚、A−A’線に沿う断面構造は、図3に示される構造と実質的に同じであるため、ここでの説明は省略する。
但し、本実施形態のように、保護膜42内の段差部6を形成するための凸部4Aは、画素形成領域15の一端から他端まで延在するストライプ状(ライン状)の平面形状を有していてもよい。
Claims (6)
- 半導体基板内の画素形成領域内に設けられる光電変換素子と、
半導体基板上及び光電変換素子上に設けられ、前記光電変換素子の上方に少なくとも1つの凸部を含む第1の絶縁膜と、
前記第1の絶縁膜上に設けられる配線層と、
前記第1の絶縁膜上及び前記配線層上に設けられ、前記凸部に対応するように形成された傾斜角を有する段差部を含む第2の絶縁膜と、
を具備することを特徴とする固体撮像装置。 - 前記配線層の側面は、前記第2の絶縁膜によって覆われていることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。
- 前記凸部は、粒状の平面形状を有していることを特徴とする請求項1又は2に記載の固体撮像装置。
- 前記凸部は、前記画素形成領域の一端から他端まで延在するストライプ状の平面形状を有していることを特徴とする請求項1又は2に記載の固体撮像装置。
- 前記段差部は、前記凸部に対応する上部にさらに平坦部を有し、前記平坦部の面積は、前記凸部の面積より小さいことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 半導体基板内に、光電変換素子を形成する工程と、
前記半導体基板上及び前記光電変換素子上に、前記光電変換素子上方に凸部を有する第1の絶縁膜を形成する工程と、
前記第1の絶縁膜上に、配線層を形成する工程と、
前記第1の絶縁膜上及び前記配線層を覆うように、第2の絶縁膜を形成し、前記凸部に対して自己整合的に、前記第2の絶縁膜内に段差部を形成する工程と、
を具備することを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
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JP2011068910A JP2012204686A (ja) | 2011-03-25 | 2011-03-25 | 固体撮像装置及びその製造方法 |
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JP2019004073A (ja) * | 2017-06-16 | 2019-01-10 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置およびスキャナ |
US10825852B2 (en) | 2018-08-13 | 2020-11-03 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Solid state imaging device |
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JP7084700B2 (ja) | 2017-06-16 | 2022-06-15 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置およびスキャナ |
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