JP2012201942A - Sn又はSn合金めっき材及びその製造方法 - Google Patents
Sn又はSn合金めっき材及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012201942A JP2012201942A JP2011068630A JP2011068630A JP2012201942A JP 2012201942 A JP2012201942 A JP 2012201942A JP 2011068630 A JP2011068630 A JP 2011068630A JP 2011068630 A JP2011068630 A JP 2011068630A JP 2012201942 A JP2012201942 A JP 2012201942A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alloy plating
- surface treatment
- plating
- treatment layer
- less
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229910001128 Sn alloy Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 70
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 67
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 56
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims abstract description 121
- 239000002335 surface treatment layer Substances 0.000 claims abstract description 44
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 35
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 19
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 24
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 24
- -1 phosphate ester compound Chemical class 0.000 claims description 18
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims description 15
- YXIWHUQXZSMYRE-UHFFFAOYSA-N benzothiazolyl mercaptan Natural products C1=CC=C2SC(S)=NC2=C1 YXIWHUQXZSMYRE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 13
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 12
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 claims description 11
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 claims description 10
- 238000000921 elemental analysis Methods 0.000 claims description 8
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 6
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 5
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract description 29
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 28
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 abstract description 20
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 abstract description 12
- 238000003825 pressing Methods 0.000 abstract description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 24
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 14
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 12
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 10
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 10
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 10
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 8
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 7
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 7
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 5
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 5
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 5
- 125000003438 dodecyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 4
- 238000004451 qualitative analysis Methods 0.000 description 4
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 3
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 3
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 3
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 3
- VLDHWMAJBNWALQ-UHFFFAOYSA-N sodium;3h-1,3-benzothiazole-2-thione Chemical compound [Na+].C1=CC=C2SC(S)=NC2=C1 VLDHWMAJBNWALQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 2
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 2
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 2
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004833 X-ray photoelectron spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000010583 slow cooling Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
Abstract
【解決手段】 金属基材11、金属基材11上に形成されたSn又はSn合金めっき13、及び、Sn又はSn合金めっき13上に形成された表面処理層14を備え、前記Sn及びSn合金めっき13のめっき厚が0.2μm以上であり、XPS(X線光電子分光装置)のSurvey測定で前記表面処理層表面の元素分析を行ったとき、リン(P)の2S軌道の結合エネルギー(P2S)のピークが186〜192eVにあり、Pを0.5at%以上5.0at%未満含有し、カーボン(C)の1S軌道の結合エネルギー(C1S)のピークが284〜290eVにあり、Cを35at%以上80at%未満含有するSn又はSn合金めっき材10。
【選択図】 図1
Description
また、特許文献3の技術の場合、Snめっき材のプレス加工時にSn粉が多く発生し、プレスしためっき材に粉起因の打根が多く発生するという問題がある。
すなわち、本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、プレス加工時の粉発生を抑制し、低接触抵抗及び高はんだ濡れ性を有し、長時間加熱後もこれら特性を保持するSn又はSn合金めっき材及びその製造方法を提供することを課題とする。
金属基材11としては、特に限定されないが、例えばコネクター材料に用いる場合は、銅又は銅合金が好ましい。銅又は銅合金は、導電性が高い、展延性に富む、及び、ばね特性が良好という利点を有するためである。
下地めっき12としては、特に限定されないが、例えば、Cr、Fe、Co、Ni、Cu及びZnからなる群より選択される1種類以上の金属で形成することができる。下地めっき12の厚みは、0.2〜5.0μmであることが好ましい。下地めっき12の厚みが0.2μm未満の場合には、金属基材成分がSn又はSn合金めっきに拡散し、接触抵抗が高くなり、且つ、はんだ濡れ性を悪くする恐れがある。一方、下地めっき12の厚みが5.0μm超えた場合には特性上の問題はないが、コストが高くなるといった問題が生じる。
Sn又はSn合金めっき13は、0.2μm以上の厚みに形成されている。0.2μm未満の厚みの場合には、接触抵抗が高く、はんだ濡れ性も悪くする恐れがある。一方、厚みが厚くなると共に挿入力が高くなるため、厚みは好ましくは3.0μm未満、より好ましくは2.0μm未満、更に好ましくは1.0μm未満である。Sn合金めっきの構成材料としては、特に限定されないが、例えば、Sn合金めっきとして一般的なSb、Pb、Ni、Mo、Mn、Fe、Cu、Cr、Co及びBiからなる群より選択される1種類以上の金属を含むことが好ましい。その場合、Sn合金めっきのSnが90質量%以上存在することが、接触抵抗の抑制、及び、はんだ濡れ性の向上、更には長時間加熱(155℃×16h×大気)におけるそれらの特性の保持の点からより好ましい。
表面処理層14は、リン(P)及びカーボン(C)を含んでいる。表面処理層14がリンを含んでいないと、長時間加熱(155℃×16h×大気)によってSn又はSn合金めっきが変色して接触抵抗やはんだ濡れ性が悪くなるおそれがある。また、リンは耐熱性を改善させる効果がある。また、カーボンを含んでいないと、プレス加工時に粉発生が多く、挿入力も低下しないおそれがある。
本発明の実施形態に係るSn又はSn合金めっき材10は、XPS(X線光電子分光装置)のSurvey測定で表面処理層14の元素存在分析を行ったとき、リン(P)の2S軌道の結合エネルギー(P2S)のピークが186〜192eVにあり、Pを0.5at%以上5.0at%未満含有し、カーボン(C)の1S軌道の結合エネルギー(C1S)のピークが284〜290eVにあり、Cを35at%以上80at%未満含有する。
プレス加工時の粉発生を抑制し、低接触抵抗及び高はんだ濡れ性を有し、長時間加熱後もこれら特性を保持するSn又はSn合金めっき材を得るためには、Pの2S軌道の結合エネルギー(P2S)のピークが186〜192eVにあることが必須であるが、このような範囲に結合エネルギー(P2S)のピークがあっても、Pが0.5at%未満であると、長時間加熱(155℃×16h×大気)によってSn又はSn合金めっきが変色して、接触抵抗が加熱前と比較して増加し、耐熱性が悪くなる。また、Pが5.0at以上存在すると、Pの低導電性により接触抵抗が高くなる。
さらに、プレス加工時の粉発生を抑制し、低接触抵抗及び高はんだ濡れ性を有し、長時間加熱後もこれら特性を保持するSn又はSn合金めっき材を得るためには、Cの1S軌道の結合エネルギー(C1S)のピークが284〜290eVにあることが必須であるが、このような範囲に結合エネルギー(C1S)のピークがあっても、Cが35at%未満であるとプレス加工時に粉が多く発生し、Cが80at%以上であると接触抵抗が高くなる。また、Cが50at%以上80at%未満であると、更にめっき材の特性が改善し、挿入力も低くなるため好ましい。
本発明の実施形態に係るSn又はSn合金めっき材10は、XPSのDepth測定で表面処理層14の元素存在分析を行ったとき、Cが表面処理層14の表面から0.5nmまでの領域に35at%以上80at%未満存在し、且つ、Cを20at%以上含む領域が表面処理層14の表面から15nm未満であり、酸素(O)を30at%以上含む領域が表面処理層14の表面から15nm未満であるのが好ましい。
Cが表面処理層14の表面から0.5nmまでの領域に最表面に35at%未満で存在するとプレス加工時に粉が多く発生し、80at%以上で存在すると接触抵抗が高くなる。また、Cを20at%以上含む領域が表面処理層14の表面から15nm以上で存在する場合には長時間加熱(155℃×16h×大気)の接触抵抗が加熱前と比較して増加し、耐熱性が悪くなる。
さらに、Oを30at%以上含む領域が表面処理層14の表面から15nm以上で存在する場合には、接触抵抗が高く、長時間加熱(155℃×16h×大気)の接触抵抗が加熱前と比較して増加し、耐熱性も悪くなる。
また、Cが表面処理層14の表面から0.5nmまでの領域に50at%以上80at%未満存在し、且つ、Cを20at%以上含む領域が表面処理層14の表面から2nm以上15nm未満であると、更にめっき材の特性が改善し、挿入力も低くなるため好ましい。
Sn又はSn合金めっきは、金属基材の表面に、下地めっき、厚みが0.2μm以上のSn又はSn合金めっき、表面潤滑処理を順に施すことによって得られる。なおSn又はSn合金めっき後に必要応じてリフロー処理を施しても良い。また、表面潤滑処理は、リン及びカーボンを両方含有しており、具体的にはリン酸エステル系化合物及びメルカプトベンゾチアゾール系化合物を含有していることが好ましい。これらの濃度は、化合物の形態によって異なるが、例えば、ラウリル酸性リン酸モノエステルの場合には0.1〜3.0質量%、メルカプトベンゾチアゾールのナトリウム塩等の場合には0.010〜0.100質量%とする。リフロー処理条件としては、めっき厚やSn又はSn合金めっきの種類により異なるが、230〜700℃で0.3〜120秒間行うのが適切である。リン酸エステル系化合物は、化合物中のリンがSn又はSn合金めっきと反応してめっきの表面に保護膜を生成し、この保護膜が、Sn又はSn合金めっきの変色防止として機能する。また、メルカプトベンゾチアゾール系化合物は、Sn又はSn合金めっきと反応してめっきの表面に保護膜を生成し、この保護膜が、Sn又はSn合金めっきの粉発生を抑制し、更に挿入力を低下する効果がある。リン酸エステル系化合物としては、ラウリル酸性リン酸モノエステル、ラウリル酸性リン酸ジエステル等が挙げられる。メルカプトベンゾチアゾール系化合物としては、メルカプトベンゾチアゾール、メルカプトベンゾチアゾールのナトリウム塩等挙げられる。
めっき材の作製手順:電解脱脂→水洗→酸洗→水洗→Ni又はCuめっき→水洗→Snめっき→水洗→リフロー処理→徐冷→潤滑処理→湯洗→水洗
得られた試料の表面は、XPS分析によるSurvey測定にて定性分析を行った。定性分析濃度の分解能を0.1at%とした。また、Pの2S軌道の結合エネルギー(P2S)のピークやCの1S軌道の結合エネルギー(C1S)のピークの有無が分かりにくい場合には、分析の積算回数を必要に応じ増やして測定した。今回実施例では積算回数を10回にして測定した。
層構造は、XPS分析による深さ(Depth)プロファイルを測定し、Sn、O、Cuの濃度分析を行って表面処理層の層構造を決定した。XPSによる濃度検出は、指定元素の合計を100%として、各元素の濃度(at%)を分析した。また、XPS分析で厚み方向への距離(nm)は、XPS分析によるチャートの横軸の距離(SiO2換算での距離)に対応する。
XPS装置としては、アルバック・ファイ株式会社製5600MCを用い、到達真空度:2.1×10-9Torr、励起源:単色化AlKα、出力:210W、検出面積:800μmΦ、入射角:45度、取り出し角:45度、中和銃なしとし、以下のスパッタ条件で、測定した。
イオン種:Ar+
加速電圧:3kV
掃引領域:3mm×3mm
レート:2nm/min.(SiO2換算)
図3は、実施例1のXPS分析による深さ(Depth)プロファイルの測定結果である。図3より、カーボン(C)が最表面に50at%以上存在し、20at%以上のカーボン(C)が1.5nm存在することが分かる。
黄銅基材(金属基材)に対し、表面処理時の下地めっき厚の種類、Snめっきの厚み、リフロー条件及び潤滑処条件を種々変更して実施例1〜13の試料を作製した。
比較例14として、潤滑処理液にリン酸エステル系化合物入れないで潤滑処理を行い、試料を作製した。
比較例15として、実施例1よりも潤滑処理液のリン酸エステル系化合物濃度を高くして潤滑処理を行い、試料を作製した。
比較例16として、実施例1よりも潤滑処理液のメルカプトベンゾチアゾール系化合物の濃度を低くして潤滑処理を行い、試料を作製した。
比較例17として、実施例1よりも潤滑処理液のメルカプトベンゾチアゾール系化合物の濃度を高くして潤滑処理を行い、試料を作製した。
比較例18として、実施例1よりもリフロー温度を高く、リフロー時間を長くしてリフローを行い、試料を作製した。
比較例19として、実施例9と比較して潤滑処理液にリン酸エステル系化合物入れないで潤滑処理を行い、試料を作製した。
比較例20として、実施例9よりも潤滑処理液のリン酸エステル系化合物濃度を高くして潤滑処理を行い、試料を作製した。
比較例21として、実施例9よりも潤滑処理液のメルカプトベンゾチアゾール系化合物の濃度を低くして潤滑処理を行い、試料を作製した。
比較例22として、実施例9よりも潤滑処理液のメルカプトベンゾチアゾール系化合物の濃度を高くして潤滑処理を行い、試料を作製した。
比較例23として、実施例8、9よりもSnめっき厚を薄くして、試料を作製した。
比較例24として、実施例1と比較して潤滑処理を行わないで、試料を作製した。
各試料について以下の評価を行った。
A.粉発生試験
図4に示す方法で粉発生試験を行った。鉄板(スチールディスク)上にサンプルを貼り付け、サンプル上にBWF(ドイツ)社製の厚み3mmのBCフエルト(商品名)を巻きつけた4.8mmΦの鉄球(スチールボール)を置いた。この鉄球に30gの荷重を加え、鉄球を走査距離10mm、往復走査回数15回で粉発生試験した。試験後にパットに目視で粉が確認できた場合には粉が発生したとして評価結果を×にした。一方粉が確認できなかった場合には粉が発生しなかったとして評価結果を○にした。
B.接触抵抗
接触抵抗は大気加熱試験(155℃×16h)前後のサンプルを評価した。測定は、山崎精機製接点シミュレーターCRS−1を使用し、接点荷重50g、電流200mAの条件で4端子法にて測定した。なお目標とする特性は大気加熱前後で接触抵抗が変化せず、10mΩ以下である。
C.はんだ濡れ性
はんだ濡れ性はめっき後のサンプルを評価した。ソルダーチェッカ(レスカ社製SAT−5000)を使用し、フラックスとして市販のRMA級フラックスを用い、メニスコグラフ法にてはんだ濡れ時間を測定した。なお、はんだはSn−3Ag−0.5Cu(250℃)を用いた。目標とするはんだ濡れ時間は3秒以下である。
D.挿入力
挿入力は動摩擦係数を代替として評価した。測定装置として薪東科学株式会社製HEIDEN−14型を使用し、圧子荷重500g、走査距離100mm、走査速度50mm/minの条件で測定した。目標特性は、比較例24のNi(0.3μm)/Sn(1.0μm)と比較して動摩擦係数が20%以上の減少である。
なお、測定は、粉発生試験、接触抵抗及びはんだ濡れ性が良好なサンプルで、動摩擦係数はSnめっき厚により異なるため、比較例24と同じSn1.0μmのみ測定した。
各条件及び評価結果を表2〜4に示す。
・XPSのSurvey測定で、表面処理を施した金属基材最表面のP存在形態を分析した際に、Pの2S軌道の結合エネルギー(P2S)のピークが186〜192eVにあり、Pが0.5at%以上5.0at%未満であり、また表面処理を施した金属基材最表面のC存在形態を分析した際に、Cの1S軌道の結合エネルギー(C1S)のピークが284〜290eVにあり、Cが35at%以上80at%未満である。
・XPSのDepth測定で、Cが最表面に35at%以上80at%未満存在し、20at%以上のCの領域が最表から15nm未満であり、また最表面から30at%以上のOの領域が15nm未満である。
・Sn及びSn合金めっきのめっき厚が0.2μm以上であるSn及びSn合金めっき材。
さらに、次の条件を満たす実施例5、6は目標とする低挿入力も得られた。
・XPSのSurvey測定で、Cが50at%以上80at%未満であり、XPSのDepth測定で、Cが最表面に50at%以上80at%未満存在し、20at%以上のCの領域が最表から2nm以上15nm未満である。
Survey測定で、Pのat%が高かった比較例15は接触抵抗が高かった。
Survey測定で、Cのat%が低かった比較例16は粉発生試験で粉が発生した。
Survey測定で、Cのat%が高かった比較例17は大気加熱後の接触抵抗が加熱前と比較して増加した。
実施例1と比較して、リフロー温度が高く、リフロー時間が長い比較例18は深さ(Depth)プロファイルで30at%以上の酸素領域が深いため、大気加熱後の接触抵抗が加熱前と比較して増加した。
Survey測定で、Pの2S軌道の結合エネルギー(P2S)のピークが186〜192eVにない比較例19は、大気加熱後の接触抵抗が加熱前と比較して増加した。
Survey測定で、リンのat%が高かった比較例20は接触抵抗が高かった。
Survey測定で、カーボンのat%が低かった比較例21は粉発生試験で粉が発生した。
Survey測定で、カーボンのat%が高かった比較例22は大気加熱後の接触抵抗が加熱前と比較して増加した。
実施例8、9と比較してSnめっき厚の厚みが薄い比較例23は深さ(Depth)プロファイルで30at%以上の酸素領域が深いため、大気加熱後の接触抵抗が加熱前と比較して増加した。
Survey測定で、カーボンのat%が低かった比較例24は粉発生試験で粉が発生した。
11 金属基材
12 下地めっき
13 Sn又はSn合金めっき
14 表面処理層
Claims (7)
- 金属基材、前記金属基材上に形成されたSn又はSn合金めっき、及び、前記Sn又はSn合金めっき上に形成された表面処理層を備え、
前記Sn及びSn合金めっきのめっき厚が0.2μm以上であり、
XPS(X線光電子分光装置)のSurvey測定で前記表面処理層表面の元素分析を行ったとき、
リン(P)の2S軌道の結合エネルギー(P2S)のピークが186〜192eVにあり、Pを0.5at%以上5.0at%未満含有し、
カーボン(C)の1S軌道の結合エネルギー(C1S)のピークが284〜290eVにあり、Cを35at%以上80at%未満含有するSn又はSn合金めっき材。 - XPSのDepth測定で前記表面処理層表面の元素分析を行ったとき、
Cが前記表面処理層の表面から0.5nmまでの領域に35at%以上80at%未満存在し、且つ、Cを20at%以上含む領域が前記表面処理層の表面から15nm未満であり、
酸素(O)を30at%以上含む領域が前記表面処理層の表面から15nm未満である請求項1に記載のSn又はSn合金めっき材。 - XPSのSurvey測定で前記表面処理層表面の元素分析を行ったとき、Cを50at%以上80at%未満含有し、
XPSのDepth測定で前記表面処理層表面の元素分析を行ったとき、Cが前記表面処理層の表面から0.5nmまでの領域に50at%以上80at%未満存在し、且つ、Cを20at%以上含む領域が前記表面処理層の表面から2nm以上15nm未満である請求項2に記載のSn又はSn合金めっき材。 - 前記めっきの厚さが0.2μm以上である請求項1〜3のいずれかに記載のSn又はSn合金めっき材。
- 前記金属基材と前記めっきとの間に下地めっきが形成されている請求項1〜4のいずれかに記載のSn又はSn合金めっき材。
- Sn又はSn合金めっきが形成された金属基材の前記Sn又はSn合金めっき上に、リン及びカーボンを含有する表面処理液で表面処理を施す工程を含む請求項1〜5のいずれかに記載のSn又はSn合金めっき材の製造方法。
- 前記表面処理液は、リン酸エステル系化合物及びメルカプトベンゾチアゾール系化合物を含有する請求項6に記載のSn又はSn合金めっき材の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011068630A JP5840373B2 (ja) | 2011-03-25 | 2011-03-25 | Sn又はSn合金めっき材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011068630A JP5840373B2 (ja) | 2011-03-25 | 2011-03-25 | Sn又はSn合金めっき材の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012201942A true JP2012201942A (ja) | 2012-10-22 |
JP5840373B2 JP5840373B2 (ja) | 2016-01-06 |
Family
ID=47183252
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011068630A Active JP5840373B2 (ja) | 2011-03-25 | 2011-03-25 | Sn又はSn合金めっき材の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5840373B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020190007A (ja) * | 2019-05-21 | 2020-11-26 | オリエンタル鍍金株式会社 | めっき積層体の製造方法及びめっき積層体 |
CN113874159A (zh) * | 2019-05-27 | 2021-12-31 | 千住金属工业株式会社 | 焊料合金、焊膏、焊球、焊料预制件、焊接接头和基板 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0522322B2 (ja) * | 1983-11-28 | 1993-03-29 | Fujitsu Ltd | |
JPH07173676A (ja) * | 1993-12-21 | 1995-07-11 | Nikko Kinzoku Kk | 錫又は錫−鉛合金めっき材の表面処理方法 |
JPH07249445A (ja) * | 1994-03-10 | 1995-09-26 | Kobe Steel Ltd | 表面接触抵抗特性に優れた電子機器、電気部品等の端子・コネクター用錫または錫合金めっき材とその製造方法 |
JPH09249977A (ja) * | 1996-03-13 | 1997-09-22 | Nikko Kinzoku Kk | 銀めっき材の表面処理液およびそれを用いる表面処理方法 |
JP2001279491A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-10-10 | Matsushita Electric Works Ltd | 封孔処理剤 |
JP2004323926A (ja) * | 2003-04-25 | 2004-11-18 | Ishihara Chem Co Ltd | メッキ表面の後処理液、及び後処理方法 |
-
2011
- 2011-03-25 JP JP2011068630A patent/JP5840373B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0522322B2 (ja) * | 1983-11-28 | 1993-03-29 | Fujitsu Ltd | |
JPH07173676A (ja) * | 1993-12-21 | 1995-07-11 | Nikko Kinzoku Kk | 錫又は錫−鉛合金めっき材の表面処理方法 |
JPH07249445A (ja) * | 1994-03-10 | 1995-09-26 | Kobe Steel Ltd | 表面接触抵抗特性に優れた電子機器、電気部品等の端子・コネクター用錫または錫合金めっき材とその製造方法 |
JPH09249977A (ja) * | 1996-03-13 | 1997-09-22 | Nikko Kinzoku Kk | 銀めっき材の表面処理液およびそれを用いる表面処理方法 |
JP2001279491A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-10-10 | Matsushita Electric Works Ltd | 封孔処理剤 |
JP2004323926A (ja) * | 2003-04-25 | 2004-11-18 | Ishihara Chem Co Ltd | メッキ表面の後処理液、及び後処理方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020190007A (ja) * | 2019-05-21 | 2020-11-26 | オリエンタル鍍金株式会社 | めっき積層体の製造方法及びめっき積層体 |
JP7270968B2 (ja) | 2019-05-21 | 2023-05-11 | オリエンタル鍍金株式会社 | めっき積層体の製造方法及びめっき積層体 |
CN113874159A (zh) * | 2019-05-27 | 2021-12-31 | 千住金属工业株式会社 | 焊料合金、焊膏、焊球、焊料预制件、焊接接头和基板 |
CN113874159B (zh) * | 2019-05-27 | 2023-06-02 | 千住金属工业株式会社 | 焊料合金、焊膏、焊球、焊料预制件、焊接接头和基板 |
US11813686B2 (en) | 2019-05-27 | 2023-11-14 | Senju Metal Industry Co., Ltd. | Solder alloy, solder paste, solder ball, solder preform, solder joint, and substrate |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5840373B2 (ja) | 2016-01-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5427945B2 (ja) | 電子部品用金属材料及びその製造方法、それを用いたコネクタ端子、コネクタ及び電子部品 | |
JP5138827B1 (ja) | 電子部品用金属材料、それを用いたコネクタ端子、コネクタ及び電子部品 | |
US10530084B2 (en) | Metallic material for electronic components and method for producing same, and connector terminals, connectors and electronic components using same | |
KR101639994B1 (ko) | 표면 처리 도금재 및 그 제조 방법, 그리고 전자 부품 | |
US10373730B2 (en) | Metallic material for electronic components and method for producing same, and connector terminals, connectors and electronic components using same | |
CN104379811B (zh) | 电子部件用金属材料及其制造方法、使用了其的连接器端子、连接器和电子部件 | |
JP2014208904A (ja) | 耐摩耗性に優れる接続部品用導電材料 | |
KR20150024252A (ko) | 삽입 발출성이 우수한 주석 도금 구리 합금 단자재 | |
US10868383B2 (en) | Surface-treated plated material, connector terminal, connector, FFC terminal, FFC, FPC and electronic part | |
JP5980746B2 (ja) | 電子部品用金属材料及びその製造方法、それを用いたコネクタ端子、コネクタ及び電子部品 | |
JP5840373B2 (ja) | Sn又はSn合金めっき材の製造方法 | |
JP5275504B1 (ja) | 電子部品用金属材料及びその製造方法、それを用いたコネクタ端子、コネクタ及び電子部品 | |
KR20120085853A (ko) | 리플로우 Sn 도금 부재 | |
JP2015045058A (ja) | 電子部品用金属材料及びその製造方法、それを用いたコネクタ端子、コネクタ及び電子部品 | |
CN110103584B (zh) | 老化测试插座用表面处理金属材料、插座用连接器及插座 | |
JP2014139345A (ja) | 表面処理めっき材およびその製造方法、並びに電子部品 | |
JP6012564B2 (ja) | 電子部品用金属材料及びその製造方法、それを用いたコネクタ端子、コネクタ及び電子部品 | |
JP7335679B2 (ja) | 導電材 | |
JP6327784B2 (ja) | 電子部品用金属材料及びその製造方法 | |
JP2015229791A (ja) | 電子部品用金属材料、それを用いたコネクタ端子、コネクタ及び電子部品 | |
JP2015045053A (ja) | 電子部品用金属材料及びその製造方法、それを用いたコネクタ端子、コネクタ及び電子部品 | |
JP2015045047A (ja) | 電子部品用金属材料及びその製造方法、それを用いたコネクタ端子、コネクタ及び電子部品 | |
JP2015045044A (ja) | 電子部品用金属材料及びその製造方法、それを用いたコネクタ端子、コネクタ及び電子部品 | |
JP2015045054A (ja) | 電子部品用金属材料及びその製造方法、それを用いたコネクタ端子、コネクタ及び電子部品 | |
JP2020111796A (ja) | 表面処理金属材料、表面処理金属材料の製造方法、及び、電子部品 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130930 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140522 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140527 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140703 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150303 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150427 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150804 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150916 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151013 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151111 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5840373 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |