JP2012195091A - 放電ランプ - Google Patents

放電ランプ Download PDF

Info

Publication number
JP2012195091A
JP2012195091A JP2011056762A JP2011056762A JP2012195091A JP 2012195091 A JP2012195091 A JP 2012195091A JP 2011056762 A JP2011056762 A JP 2011056762A JP 2011056762 A JP2011056762 A JP 2011056762A JP 2012195091 A JP2012195091 A JP 2012195091A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
discharge
excimer
discharge tubes
tubes
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2011056762A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshifumi Takao
義史 高尾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Stanley Electric Co Ltd
Original Assignee
Stanley Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Stanley Electric Co Ltd filed Critical Stanley Electric Co Ltd
Priority to JP2011056762A priority Critical patent/JP2012195091A/ja
Publication of JP2012195091A publication Critical patent/JP2012195091A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)

Abstract

【課題】夫々エキシマ発光を行う複数の放電管で構成する放電ランプにおいて、単純な構造で放電効率の高効率化及び放射量の増加が可能となると共に、簡素化された製造工程で製造コストを低減することが可能な放電ランプを実現することにある。
【解決手段】複数のエキシマ放電管を、柱状の第一電極の周りに該第一電極に面接触した状態で且つ第一電極に平行に並設し、複数のエキシマ放電管を一括して環状に包み込んで該複数のエキシマ放電管の夫々と面接触するように網状、或いはメッシュ状の第二電極を設けた構成とした。
【選択図】図2

Description

本発明は、放電ランプに関するものであり、詳しくは、夫々エキシマ光を放射する複数のエキシマ放電管で構成する放電ランプに関する。
従来、この種の放電ランプ(エキシマランプ)80としては、図13に示すように、円柱状アース電極81の周りに該アース電極81に接するように環状に且つ互いに接するように複数(8本)の放電管82〜89を配置し、夫々の放電管82〜89の管壁中に管軸方向に延びる帯状電極90〜97を埋設すると共に、放電空間100〜107に放電中にエキシマ分子を生成する放電ガスを封入した構成とするものが開示されている。
そして、アース電極81と各放電管82〜89の電極90〜97との間に数kVの高電圧を印加することにより、各放電管82〜89の放電空間100〜107に誘電体バリア放電が発生し、該放電空間100〜107から外部に向けてエキシマ光が放射される(例えば、特許文献1参照。)。
また、他の放電ランプ(エキシマ放電ランプ)110として、図14に示すように、夫々キセノンガスが封入され且つ導体111、112が貫通して配設された放電容器113、114を有する複数(2本)のエキシマ放電ユニット115、116を、アルミナ等の高誘電率材料からなるスペーサを間に介在させて互いに近接配置した構成のものも開示されている。
そして、エキシマ放電ユニット115、116の夫々の導体111、112間に、周波数20kHz〜30kHz、電圧(Vp−p)5kV〜15kVの高周波の電圧を印加することにより、放電容器113、114及びスペーサからなる誘電体を介して導体111、112間でエキシマ放電を生じ、放電柱120が形成されるものである(例えば、特許文献1参照。)。
特開2010−218729号公報 特開2005−353386号公報
ところで、特許文献1で開示された構成のエキシマランプ80は、製造工程において夫々の放電管82〜89の管壁中に帯状電極90〜97を埋設する工程が必要となり、設備投資が増大すると共に生産効率の低下を招く。
また、帯状電極90〜97を管壁内に埋設する際の加熱工程において、帯状電極90〜97を熱による酸化から保護しながら工程を進める必要があり、工程管理上その保護条件の設定が難しい。また、帯状電極90〜97を埋設した後の冷却後に加熱工程時のひずみが残り、その応力によって放電管が破損する恐れもある。
また、互いに近接配置された放電管82〜89同士は線接触の状態にあり、これは電極幅が著しく狭いことを意味している。そのため、各放電管82〜89に対する印加電圧が低いと発光効率の低下を招くことになる。したがってこの場合、家電製品としては不適である。
また、エキシマランプ80を構成する放電管82〜89の数が増えるに伴って外部電源に接続するために引出線の本数が多くなり、使用時の引出線の結線工数の増加やエキシマランプ80としての簡素化された構造を損なうことになる。
更に、各放電管82〜89は内管とそれを覆う筒状同軸外管を溶着して一体化した二重管構造であり、複雑な製造工程を設ける必要がある。
一方、特許文献1で開示された構成のエキシマ放電ランプ110は、エキシマ放電ランプ110を構成する各エキシマ放電ユニット115、116の発光出力を高めるために単に放電管の管径を太くすると、放電管の両端部の気密封止にフレアステム等の特別の封止部材を用いる必要が生じ、エキシマ放電ユニット115、116の構成が複雑化する。その結果、製造工程の複雑化と共に部品点数の増加により製造コストの上昇を招くことになる。
また、特許文献1と同様に、近接配置されたエキシマ放電ユニット115、116同士は線接触の状態にあり、これに係わる特許文献1と同様の問題点を有している。更に、特許文献1と同様に、エキシマ放電管ユニット115、116の数が増えるに伴って外部電源に接続するために引出線の本数が多くなり、これに係わる特許文献1と同様の問題点を有している。
そこで、本発明は上記問題に鑑みて創案なされたもので、その目的とするところは、夫々エキシマ発光を行う複数の放電管で構成する放電ランプにおいて、単純な構造で放電効率の高効率化及び放射量の増加が可能となると共に、簡素化された製造工程で製造コストを低減することが可能な放電ランプを実現することにある。
上記課題を解決するために、本発明の請求項1に記載された発明は、 表面を金属面とする柱状の第一電極と、前記第一電極の周りに環状に、該第一電極に面接触した状態で且つ前記第一電極に平行に並設された複数のエキシマ放電管と、前記複数のエキシマ放電管の前記第一電極と反対側に位置し、前記複数のエキシマ放電管を一括して環状に包み込んで該複数のエキシマ放電管の夫々と面接触するように配置された金属製の網状、或いはメッシュ状の第二電極とを備え前記第一電極と前記第二電極との間に電圧を印加することにより、前記複数のエキシマ放電管の夫々が放電してエキシマ光を放射することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項2に記載された発明は、請求項1において、前記複数のエキシマ放電管は、夫々発光スペクトル等の特性の異なるエキシマ光を放射する複数種のエキシマ放電管の組み合わせからなることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項3に記載された発明は、請求項1又は請求項2において、前記複数のエキシマ放電管は、その全て又はその一部のエキシマ放電管の内面に蛍光体が塗布されていることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項4に記載された発明は、請求項1〜請求項3のいずれかにおいて、前記第二電極の上から部分的に該第二電極を紐状或いは帯状の拘束部材で締め付けるか、又は前記第二電極全体を光を透過する部材で覆って締め付けたことを特徴とするものである。
また、本発明の請求項5に記載された発明は、請求項1〜請求項4のいずれかにおいて、
前記第一電極には、該第一電極の長手方向に沿う貫通孔が設けられており、該貫通孔を介して前記複数のエキシマ放電管を冷却する冷却手段が設けられていることを特徴とするものである。
本発明の放電ランプは、複数のエキシマ放電管を、柱状の第一電極の周りに該第一電極に面接触した状態で且つ第一電極に平行に並設し、複数のエキシマ放電管を一括して環状に包み込んで該複数のエキシマ放電管の夫々と面接触するように網状、或いはメッシュ状の第二電極を設けた構成とした。
その結果、各エキシマ放電管に対する電圧が面状の電極で印加されることになり、エキシマ放電による紫外線の放射効率が高められて多くの紫外線照射量を得ることができた。
また、第一電極、第二電極及び複数のエキシマ放電管の一体化による放電ランプの形成が簡単にできるようになり、製造工程の簡素化によって製造コストの低減を図ることができるようになった。
本発明に係わる実施形態の放電ランプを構成する放電管の説明図である。 実施形態の放電ランプの説明図である。 実施形態の放電ランプを構成する第一電極の説明図である。 放電ランプを利用した紫外線殺菌装置の説明図である。 紫外線殺菌装置を構成する放電ランプの説明図である。 第一電極に係わる他の構成図である。 放電ランプに係わる拘束部材の説明図である。 放電ランプに係わる透明部材の説明図である。 第二電極の説明図である。 口金の説明図である。 口金に放電管を取り付けた説明図である。 口金を用いた放電ランプの説明図である。 従来例の説明図である。 同じく、従来例の説明図である。
以下、この発明の好適な実施形態を図1〜図12を参照しながら、詳細に説明する(同一部分については同じ符号を付す)。尚、以下に述べる実施形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの実施形態に限られるものではない。
本発明の放電ランプは、エキシマ放電によりエキシマ光を放射するエキシマ放電管(以下、放電管と略称する)を複数本束ねて一対の外部電極と共に一体化し、外部電極に電圧を印加することにより全ての放電管を一斉に放電させて所望のエキシマ光を得るものである。
図1及び図2は、本発明に係わる具体的な実施形態を示す説明図であり、図1は放電管の概略図、図2は図1の放電管を用いて構成した放電ランプの概略斜視図である。
図1より、放電管1は、紫外線を透過する硬質ガラスからなり、両端部を気密に封止すると共に長手方向に対して同一の管径とする円筒状のガラス管2と、ガラス管2内の気密空間に封入された封入ガス3とで構成されている。ガラス管2の内面には蛍光体4が塗布されており、封入ガス3としてはキセノンガスが用いられ該キセノンガスが100Torrの圧力で封入されている。但し、用途によっては蛍光体を塗布しない場合もある。
複数の放電管1で構成される放電ランプ10は図2のように、中央部に柱状の第一の外部電極(以下、第一電極と略称する)5が位置し、第一電極5の周囲に該第一電極5を囲むように環状に配置された複数(本実施形態では4本)の放電管1a〜1dが位置している。
4本の放電管1a〜1dは、夫々第一電極5に平行に正方形状に並設されると共に隣接する放電管1a〜1d同士が互いに接触した状態に配置されている。
第一電極5は、アルミニウムの無垢材からの切削加工により形成されており、図3のように、その長手方向を放電管1a〜1dの長手方向と同一方向として配置されると共に、側面5aが各放電管1a〜1dの外側面と円弧状に面接触している。つまり、第一電極5自体の形状は、長手方向に垂直な断面形状を、各放電管1a〜1dの外径と略同一の径の円弧を、中心軸X方向を凸方向として中心軸Xを中心とする周方向に連続的に配置した形状となっている。
図2に戻って、第一電極5からは、該第一電極5に電気的に接続されたリード線6が引き出されており、このリード線6が放電ランプ10の駆動時に外部電源の一方の端子(図示せず)に電気的に接続される。この第一電極5に対するリード線6の接続は、例えば、リード線6の先端に圧着された圧着端子6aを該第一電極5にねじ止めすることにより行われる。
4本の放電管1a〜1dの第一電極5と反対側には、該放電管1a〜1dの外側を一括して環状に包み込むように且つ各放電管1a〜1dの外側面と円弧状に面接触した状態で、ニッケル線を編んだ網状の、又は、ニッケル板をエッチングしたメッシュ状の第二の外部電極(以下、第二電極と略称する)8が配置されている。
第二電極8からは、該第二電極8に電気的に接続されたリード線7が引き出されており、このリード線7が放電ランプ10の駆動時に外部電源の他方の端子(図示せず)に電気的に接続される。この第二電極8に対するリード線7の接続は、例えば、リード線7の先端に圧着された圧着端子7aを該第二電極8にはんだ付け或いは溶着することにより行われる。また、通常は外側に配置される第二電極が電気的に接地される。
そこで、このように構成された放電ランプ10を点灯(駆動)するに際しては、一対のリード線6、7を外部電源に接続して該リード線6、7を介して駆動電圧を印加する。このときの駆動電圧は、周波数を60〜80kHzの範囲とする矩形波或いはパルス波が好ましい。なお、最適電圧値は放電管の管径により異なる。
このような駆動条件により最高の放電効率を得ることができ、発生したエキシマ光による紫外線が網状又はメッシュ状の第二電極8の網目又はメッシュ目から外部に照射される。したがって、第二電極8は紫外線の通過をできるだけ妨げないで且つ照射分布が均一になるような形状にすることが重要であり、そのためには網又はメッシュの部分の総面積を極力狭くして紫外線が通過する網目又はメッシュ目の部分の総面積を広くすると同時に、個々の網目又はメッシュ目の面積及び配置を均一にすることが好ましい。
また、各放電管1a〜1dは、放電管1a〜1d内のガス圧が高くなると紫外線放射量は多くなるが一方で駆動電圧が高くなり、駆動装置、特に昇圧用トランスが大型化すると同時に重量が重くなる。反対にガス圧が低くなると紫外線放射量は少なくなるが駆動電圧は低くなる。そこで、放電管1a〜1dの内面に電子の放出を補助するコーティングを施し、比較的低電圧であっても比較的多くの紫外線照射量を得ることができるようにすることも有効な手段である。
発明者は、ガス圧を50〜300Torrの範囲で変えながら紫外線放射量の変化を調べたが、ガス圧が150〜250Torrの範囲において紫外線放射量が最大になることがわかった。また、放電管の外径は8mm以下が好ましいが、同一の電流で駆動した場合、外径が4〜6mmの範囲のものが紫外線放射量の最高値を示した。
以上の説明のように、本発明の放電ランプ10は、複数の放電管1a〜1dを束ねて一対の外部電極(第一電極5及び第二電極8)と共に一体化し、外部電極に電圧を印加することにより全ての放電管1a〜1dを一斉に放電させて所望の放射光を得るものであり、一対の外部電極の夫々は各放電管1a〜1dに面接触した状態に配置されている。
そのため、各放電管1a〜1dに対する電圧が面状の電極で印加されることになり、エキシマ放電による紫外線の放射効率が高められて多くの紫外線照射量を得ることができる。
また、複数の放電管1a〜1dが、中央部に位置する柱状の第一電極5と周囲を包み込むように環状に配置された網状又はメッシュ状の第二電極8とによる単純な構成によって一体化されている。放電ランプをこのような単純な構成とすることで製造工程を簡素化することができ、製造コストの低減を図ることができる。
なお、上記実施形態においては、4本の放電管1a〜1dはいずれも同一の放射特性を有するものを使用したが、必ずしもこれに限定されるものではなく、異なる放射特性を有する複数の放電管を組み合わせて放電ランプを構成することもできる。
具体的には、例えば、図4に示すような殺菌装置15に用いる場合、図5のように、キセノンガスを封入した4本の放電管11a〜11dのうち2本の放電管11a、11bの内面にUV−Cの波長領域の230nmに蛍光ピークを有する蛍光体12aを塗布し(以下、UV−C放電管と略称する)、他の2本の放電管11c、11dの内面にUV−Aの波長領域の330nmに蛍光ピークを有する蛍光体12bを塗布し(以下、UV−A放電管と略称する)、同一の放射特性を有する放電管同士を並べて上記実施形態と同様に第一電極5と第二電極8(図では省略)と共に一体化する構成により放電ランプ20を形成するものである。
そして、図4に戻って、この放電ランプ20を、反射面13aを紫外線に対して反射率に優れたアルミニウム面とするリフレクタ13の該反射面13a側にUV−C放電管11a、11bが位置し、被殺菌対象物(流水)14側にUV−A放電管11c、11dが位置するように配置する。すると、流水殺菌用の紫外線殺菌装置15が形成される。
このとき、被殺菌対象物(流水)14側に位置するUV−A電管11c、11dから直接照射される紫外線によって流水14中の殺菌の不活性化が行われ、同時に、リフレクタ側に位置するUV−C放電管11a、11bから照射されてリフレクタ13で反射された紫外線によって流水14中の殺菌の再活性化が防止される。
なお、放射特性が異なる複数の放電管の組み合わせは、上記UV−A放電管とUV−C放電管との組み合わせに限られるものではなく、例えば、上記UV−C放電管と172nmの波長の真空紫外線を放射する真空紫外線放電管を組み合わせて使用し、同一の放射特性を有する放電管同士を並べて上記実施形態と同様に第一電極と第二電極と共に一体化する構成により放電ランプを形成することもできる。これにより、UV−A放電管から照射される紫外線により殺菌処理が行われ、同時に、真空紫外線放電管から照射される紫外線で発生したオゾンにより殺菌処理が行われる。
この他、2種類以上の異なる放射特性を有する放電管を適宜組み合わせることにより、種々の用途に対応できる放電ランプを実現することができる。
なお、放電管の気密空間に封入される封入ガスは、上記キセノンガスの他に、アルゴン等のエキシマ放電を生じる希ガス、或いは、希ガスにハロゲン(ガス状或いはペレット状)を加えたもので構成してもよい。
また、第一電極5はその形成方法として、上記アルミニウム等の金属素材の無垢材からの切削加工の他に、上記形状に成形された樹脂部材の表面にメッキ法、蒸着法或いはスパッタ法等で、例えば、アルミニウム、ニッケル、銅等の金属皮膜を形成する方法、アルミニウム以外の金属材料を上記形状に削り出す方法、或いは板金を曲げ加工する方法等が考えられる。そのうち、金属素材の無垢材から削り出す方法は、放熱効果を考慮した適宜な金属材料の選択と放熱性に対して最適化された形状により、優れた冷却性能を実現することができる。また、特にメッキ法で樹脂部材の表面に金属皮膜を形成する方法は、作業を比較的簡単に行うことができるため製造コストの低減に寄与するものである。
第一電極を金属素材の無垢材で形成する場合は図6のように、第一電極16の中心軸Xに沿って貫通する貫通孔16aを設け、この貫通孔16aに放熱フィン等の放熱部材17を装着したヒートパイプ18を挿嵌して冷却性能を高めることもできる。このときの第一電極16の金属素材としてはアルミニウムの他にニッケルや銅等が用いられる。第一電極16をこのような構成とすることにより、放電ランプを構成する各放電管の放電時の温度上昇を抑制することができ、紫外線放射に係わる諸性能を良好に維持することができる。
第二電極の形成方法は、金属の線材を編んで網状にする、或いは金属の板材をエッチングしてメッシュ状にする等の方法が可能である。
複数の放電管を一括して環状に包み込むように配置した第二電極の締着方法は、網状又はメッシュ状の第二電極の互いに重なり合った部分のいくつかの箇所を溶接する方法、或いは互いの端部同士を折り重ねてその重なり合った部分を溶接する方法等が考えられる。
第二電極に対するリード線の接続方法は、リード線の先端に取り付けられた金属片をかしめて接合する方法、或いは、はんだ付けやろう付けや溶着により接合する方法等がある。
放電管1a〜1dの結束をより強固なものにするために、図7のように、第二電極8の上から更に部分的に、紐状或いは帯状の拘束部材19で締め付けることも有効である。拘束部材19としては、例えば、樹脂テープや樹脂バンド等が考えられる。また、図8のように、第二電極8全体を透明部材28で覆って締め付けることも可能である。透明部材としては、作業の容易性から、例えば、紫外線に対して良好な透過性を有するテフロン(登録商標)を素材とする熱収縮チューブを用いることが最適である。これにより、耐振動性や耐衝撃性に優れた信頼性の高い放電ランプを実現することができる。
なお、第二電極25は網状又はメッシュ状とする以外に、図9のように、金属の線材を螺旋状に巻いた形状とすることも可能である。この場合も上記同様に、放電管26a〜26dの結束をより強固なものにするために、紐状或いは帯状の拘束部材で締め付けることも有効である。また、第二電極25全体を透明部材で覆って締め付けることも可能である。また、この第二電極25に対するリード線の接続方法も、上記同様の方法で行われる。これにより、耐振動性や耐衝撃性に優れた信頼性の高い放電ランプを実現することができる。
なお、第一電極に対して複数の放電管を簡単に固定する手段として、図10に示す口金30が用いられることもある。この口金30は、金属部材からなり中央に第一電極31を有すると共に、その周りの各放電管33a〜33dを配置する位置に該放電管33a〜33dを挿嵌する放電管挿嵌孔34a〜34dを有している。
そして、図11のように、この口金30の各放電管挿嵌孔34a〜34dに夫々の放電管33a〜33dを挿入して嵌合することにより、口金30に対して第一電極31と各放電管33a〜33dが簡単に支持固定されると共に、第一電極31に対する各放電管33a〜33dの配設を簡単に行うことができる。この状態で、図12のように、第二電極35によって各放電管33a〜33dを一括して環状に包み込んで全体を一体化することにより放電ランプ40を簡単に組み上げることができる。
この場合、口金30は各放電管33a〜33dの一方の端部側のみを支持固定しても良いし、一対の口金30で両端部を支持するようにしてもよい。
なお、口金は各放電管挿嵌孔34a〜34dを設ける部分と第一電極31とを個別に形成した後に一体化することも可能である。その場合は、各放電管挿嵌孔34a〜34dを設ける部分の形成部材は、各放電管33a〜33dが低出力で放電時の放電管温度が比較的低い場合はゴム若しくは樹脂を使用し、各放電管33a〜33dが高出力で放電管温度が高温になる場合はセラミックを使用することが適切である。
なお、放電ランプを構成する放電管の本数は、上述の4本に限られるものではなく、所望の放射量、大きさ等の諸条件に基づいて適宜設定される。また、放電管は内面に蛍光体を塗布される場合もあるし、塗布されない場合もある。いずれの場合も、上述の構成によって放電ランプが形成される。
1… 放電管
1a〜1d… 放電管
2… ガラス管
3… 封入ガス
4… 蛍光体
5… 第一電極
5a… 側面
6… リード線
6a… 圧着端子
7… リード線
7a… 圧着端子
8… 第二電極
10… 放電ランプ
11a〜11d… 放電管
12a、12b… 蛍光体
13… リフレクタ
13a… 反射面
14… 被殺菌対象物
15… 殺菌装置
16… 第一電極
16a… 貫通孔
17… 放熱部材
18… ヒートパイプ
19… 拘束部材
20… 放電ランプ
25… 第二電極
26a〜26d… 放電管
27… 拘束部材
28… 透明部材
30… 口金
31… 第一電極
33a〜33d… 放電管
34a〜34d放電管挿嵌孔
35… 第二電極
40… 放電ランプ

Claims (5)

  1. 表面を金属面とする柱状の第一電極と、
    前記第一電極の周りに環状に、該第一電極に面接触した状態で且つ前記第一電極に平行に並設された複数のエキシマ放電管と、
    前記複数のエキシマ放電管の前記第一電極と反対側に位置し、前記複数のエキシマ放電管を一括して環状に包み込んで該複数のエキシマ放電管の夫々と面接触するように配置された金属製の網状、或いはメッシュ状の第二電極とを備え
    前記第一電極と前記第二電極との間に電圧を印加することにより、前記複数のエキシマ放電管の夫々が放電してエキシマ光を放射することを特徴とする放電ランプ。
  2. 前記複数のエキシマ放電管は、夫々発光スペクトル等の特性の異なるエキシマ光を放射する複数種のエキシマ放電管の組み合わせからなることを特徴とする請求項1に記載の放電ランプ。
  3. 前記複数のエキシマ放電管は、その全て又はその一部のエキシマ放電管の内面に蛍光体が塗布されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の放電ランプ。
  4. 前記第二電極の上から部分的に該第二電極を紐状或いは帯状の拘束部材で締め付けるか、又は前記第二電極全体を光を透過する部材で覆って締め付けたことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の放電ランプ。
  5. 前記第一電極には、該第一電極の長手方向に沿う貫通孔が設けられており、該貫通孔を介して前記複数のエキシマ放電管を冷却する冷却手段が設けられていることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載の蛍光ランプ。
JP2011056762A 2011-03-15 2011-03-15 放電ランプ Withdrawn JP2012195091A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011056762A JP2012195091A (ja) 2011-03-15 2011-03-15 放電ランプ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011056762A JP2012195091A (ja) 2011-03-15 2011-03-15 放電ランプ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2012195091A true JP2012195091A (ja) 2012-10-11

Family

ID=47086816

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011056762A Withdrawn JP2012195091A (ja) 2011-03-15 2011-03-15 放電ランプ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2012195091A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6896919B1 (ja) * 2020-08-03 2021-06-30 株式会社クォークテクノロジー 殺菌ランプ
WO2023042388A1 (ja) * 2021-09-17 2023-03-23 三菱電機株式会社 マイクロ波励起光源装置

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6896919B1 (ja) * 2020-08-03 2021-06-30 株式会社クォークテクノロジー 殺菌ランプ
JP6912684B1 (ja) * 2020-08-03 2021-08-04 株式会社クォークテクノロジー 殺菌ランプ
KR20220016761A (ko) * 2020-08-03 2022-02-10 가부시키가이샤 쿼크 테크놀로지 살균램프
JP2022028381A (ja) * 2020-08-03 2022-02-16 株式会社クォークテクノロジー 殺菌ランプ
JP2022028605A (ja) * 2020-08-03 2022-02-16 株式会社クォークテクノロジー 殺菌ランプ
KR102493645B1 (ko) 2020-08-03 2023-01-30 가부시키가이샤 쿼크 테크놀로지 살균램프
WO2023042388A1 (ja) * 2021-09-17 2023-03-23 三菱電機株式会社 マイクロ波励起光源装置
JP7479576B2 (ja) 2021-09-17 2024-05-08 三菱電機株式会社 マイクロ波励起光源装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2471261C2 (ru) Газоразрядная лампа с диэлектрическим барьером
JPH0896770A (ja) 誘電体バリア放電ランプ
US9159545B2 (en) Excimer lamp
JP3346190B2 (ja) 希ガス放電ランプ
JP2018190686A (ja) 紫外光源装置とその製造方法
JP4330527B2 (ja) 口金を備えた誘電体バリア放電ランプ
JP2012195091A (ja) 放電ランプ
JP3506055B2 (ja) 誘電体バリア放電ランプ、およびその光照射装置
JP5828364B1 (ja) エキシマ放電ランプ
JP4977337B2 (ja) 誘電体バリア放電灯
JP5257270B2 (ja) 放電ランプ装置
JP5800189B2 (ja) ショートアーク型放電ランプ
EP3648143B1 (en) Vacuum ultraviolet excimer lamp with a thin wire inner electrode
JP5640998B2 (ja) エキシマランプ
JP2021051937A (ja) バリア放電ランプおよび紫外線照射ユニット
JP5271762B2 (ja) 放電ランプ
JP4146666B2 (ja) 誘電体バリア放電ランプおよび光照射装置
WO2023042388A1 (ja) マイクロ波励起光源装置
JP4456997B2 (ja) 冷陰極管装置
JP5640966B2 (ja) エキシマランプ
JP2002319369A (ja) 誘電体バリヤ放電ランプおよび紫外線照射装置
JPH1064478A (ja) 冷陰極蛍光放電ランプ及び殺菌ユニット
JP3481175B2 (ja) 誘電体バリアランプ
JP2021170456A (ja) 放電ランプ
JP2022506923A (ja) 軸対称のワイヤ内部電極を有する真空紫外エキシマランプ

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20140603