JP2012195071A - エキシマランプ - Google Patents
エキシマランプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012195071A JP2012195071A JP2011056427A JP2011056427A JP2012195071A JP 2012195071 A JP2012195071 A JP 2012195071A JP 2011056427 A JP2011056427 A JP 2011056427A JP 2011056427 A JP2011056427 A JP 2011056427A JP 2012195071 A JP2012195071 A JP 2012195071A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- excimer lamp
- discharge tube
- discharge
- electrode
- lamp according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000011941 photocatalyst Substances 0.000 claims abstract description 67
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 59
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 21
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 20
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims abstract description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 19
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 19
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 12
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 7
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 5
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 2
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 7
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 13
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 8
- 230000001699 photocatalysis Effects 0.000 description 7
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 6
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 6
- 238000007743 anodising Methods 0.000 description 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 2
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000004332 deodorization Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 230000001954 sterilising effect Effects 0.000 description 1
- 238000004659 sterilization and disinfection Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- HGCGQDMQKGRJNO-UHFFFAOYSA-N xenon monochloride Chemical compound [Xe]Cl HGCGQDMQKGRJNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J35/00—Catalysts, in general, characterised by their form or physical properties
- B01J35/30—Catalysts, in general, characterised by their form or physical properties characterised by their physical properties
- B01J35/39—Photocatalytic properties
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61L—METHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
- A61L2/00—Methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects other than foodstuffs or contact lenses; Accessories therefor
- A61L2/02—Methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects other than foodstuffs or contact lenses; Accessories therefor using physical phenomena
- A61L2/08—Radiation
- A61L2/088—Radiation using a photocatalyst or photosensitiser
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61L—METHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
- A61L2/00—Methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects other than foodstuffs or contact lenses; Accessories therefor
- A61L2/02—Methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects other than foodstuffs or contact lenses; Accessories therefor using physical phenomena
- A61L2/08—Radiation
- A61L2/10—Ultraviolet radiation
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61L—METHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
- A61L9/00—Disinfection, sterilisation or deodorisation of air
- A61L9/16—Disinfection, sterilisation or deodorisation of air using physical phenomena
- A61L9/18—Radiation
- A61L9/20—Ultraviolet radiation
- A61L9/205—Ultraviolet radiation using a photocatalyst or photosensitiser
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J21/00—Catalysts comprising the elements, oxides, or hydroxides of magnesium, boron, aluminium, carbon, silicon, titanium, zirconium, or hafnium
- B01J21/06—Silicon, titanium, zirconium or hafnium; Oxides or hydroxides thereof
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J21/00—Catalysts comprising the elements, oxides, or hydroxides of magnesium, boron, aluminium, carbon, silicon, titanium, zirconium, or hafnium
- B01J21/06—Silicon, titanium, zirconium or hafnium; Oxides or hydroxides thereof
- B01J21/063—Titanium; Oxides or hydroxides thereof
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J35/00—Catalysts, in general, characterised by their form or physical properties
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J37/00—Processes, in general, for preparing catalysts; Processes, in general, for activation of catalysts
- B01J37/02—Impregnation, coating or precipitation
- B01J37/0215—Coating
- B01J37/0225—Coating of metal substrates
- B01J37/0226—Oxidation of the substrate, e.g. anodisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/12—Selection of substances for gas fillings; Specified operating pressure or temperature
- H01J61/16—Selection of substances for gas fillings; Specified operating pressure or temperature having helium, argon, neon, krypton, or xenon as the principle constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
- H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
- H01J65/042—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field
- H01J65/046—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field the field being produced by using capacitive means around the vessel
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Epidemiology (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Animal Behavior & Ethology (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Public Health (AREA)
- Veterinary Medicine (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Catalysts (AREA)
- Disinfection, Sterilisation Or Deodorisation Of Air (AREA)
Abstract
【課題】
照射される紫外線を有効に利用して、光触媒の処理効率を向上させることができるだけでなく、放電ガスとしてキセノンガスを用いた場合でも点灯性の良好なエキシマランプを提供する。
【解決手段】
放電ガスが気密に封入される放電管（２）に形成された放電空間（３）の少なくとも一部が円筒空間に形成されると共に、その中心側に配される中心電極（４Ａ）と外周側に配される周面電極（４Ｂ）とを備え、周面電極（４Ｂ）は、多数の微細透孔（１３）が形成された導電性メッシュ（１４）に光触媒となるアナターゼ型酸化チタン（１６）を担持させた多孔質光触媒シート（１１）を巻回して、放電管（２）の外表面に設けた。
【選択図】図３
照射される紫外線を有効に利用して、光触媒の処理効率を向上させることができるだけでなく、放電ガスとしてキセノンガスを用いた場合でも点灯性の良好なエキシマランプを提供する。
【解決手段】
放電ガスが気密に封入される放電管（２）に形成された放電空間（３）の少なくとも一部が円筒空間に形成されると共に、その中心側に配される中心電極（４Ａ）と外周側に配される周面電極（４Ｂ）とを備え、周面電極（４Ｂ）は、多数の微細透孔（１３）が形成された導電性メッシュ（１４）に光触媒となるアナターゼ型酸化チタン（１６）を担持させた多孔質光触媒シート（１１）を巻回して、放電管（２）の外表面に設けた。
【選択図】図３
Description
本発明は、誘電体バリア放電により紫外線を照射するエキシマランプに関し、特に、光触媒作用により浄化処理を行う空気清浄機や浄水器に用いて好適なものである。
光触媒として優れた機能を有するアナターゼ型酸化チタンは、空気清浄機や浄水器などに応用が期待されており、紫外線を照射することにより光触媒活性を呈し、特に波長３２０ｎｍ以下のＵＶＢ（２８０〜３１５ｎｍ）領域に光触媒活性のピークを有する。
このため、紫外線ランプなどにより紫外線を照射することが行われているが、一般の紫外線ランプは水銀を用いるため、環境負荷が大きい。
また、近年では、紫外線ＬＥＤも開発されているが、高価であるだけでなく、十分な光強度が得られないという問題があった。
このため、紫外線ランプなどにより紫外線を照射することが行われているが、一般の紫外線ランプは水銀を用いるため、環境負荷が大きい。
また、近年では、紫外線ＬＥＤも開発されているが、高価であるだけでなく、十分な光強度が得られないという問題があった。
このため、水銀を使用せずに紫外線発光が可能なエキシマランプが注目されており、エキシマランプの放電管の外側に設けた透明電極の表面に光触媒層を積層形成した脱臭・殺菌用の紫外線ランプも提案されている（特許文献１参照）。
これによれば、照射された紫外線が透明電極を透過して光触媒層に照射されるから、光触媒が活性化され、これに触れる空気を脱臭・殺菌することができるとされている。
しかしながら、透明電極は一般に紫外光に対して透過率が低く、特に代表的な透明電極であるスズ添加酸化インジウム膜（ＩＴＯ）は可視光に対しては透明でも、光触媒を活性化させるＵＶＢ（２８０〜３１５ｎｍ）領域の紫外光に対しては不透明であるため、透明電極の表面に光触媒を形成しても、決して、特許文献１に記載されたような効果を得ることはできない。
これによれば、照射された紫外線が透明電極を透過して光触媒層に照射されるから、光触媒が活性化され、これに触れる空気を脱臭・殺菌することができるとされている。
しかしながら、透明電極は一般に紫外光に対して透過率が低く、特に代表的な透明電極であるスズ添加酸化インジウム膜（ＩＴＯ）は可視光に対しては透明でも、光触媒を活性化させるＵＶＢ（２８０〜３１５ｎｍ）領域の紫外光に対しては不透明であるため、透明電極の表面に光触媒を形成しても、決して、特許文献１に記載されたような効果を得ることはできない。
このため、紫外線照射用のエキシマランプは、特許文献２に示すように、放電管の両側対向位置に一対の電極を設け、電極の隙間から紫外線を照射させたり（特許文献２：図２）、ワイヤなどを網状にしたメッシュ電極を使用し、ワイヤの隙間から紫外線を照射するようにせざるを得ず（特許文献２：図３）、いずれにしても電極の不透明部分で紫外線が遮られるため、光の利用効率が低いという問題があった。
そこで本発明は、照射される紫外線を有効に利用して、光触媒の処理効率を向上させることができるだけでなく、キセノンガスを用いた場合でも点灯性に優れたエキシマランプを提供することを技術的課題としている。
この課題を解決するために、本発明は、放電ガスが気密に封入される放電管に形成された放電空間を挟むようにその外側に一対の電極が配され、当該電極間に高周波電圧を印加することにより前記放電空間内に誘電体バリア放電を生じさせて紫外線を照射するエキシマランプにおいて、前記放電空間の少なくとも一部が円筒空間に形成されると共に、前記一対の電極が円筒空間の中心側に配される中心電極と外周側に配される周面電極とからなり、当該周面電極は、多数の微細透孔が形成された導電性メッシュに光触媒を担持させた多孔質光触媒シートが巻回されて、前記放電管の外表面に設けられたことを特徴としている。
本発明によれば、中心電極と周面電極との間に高周波電圧が印加されて、放電空間で誘電体バリア放電が生じ、放電管の外周面に設けられている周面電極に紫外線が照射される。
周面電極は、導電性メッシュに光触媒となるアナターゼ型酸化チタンを担持させた多孔質光触媒シートからなるので、その内側に担持されている光触媒が放電管から照射された紫外線により励起されると共に、メッシュの微細透孔の周辺に担持された光触媒が当該透孔を透過する紫外線により励起され、微細流路を透過した紫外線がその外側開口部で回折現象を起こすので多孔質光触媒シートの外側に担持されている光触媒も励起される。
したがって、放電管から照射された紫外線は、周面電極に遮られるものも、微細流路を透過するものも、そのほとんどが周面電極に担持された光触媒を励起することとなるので、光の利用効率が極めて高く、しかも、周面電極に担持されているほとんどの光触媒が励起される。
したがって、本発明に係るエキシマランプを水や空気などの被処理流体の流路中に配することにより、被処理流体が周面電極の表面に接触する際に、紫外線励起された光触媒に接触して浄化処理される。
周面電極は、導電性メッシュに光触媒となるアナターゼ型酸化チタンを担持させた多孔質光触媒シートからなるので、その内側に担持されている光触媒が放電管から照射された紫外線により励起されると共に、メッシュの微細透孔の周辺に担持された光触媒が当該透孔を透過する紫外線により励起され、微細流路を透過した紫外線がその外側開口部で回折現象を起こすので多孔質光触媒シートの外側に担持されている光触媒も励起される。
したがって、放電管から照射された紫外線は、周面電極に遮られるものも、微細流路を透過するものも、そのほとんどが周面電極に担持された光触媒を励起することとなるので、光の利用効率が極めて高く、しかも、周面電極に担持されているほとんどの光触媒が励起される。
したがって、本発明に係るエキシマランプを水や空気などの被処理流体の流路中に配することにより、被処理流体が周面電極の表面に接触する際に、紫外線励起された光触媒に接触して浄化処理される。
また、周面電極の、一方向に沿って連続する波状の起伏を形成すれば、その起伏が放電管の外表面に線接触するように設けられるので、放電管に接触する部分と接触しない部分が形成されていない部分との間に隙間が形成される。
この場合、被処理流体がその隙間を流通することによっても浄化処理されるので、浄化処理効率が向上する。
この場合、被処理流体がその隙間を流通することによっても浄化処理されるので、浄化処理効率が向上する。
さらに、周面電極を放電管の外周面に線接触させれば、周面電極と中心電極との間に形成される電界が放電管に線接触している部分に集中するため、絶縁破壊を起こしやすく、したがって、放電ガスとして点灯しにくいキセノンガスを使用する場合でも、大電力を印加することなく点灯することができる。
本発明は、照射される紫外線を有効に利用して、光触媒の処理効率を向上させることができるだけでなく、キセノンガスを用いた場合でも点灯性を向上させるという目的を達成するために、放電ガスが気密に封入される放電管に形成された放電空間を挟むようにその外側に一対の電極が配され、当該電極間に高周波電圧を印加することにより前記放電空間内に誘電体バリア放電を生じさせて紫外線を照射するエキシマランプにおいて、前記放電空間の少なくとも一部が円筒空間に形成されると共に、前記一対の電極が円筒空間の中心側に配される中心電極と外周側に配される周面電極とからなり、当該周面電極は、多数の微細透孔が形成された導電性メッシュに光触媒を担持させた多孔質光触媒シートを巻回して、放電管の外表面に設けた。
図１〜図３に示す本例のエキシマランプ１は、放電ガスが気密に封入される石英ガラスからなる放電管２に形成された放電空間３を挟むようにその外側に一対の電極４Ａ及び４Ｂが配され、当該電極４Ａ及び４Ｂ間に電源５から高周波電圧を印加することにより、放電空間３内に誘電体バリア放電を生じさせるようになっている。
放電空間３は、少なくとも一部が円筒空間に形成されると共に、前記一対の電極４Ａ及び４Ｂが円筒空間の中心側に配される中心電極４Ａと外周側に配される周面電極４Ｂとからなる。
中心電極４Ａは、その両端縁６ａ，６ｂがナイフエッジのように尖って形成された帯板状に形成されて、誘電体である石英ガラス７で覆われて放電管２の中心に配されて成る。
また、周面電極４Ｂは、一方向に沿って連続する波状の起伏が形成された多孔質光触媒シート１１で形成され、その起伏が放電管２の外表面に線接触するように巻回されて設けられており、放電管２の周面には、周面電極４Ｂと間に、その管軸方向に沿って延びるトンネル状の隙間８…が形成されている。
中心電極４Ａは、その両端縁６ａ，６ｂがナイフエッジのように尖って形成された帯板状に形成されて、誘電体である石英ガラス７で覆われて放電管２の中心に配されて成る。
また、周面電極４Ｂは、一方向に沿って連続する波状の起伏が形成された多孔質光触媒シート１１で形成され、その起伏が放電管２の外表面に線接触するように巻回されて設けられており、放電管２の周面には、周面電極４Ｂと間に、その管軸方向に沿って延びるトンネル状の隙間８…が形成されている。
多孔質光触媒シート１１は、図４〜図５に示すように、チタンシート１２の片面又は両面から非周期的パターンによるエッチング処理を施して表裏を貫通する多数の微細流路１３を形成した非周期性海綿構造を有するチタンメッシュ（導電性メッシュ）１４の表面に、陽極酸化皮膜による酸化チタンベース１５が形成され、当該酸化チタンベース１５に光触媒となるアナターゼ型酸化チタン１６が焼き付けられて成る。
図５はこのような多孔質光触媒シート１１の製造方法を示す説明図である。
まず、チタンシート１２に微細流路１３を形成するエッチング処理を行う。
エッチング処理は、純チタンを圧延して形成したチタンシート１２の表裏両面にフォトレジスト剤１７を塗布する塗布工程（図５（ａ））と、レジスト剤１７の上から非周期的パターンが形成されたマスキングフィルム１８、１８を重ねて露光する露光工程（図５（ｂ））と、露光後、レジスト剤の感光していない部分を洗浄し、感光した部分をチタンシート１２の表面に残す洗浄工程（図５（ｃ））と、レジスト剤１７で非周期網目パターンがマスキングされたチタンシート１２をエッチング液に浸漬し、表裏両面からチタンシート１２の厚さの半分まで浸食させることにより表裏を貫通する多数の微細流路１３…を形成する浸漬工程（図５（ｄ））からなる。
まず、チタンシート１２に微細流路１３を形成するエッチング処理を行う。
エッチング処理は、純チタンを圧延して形成したチタンシート１２の表裏両面にフォトレジスト剤１７を塗布する塗布工程（図５（ａ））と、レジスト剤１７の上から非周期的パターンが形成されたマスキングフィルム１８、１８を重ねて露光する露光工程（図５（ｂ））と、露光後、レジスト剤の感光していない部分を洗浄し、感光した部分をチタンシート１２の表面に残す洗浄工程（図５（ｃ））と、レジスト剤１７で非周期網目パターンがマスキングされたチタンシート１２をエッチング液に浸漬し、表裏両面からチタンシート１２の厚さの半分まで浸食させることにより表裏を貫通する多数の微細流路１３…を形成する浸漬工程（図５（ｄ））からなる。
このように、チタンシート１２の両面からエッチング処理を施せば、そのマスキングフィルム１８のパターンに周期性がないことから、チタンシート１２の表側と裏側から異なるパターンの孔が形成される。
その結果、図４に示すように、チタンシート１２の厚さ方向に複雑なラビリンス状の微細流路が形成され、単純なメッシュ構造よりも比表面積が著しく大きくなる。
なお、チタンメッシュ１４の空隙率（エッチング処理後の重量／エッチング処理前の重量）は２０％程度である。
また、その表面を拡大観察すると、この時点では、図５（ｅ）に示すように、概ねフラットな状態となっている。
その結果、図４に示すように、チタンシート１２の厚さ方向に複雑なラビリンス状の微細流路が形成され、単純なメッシュ構造よりも比表面積が著しく大きくなる。
なお、チタンメッシュ１４の空隙率（エッチング処理後の重量／エッチング処理前の重量）は２０％程度である。
また、その表面を拡大観察すると、この時点では、図５（ｅ）に示すように、概ねフラットな状態となっている。
次いで、その表面に酸化チタンベース１５を形成する陽極酸化処理を行う。
陽極酸化処理は、リン酸浴（例えばリン酸３％水溶液）中で、陽極となるチタンシート１２と陰極との間に所定電圧を印加して行われ、その結果、図５（ｆ）に示すように、チタンシート１２の表面が酸化されて陽極酸化皮膜が形成される。
このとき、酸化皮膜は、チタンシート１２の表裏両面だけでなく、微細流路１３の内壁面などリン酸浴に曝されている全表面に形成される。
その後、このチタンシート１２を大気中で５５０℃、３時間加熱する加熱処理を施し、陽極酸化皮膜が加熱された酸化チタンベース１５が形成される。
その表面を拡大観察すると、エッチング処理した時点でフラットだった表面に、陽極酸化処理及び加熱処理によるひび割れ１９が多数出現する。
陽極酸化処理は、リン酸浴（例えばリン酸３％水溶液）中で、陽極となるチタンシート１２と陰極との間に所定電圧を印加して行われ、その結果、図５（ｆ）に示すように、チタンシート１２の表面が酸化されて陽極酸化皮膜が形成される。
このとき、酸化皮膜は、チタンシート１２の表裏両面だけでなく、微細流路１３の内壁面などリン酸浴に曝されている全表面に形成される。
その後、このチタンシート１２を大気中で５５０℃、３時間加熱する加熱処理を施し、陽極酸化皮膜が加熱された酸化チタンベース１５が形成される。
その表面を拡大観察すると、エッチング処理した時点でフラットだった表面に、陽極酸化処理及び加熱処理によるひび割れ１９が多数出現する。
なお、チタンを陽極酸化処理した場合、その酸化皮膜の厚さに応じて光の干渉により異なる色が発色し、厚さ７０ｎｍ程度で紫色、１５０ｎｍ程度で緑色、２００ｎｍ程度でピンク色を呈することが知られている。
本例では、厚さ７０〜１５０ｎｍの皮膜を形成した。
本例では、厚さ７０〜１５０ｎｍの皮膜を形成した。
また、本例では、光触媒シート１１を波板状に形成するため、陽極酸化処理を施した後、加熱処理を施す前に、プレス加工により波板状に形成する成形処理を施してチタンメッシュ１４の長手方向に沿って連続する起伏を折曲形成している。
この成形加工は、エッチング処理後、酸化チタンベースにアナターゼ型酸化チタン粒子を焼き付ける焼き付け処理の前であればよく、例えば、エッチング処理後、陽極酸化処理の前にプレス加工をしても良い。
この成形加工は、エッチング処理後、酸化チタンベースにアナターゼ型酸化チタン粒子を焼き付ける焼き付け処理の前であればよく、例えば、エッチング処理後、陽極酸化処理の前にプレス加工をしても良い。
そして最後に、アナターゼ型酸化チタン１６を担持させる焼付処理を行う。
焼付処理は、表面に酸化チタンベース１５が形成されたチタンシート１２を、アナターゼ型酸化チタン１６を分散したスラリー中にディッピングした後、これを５５０℃で焼き付けることにより行い、その結果、図５（ｇ）に示すように、チタンシート１２の表裏両面及び微細流路１３の内壁面に光触媒層２０が形成される。
なお、酸化チタンベース１５と光触媒層２０は、酸化チタン同士が結合することになるので、その結合性が極めて強くなり、その結果、光触媒層２０が剥がれ難くなる。
焼付処理は、表面に酸化チタンベース１５が形成されたチタンシート１２を、アナターゼ型酸化チタン１６を分散したスラリー中にディッピングした後、これを５５０℃で焼き付けることにより行い、その結果、図５（ｇ）に示すように、チタンシート１２の表裏両面及び微細流路１３の内壁面に光触媒層２０が形成される。
なお、酸化チタンベース１５と光触媒層２０は、酸化チタン同士が結合することになるので、その結合性が極めて強くなり、その結果、光触媒層２０が剥がれ難くなる。
さらに、エッチング処理により微細流路１３を形成したことにより表面が複雑な凹凸形状をなし、陽極酸化皮膜でなる酸化チタンベース１５はミクロンオーダーの微細なひび割れ１９を生ずるため、その上に光触媒層２０が強固に結合するだけでなく、表面積が増え、処理効率が格段に向上する。
また、ＵＶ光を照射したときに光触媒層２０の表面及び酸化チタンベース１５との界面で乱反射／光散乱が起き、ＵＶ光を効率よく利用できる。
さらにまた、チタン箔を使用したことで光触媒シート自体を軽量に形成することができることから設計の自由度が大きくなり、耐熱性、耐薬品にも優れるため、過酷な使用条件の下でも使用に耐え得る。
また、ＵＶ光を照射したときに光触媒層２０の表面及び酸化チタンベース１５との界面で乱反射／光散乱が起き、ＵＶ光を効率よく利用できる。
さらにまた、チタン箔を使用したことで光触媒シート自体を軽量に形成することができることから設計の自由度が大きくなり、耐熱性、耐薬品にも優れるため、過酷な使用条件の下でも使用に耐え得る。
そして、このように形成された多孔質光触媒シート１１を、その起伏の形成方向に沿って巻回して放電管２に外装することにより、その起伏が放電管２の管軸方向に沿ってその外表面に線接触された周面電極４Ｂが形成されている。
周面電極４Ｂは、図３に示すように、放電管２に対して所定のピッチ（本例では中心角２２.５°）で起伏が形成されており、０°から２２.５°ピッチで線接触される。
このとき、径方向の対向位置すなわち０°と１８０°の位置で放電管２に線接触するとともに、その径方向上に、中心電極４Ａの両端縁６ａ、６ｂが位置している。
これにより、周面電極４Ｂとなる多孔質光触媒シート１１が放電管に線接触している部分１１ａ、１１ｂと、中心電極４Ａの両端縁６ａ、６ｂが径方向に対向して設けられ、しかも、電極４Ａ，４Ｂの最も接近した部分が線状に形成されているので、点灯時に絶縁破壊がおきやすい。
周面電極４Ｂは、図３に示すように、放電管２に対して所定のピッチ（本例では中心角２２.５°）で起伏が形成されており、０°から２２.５°ピッチで線接触される。
このとき、径方向の対向位置すなわち０°と１８０°の位置で放電管２に線接触するとともに、その径方向上に、中心電極４Ａの両端縁６ａ、６ｂが位置している。
これにより、周面電極４Ｂとなる多孔質光触媒シート１１が放電管に線接触している部分１１ａ、１１ｂと、中心電極４Ａの両端縁６ａ、６ｂが径方向に対向して設けられ、しかも、電極４Ａ，４Ｂの最も接近した部分が線状に形成されているので、点灯時に絶縁破壊がおきやすい。
以上が本発明に係るエキシマランプ１の一例構成であって、次にその作用を説明する。
図３（ｂ）は、エキシマランプ１に電源５から例えば２０ｋＨｚの高周波電圧を電極４Ａ，４Ｂ間に印加したときに形成される電界Ｅ及びｅを示す説明図で、電極４Ａ，４Ｂ同士の最も接近した部分、すなわち、中心電極４Ａの両端縁６ａ、６ｂと、これに対向する周面電極４Ｂの放電管２に線接触している部分１１ａ、１１ｂとの間で電界Ｅが形成される。
しかも、双方の電極４Ａ，４Ｂの対向部分はいずれも線状に形成されているので、電界Ｅは双方の電極４Ａ，４Ｂに対して局部的に集中して形成される。
図３（ｂ）は、エキシマランプ１に電源５から例えば２０ｋＨｚの高周波電圧を電極４Ａ，４Ｂ間に印加したときに形成される電界Ｅ及びｅを示す説明図で、電極４Ａ，４Ｂ同士の最も接近した部分、すなわち、中心電極４Ａの両端縁６ａ、６ｂと、これに対向する周面電極４Ｂの放電管２に線接触している部分１１ａ、１１ｂとの間で電界Ｅが形成される。
しかも、双方の電極４Ａ，４Ｂの対向部分はいずれも線状に形成されているので、電界Ｅは双方の電極４Ａ，４Ｂに対して局部的に集中して形成される。
光触媒励起用の紫外線（発光波長：３０８ｎｍ）を照射するために、従来より、放電管２に放電ガスとしてキセノンガス（塩化キセノン：ＸｅＣｌ）が封入されるが、キセノンガスを用いたエキシマランプは、一般に、点灯しにくく点灯始動時に大電力を投入しなければならないため、電源装置に始動用の回路を組み込まなければならず、回路が複雑になったり、始動時に不要な発熱が生ずるという問題があった。
本例のように、周面電極４Ｂを波状に形成することにより、点灯時に大電力を印加しなくても絶縁破壊がおきやすくなり点灯性が向上するというメリットがある。
本例のように、周面電極４Ｂを波状に形成することにより、点灯時に大電力を印加しなくても絶縁破壊がおきやすくなり点灯性が向上するというメリットがある。
また、中心電極４Ａの両端縁６ａ、６ｂと、周面電極４Ｂの放電管２に線接触しているその他の部分１１ｃとの間でも電界ｅが形成されているので、電界Ｅにより絶縁破壊されて点灯開始されると、放電管２内全体で誘電体バリア放電を生じ、放電管２からその外部へ紫外線が照射される。
この紫外線は、放電管２の管壁を透過して、まず、周面電極４Ｂの内周面に照射され、周面電極４Ｂを形成する多孔質光触媒シート１１の微細流路１３を透過する。
この紫外線は、放電管２の管壁を透過して、まず、周面電極４Ｂの内周面に照射され、周面電極４Ｂを形成する多孔質光触媒シート１１の微細流路１３を透過する。
したがって、多孔質光触媒シート１１の内周面に形成された光触媒層２０、微細流路１３の内側に形成されている光触媒層２０、さらに多孔質光触媒シート１１の外側で紫外線が透過する微細流路１３の外側開口部近傍に形成されている光触媒層２０は、紫外線が直接照射されて励起される。
また、微細流路１３を透過した紫外線は、その外側開口部で回折現象を起こすので、多孔質光触媒シート１１の外側に形成されている光触媒層２０も少なからず励起されることとなる。
また、微細流路１３を透過した紫外線は、その外側開口部で回折現象を起こすので、多孔質光触媒シート１１の外側に形成されている光触媒層２０も少なからず励起されることとなる。
このように、エキシマランプ１を点灯することにより、放電管２から照射された紫外線は、周面電極４Ｂに遮られるものも、周面電極４Ｂの微細流路１３を透過するものも、そのほとんどが周面電極４Ｂに形成されている光触媒層２０を励起することとなるので、光の利用効率が極めて高く、しかも、周面電極４Ｂに担持されているほとんどの光触媒が励起することができる。
そして、このエキシマランプ１を、図６に示すように、被処理流体として例えば汚染空気が流通する流路Ｆ中に設置し点灯させれば、汚染空気が周面電極４Ｂの外周面に沿う流れｆ１、周面電極４Ｂと放電管２との間に形成されたトンネル状の隙間８…内の流れｆ２、ｆ３、周面電極４Ｂに形成された微細流路１３を通過する流れｆ４、ｆ５等が形成され、これらの流れｆ１〜ｆ５により汚染空気が光触媒層２０に接触して浄化される。
このとき、エキシマランプ１の放電管２の径方向に照射されるすべての紫外線は、光触媒の励起に寄与するので、光の利用効率が極めて高く、低出力の紫外線で十分な浄化作用が得られる。
また、周面電極４Ｂに形成された光触媒層２０に担持されているほとんどの光触媒が紫外線励起されるので、被処理流体が周面電極４Ｂに接触すれば、その光触媒作用により浄化されることとなり、浄化効率が極めて高いというメリットがある。
また、周面電極４Ｂに形成された光触媒層２０に担持されているほとんどの光触媒が紫外線励起されるので、被処理流体が周面電極４Ｂに接触すれば、その光触媒作用により浄化されることとなり、浄化効率が極めて高いというメリットがある。
図７は本発明に係るエキシマランプのほかの実施例を示す。なお、図１〜３と共通する部分は同一符号を付して詳細説明を省略する。
図７に示すエキシマランプ２１は、中心電極４Ａが棒状に形成され、その表面に多数の突条２２…が形成されており、周面電極４Ｂは、実施例１と同じものを用いている。
本例では、中心電極４Ａの断面が星型となるように、中心角２２.５°のピッチでに１６個の突条２２…が、その長手方向に延設されている。
図７に示すエキシマランプ２１は、中心電極４Ａが棒状に形成され、その表面に多数の突条２２…が形成されており、周面電極４Ｂは、実施例１と同じものを用いている。
本例では、中心電極４Ａの断面が星型となるように、中心角２２.５°のピッチでに１６個の突条２２…が、その長手方向に延設されている。
また、放電管２に巻回した周面電極４Ｂにも同様に周方向に１６個の波が形成されるように所定のピッチ（本例では中心角２２.５°）で起伏が形成され、放電管２に線接触している部分２３と、中心電極４Ａに形成された各突条２２が、径方向に対向するように設けられている。
これにより、電極４Ａ，４Ｂの最も接近した部分が線状に形成されて対向することとなるので、点灯時に絶縁破壊がおきやすい。
これにより、電極４Ａ，４Ｂの最も接近した部分が線状に形成されて対向することとなるので、点灯時に絶縁破壊がおきやすい。
すなわち、このエキシマランプ２１に、電源５から例えば２０ｋＨｚの高周波電圧を電極４Ａ，４Ｂ間に印加すると、図７（ｂ）に示すように、電極４Ａ，４Ｂ同士の最も接近した部分、すなわち、中心電極４Ａの各突条２２…と、これに対向する周面電極４Ｂの放電管２に線接触している部分２３…との間で電界Ｅが形成される。
しかも、双方の電極４Ａ，４Ｂの対向部分はいずれも線状に形成されているので、電界Ｅは双方の電極４Ａ，４Ｂに対して局部的に集中して形成され、したがって、点灯時に大電力を印加しなくても絶縁破壊がおきやすく点灯性が向上する。
さらに、そのような集中電界Ｅが、中心電極４Ａから放射状に１６方位に向って形成されるので、極めて点灯性に優れる。
しかも、双方の電極４Ａ，４Ｂの対向部分はいずれも線状に形成されているので、電界Ｅは双方の電極４Ａ，４Ｂに対して局部的に集中して形成され、したがって、点灯時に大電力を印加しなくても絶縁破壊がおきやすく点灯性が向上する。
さらに、そのような集中電界Ｅが、中心電極４Ａから放射状に１６方位に向って形成されるので、極めて点灯性に優れる。
なお、エキシマランプ２１から照射される紫外線の利用効率に優れる点、周面電極４Ｂに形成された光触媒層２０による浄化処理効率が高い点は、実施例１と同様である。
また、中心電極４Ａの表面に突条を形成する場合に限らず、多数の突起を形成しても同様である。
また、中心電極４Ａの表面に突条を形成する場合に限らず、多数の突起を形成しても同様である。
図８及び図９はさらに他の実施例を示す。
本例のエキシマランプ２５に使用される周面電極４Ｂは、多孔質光触媒シート１１を曲げ加工して起伏を形成すると共に、その起伏の形成方向と直交する方向に巻回した蛇腹状に形成されており、放電管２の周方向に沿って線接触されている。
本例の中心電極４Ａは、通常の棒状電極を使用しているが、図１及び図３に示すようなナイフエッジを形成した帯板状の電極であっても、図７に示すように表面に突条２２…を形成したものであっても、さらには、突起を形成したものであってもよい。
本例のエキシマランプ２５に使用される周面電極４Ｂは、多孔質光触媒シート１１を曲げ加工して起伏を形成すると共に、その起伏の形成方向と直交する方向に巻回した蛇腹状に形成されており、放電管２の周方向に沿って線接触されている。
本例の中心電極４Ａは、通常の棒状電極を使用しているが、図１及び図３に示すようなナイフエッジを形成した帯板状の電極であっても、図７に示すように表面に突条２２…を形成したものであっても、さらには、突起を形成したものであってもよい。
本例においても、周面電極４Ｂが放電管２に線接触されているので、中心電極４Ａとの間で形成される電界Ｅは、少なくとも周面電極４Ｂ側で集中することとなり、したがって絶縁破壊がおきやすく、点灯性を向上させることができる。
また、エキシマランプ２５から照射される紫外線の利用効率に優れる点、周面電極４Ｂに形成された光触媒層２０による浄化処理効率が高い点は、実施例１及び２と同様である。
また、エキシマランプ２５から照射される紫外線の利用効率に優れる点、周面電極４Ｂに形成された光触媒層２０による浄化処理効率が高い点は、実施例１及び２と同様である。
さらに、本発明に係るエキシマランプ２６は、図１０に示すように、周面電極４Ｂとして、フラットな多孔質光触媒シート１１を略楕円に巻回して、その短軸方向部分を放電管２の管軸方向に線接触させ、長軸方向に二つのトンネル状の隙間８を形成しても良い。
この場合、中心電極４Ａの両端縁６ａ、６ｂと、これに対向する周面電極４Ｂの放電管２に線接触している部分１１ａ、１１ｂとの間で集中電界Ｅが形成されるので、実施例１と同様点灯性に優れる。
紫外線の利用効率、光触媒層２０の浄化処理効率が高いのも、実施例１と同様である。
この場合、中心電極４Ａの両端縁６ａ、６ｂと、これに対向する周面電極４Ｂの放電管２に線接触している部分１１ａ、１１ｂとの間で集中電界Ｅが形成されるので、実施例１と同様点灯性に優れる。
紫外線の利用効率、光触媒層２０の浄化処理効率が高いのも、実施例１と同様である。
なお、いずれの実施例においても、中心電極４Ａは、ナイフエッジを形成した帯板上のものに限らず、両端縁が尖っていない単なる板状としたり、円柱状、円筒状に形成してもよい。
また、周面電極４Ｂに形成される波状の起伏は、ピッチが一定の場合に限らず、被処理流体の状態に応じて起伏の大きさや長さを変えて、トンネル状の隙間８の大きさを変えたものでもよい。
また、周面電極４Ｂに形成される波状の起伏は、ピッチが一定の場合に限らず、被処理流体の状態に応じて起伏の大きさや長さを変えて、トンネル状の隙間８の大きさを変えたものでもよい。
また、キセノンガスに替えてより点灯し易い放電ガスを使用するなどして、局所的に電界を集中させる必要が無い場合には、周面電極４Ｂを放電管２の外周面に沿った円筒状として、放電管２の外表面に面接触させて、トンネル状の隙間を無くしても良い。
この場合においては、多数の微細透孔を設けた周面電極４Ｂの非周期性海綿構造により、電界の集中が生じ、絶縁破壊がおきやすくなる。
この場合においては、多数の微細透孔を設けた周面電極４Ｂの非周期性海綿構造により、電界の集中が生じ、絶縁破壊がおきやすくなる。
本発明のエキシマランプは、周面電極に光触媒を担持させているので、このまま励起光源付き光触媒ユニットとして空気清浄機や浄水器に組み込んで使用することができる。
１ エキシマランプ
２ 放電管
３ 放電空間
４Ａ、４Ｂ 電極
１１ 多孔質光触媒シート
１２ チタンシート
１４ チタンメッシュ（導電性メッシュ）
１６ アナターゼ型酸化チタン
２０ 光触媒層
２ 放電管
３ 放電空間
４Ａ、４Ｂ 電極
１１ 多孔質光触媒シート
１２ チタンシート
１４ チタンメッシュ（導電性メッシュ）
１６ アナターゼ型酸化チタン
２０ 光触媒層
Claims (10)
- 放電ガスが気密に封入される放電管に形成された放電空間を挟むようにその外側に一対の電極が配され、当該電極間に高周波電圧を印加することにより前記放電空間内に誘電体バリア放電を生じさせて紫外線を照射するエキシマランプにおいて、
前記放電空間の少なくとも一部が円筒空間に形成されると共に、前記一対の電極が円筒空間の中心側に配される中心電極と外周側に配される周面電極とからなり、
当該周面電極は、多数の微細透孔が形成された導電性メッシュに光触媒を担持させた多孔質光触媒シートが巻回されて、前記放電管の外表面に設けられたことを特徴とするエキシマランプ。 - 前記周面電極は、前記放電管の外表面に線接触するように前記多孔質光触媒シートが湾曲又は折曲形成されてなる請求項１記載のエキシマランプ。
- 前記多孔質光触媒シートは、一方向に沿って連続する波状の起伏が湾曲又は折曲形成されて成る請求項２記載のエキシマランプ。
- 前記導電性メッシュが、チタンシートの片面又は両面から非周期的パターンによるエッチング処理を施して表裏を貫通する多数の微細流路を形成した非周期性海綿構造を有するチタンメッシュで成る請求項１乃至３いずれか記載のエキシマランプ。
- 前記多孔質光触媒シートは、前記チタンメッシュの表面に陽極酸化皮膜による酸化チタンベースが形成され、当該酸化チタンベースにアナターゼ型酸化チタン粒子が焼き付けられて成る請求項４記載のエキシマランプ。
- 前記中心電極が誘電体で覆われて前記放電管内に配されて成る請求項１乃至４いずれか記載のエキシマランプ。
- 前記中心電極が帯板状に形成された請求項６記載のエキシマランプ。
- 前記中心電極が表面に多数の突条又は突起が形成された棒状に形成された請求項６記載のエキシマランプ。
- 前記周面電極は、前記多孔質光触媒シートが、前記起伏の形成方向に沿って巻回され、放電管の管軸方向に沿って線接触される請求項３乃至５いずれか記載のエキシマランプ。
- 前記周面電極は、前記多孔質光触媒シートが、前記起伏の形成方向と直交する方向に巻回され、放電管の周方向に沿って線接触される請求項３乃至５いずれか記載のエキシマランプ。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011056427A JP5705599B2 (ja) | 2011-03-15 | 2011-03-15 | エキシマランプ |
| KR1020137014079A KR20130139301A (ko) | 2011-03-15 | 2012-03-02 | 엑시머 램프 |
| PCT/JP2012/055337 WO2012124505A1 (ja) | 2011-03-15 | 2012-03-02 | エキシマランプ |
| CN201280003877.5A CN103229273B (zh) | 2011-03-15 | 2012-03-02 | 受激准分子灯 |
| TW101108596A TW201248678A (en) | 2011-03-15 | 2012-03-14 | Excimer lamp |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011056427A JP5705599B2 (ja) | 2011-03-15 | 2011-03-15 | エキシマランプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012195071A true JP2012195071A (ja) | 2012-10-11 |
| JP5705599B2 JP5705599B2 (ja) | 2015-04-22 |
Family
ID=46830580
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011056427A Active JP5705599B2 (ja) | 2011-03-15 | 2011-03-15 | エキシマランプ |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5705599B2 (ja) |
| KR (1) | KR20130139301A (ja) |
| CN (1) | CN103229273B (ja) |
| TW (1) | TW201248678A (ja) |
| WO (1) | WO2012124505A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020095835A1 (ja) * | 2018-11-06 | 2020-05-14 | ウシオ電機株式会社 | 気体処理装置 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104623714A (zh) * | 2015-02-13 | 2015-05-20 | 常州大恒环保科技有限公司 | 一种空气净化装置 |
| CN106540527A (zh) * | 2015-09-17 | 2017-03-29 | 天津市广泽特种光源有限公司 | 废气净化准分子光电一体化设备 |
| CN108421412A (zh) * | 2017-02-13 | 2018-08-21 | 优维科斯株式会社 | 光催化剂担载网状片及其制造方法、空气净化器 |
| KR101999486B1 (ko) | 2018-07-26 | 2019-07-11 | 유니램 주식회사 | 엑시머 램프의 베이스 구조 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002100324A (ja) * | 2000-09-25 | 2002-04-05 | Toshiba Lighting & Technology Corp | 誘電体バリヤ放電ランプおよび誘電体バリヤ放電ランプ装置 |
| JP2002150997A (ja) * | 2000-11-10 | 2002-05-24 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 平板型紫外線ランプ |
| JP2010163295A (ja) * | 2009-01-13 | 2010-07-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 紫外光用耐フッ素性ガラス、ランプ用ガラス管、およびエキシマランプ |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11265689A (ja) * | 1998-03-18 | 1999-09-28 | Toshiba Lighting & Technology Corp | 誘電体バリヤ放電ランプ、誘電体バリヤ放電ランプ装置および紫外線照射装置 |
| JP2001084966A (ja) * | 1999-09-14 | 2001-03-30 | Toshiba Lighting & Technology Corp | 誘電体バリヤ放電ランプ，誘電体バリヤ放電ランプ点灯装置および紫外線照射装置 |
| JP2002153364A (ja) * | 2000-11-20 | 2002-05-28 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 冷凍・冷蔵ショーケース用平板型照明体 |
| CN1356716A (zh) * | 2000-11-10 | 2002-07-03 | 日本板硝子株式会社 | 平板型紫外线灯和冷冻冷藏陈列柜用平板型照明体 |
| JP4811135B2 (ja) * | 2006-06-01 | 2011-11-09 | ウシオ電機株式会社 | 紫外光放射装置 |
-
2011
- 2011-03-15 JP JP2011056427A patent/JP5705599B2/ja active Active
-
2012
- 2012-03-02 WO PCT/JP2012/055337 patent/WO2012124505A1/ja active Application Filing
- 2012-03-02 CN CN201280003877.5A patent/CN103229273B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2012-03-02 KR KR1020137014079A patent/KR20130139301A/ko not_active Application Discontinuation
- 2012-03-14 TW TW101108596A patent/TW201248678A/zh unknown
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002100324A (ja) * | 2000-09-25 | 2002-04-05 | Toshiba Lighting & Technology Corp | 誘電体バリヤ放電ランプおよび誘電体バリヤ放電ランプ装置 |
| JP2002150997A (ja) * | 2000-11-10 | 2002-05-24 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 平板型紫外線ランプ |
| JP2010163295A (ja) * | 2009-01-13 | 2010-07-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 紫外光用耐フッ素性ガラス、ランプ用ガラス管、およびエキシマランプ |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020095835A1 (ja) * | 2018-11-06 | 2020-05-14 | ウシオ電機株式会社 | 気体処理装置 |
| JP2020074870A (ja) * | 2018-11-06 | 2020-05-21 | ウシオ電機株式会社 | 気体処理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN103229273B (zh) | 2016-01-20 |
| JP5705599B2 (ja) | 2015-04-22 |
| TW201248678A (en) | 2012-12-01 |
| CN103229273A (zh) | 2013-07-31 |
| KR20130139301A (ko) | 2013-12-20 |
| WO2012124505A1 (ja) | 2012-09-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5705599B2 (ja) | エキシマランプ | |
| JP5697075B2 (ja) | 空気清浄機 | |
| WO2014148325A1 (ja) | 蛍光エキシマランプおよび流体処理装置 | |
| JP6564663B2 (ja) | エキシマランプ装置 | |
| JP5474612B2 (ja) | 光触媒シート及びその製造方法 | |
| KR20130041763A (ko) | 광촉매 엘리먼트 구조체, 자외선 공기 청정기, 광촉매 시트, 및 광촉매 시트 제조 방법 | |
| KR20130138716A (ko) | 방전램프 | |
| CN110459460B (zh) | 准分子光源 | |
| KR20170040654A (ko) | 연면방전과 공간방전을 동시에 사용하는 복합형 유전체 장벽 방전 전극 | |
| JP2016036772A (ja) | 紫外線照射式浄水器 | |
| WO2018147444A1 (ja) | 光触媒担持網状シート、空気清浄機、及び光触媒担持網状シートの製造方法 | |
| JP2022168265A (ja) | 放電ランプおよびオゾン生成方法 | |
| JP6887593B2 (ja) | 光触媒シート、空気清浄機及び光触媒シートの製造方法 | |
| JP5614755B2 (ja) | 空気清浄機 | |
| JP2014094340A (ja) | 光触媒体及びその製造方法 | |
| CN103681211B (zh) | 一种柔性有机平板紫外光源及其制备方法 | |
| JP3912139B2 (ja) | 放電ランプ装置 | |
| US6752884B2 (en) | Method for manufacturing mesh screen of electrodeless lighting system | |
| JP3660057B2 (ja) | 流体処理装置 | |
| JP6670570B2 (ja) | エキシマ放電ユニット | |
| JP2012064382A (ja) | 外部電極型ランプ及びこれを用いた照射装置 | |
| CN203850251U (zh) | 一种水处理的杀菌光源用玻壳 | |
| RU94222U1 (ru) | Проточный фотореактор барьерного разряда | |
| JP2019204627A (ja) | 光透過性材料およびランプ | |
| JP2012204736A (ja) | 光処理装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140124 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20140124 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141028 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141028 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150127 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150225 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5705599 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |