JP2012193066A - 光ファイバ母材の製造方法、および光ファイバ母材の製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ガラス微粒子堆積装置1は主に、反応容器3、バーナ5、ターゲット材設置部6等から構成される。反応容器3内部には、複数のバーナ5が所定間隔で配置される。反応容器3は、略円状の断面形状である。反応容器3の材質は、反射率が高く、使用時の容器内面温度で必要な耐熱、耐腐食性を有していればいずれの材質も使用することができる。加熱中心25とターゲット中心27とを結ぶ直線E1を想定し、ターゲット中心27を通過し、この直線E1に対し±45°の方向の延長線を直線E3とする。本発明では、直線E1に対して±45°の直線E3と反応容器3との交点近傍の内面がターゲット材側反射面29bとなる。ターゲット材側反射面29bは、ターゲット中心27側を中心方向とする曲面で形成される。
【選択図】図6
Description
method)等がある。OVD法は、珪素を含むガラス原料を可燃性ガス、助燃性ガス等の燃焼ガスとともにバーナに導入し、火炎中でガラス原料を加水分解反応又は酸化反応させることにより、ガラス微粒子体及び微粒子体の集合体を生成させ、これを回転する堆積ターゲットとなる心棒の外周に堆積させてガラス微粒子堆積体を形成する方法である。
前記ターゲット材の中心を中心とし、前記ターゲット材と前記バーナの加熱中心とを結び延長線上のターゲット側を0°、前記ターゲット材の中心を通り前記延長線と垂直に交わる線上を±90°としたとき、±135°方向における前記反応容器の内面近傍が前記ターゲット材側を中心方向とする曲面であることが望ましい。
3、3a、3b、3c………反応容器
4………ターゲット材
5………バーナ
6………ターゲット材把持部
7………多孔質ガラス母材
9………排気口
11………補助バーナ
13………原料ガス流路
15………原料シールガス流路
17………可燃ガス流路
19………助燃ガス流路
21………バーナシールガス流路
23………給気口
25、25a、25b………加熱中心
27………ターゲット中心
29a………バーナ側反射面
29b………ターゲット側反射面
61………給気ガス流路
100………ガラス微粒子堆積装置
101………反応容器
Claims (7)
- 反応容器内にターゲット材を設け、
原料ガスおよび可燃ガスをバーナから噴出させてガラス微粒子を生成し、
前記ターゲット材を回転させながら、前記ターゲット材と前記バーナを相対移動させ、前記ガラス微粒子を前記ターゲット材の外周に堆積させて光ファイバ母材とする光ファイバ母材の製造方法であって、
前記反応容器の断面における前記ターゲット材と前記バーナの配置において、
前記ターゲット材の中心を中心とし、前記ターゲット材と前記バーナの加熱中心とを結び延長線上のターゲット側を0°、前記ターゲット材の中心を通り前記延長線と垂直に交わる線上を±90°としたとき、±45°方向における前記反応容器の内面近傍が、前記ターゲット材側を中心方向とする曲面で形成されることを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。 - 前記反応容器の断面における前記ターゲット材と前記バーナの配置において、
前記ターゲット材の中心を中心とし、前記ターゲット材と前記バーナの加熱中心とを結び延長線上のターゲット側を0°、前記ターゲット材の中心を通り前記延長線と垂直に交わる線上を±90°としたとき、±135°方向における前記反応容器の内面近傍が前記ターゲット材側を中心方向とする曲面であることを特徴とする請求項1記載の光ファイバ母材の製造方法。 - 前記曲面が、断面において放物線形状であり、前記ターゲット材または前記バーナの加熱中心が前記放物線形状の焦点位置に配置されることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の光ファイバ母材の製造方法。
- 前記曲面が、断面において略楕円形状であり、前記ターゲット材および前記バーナの加熱中心が、前記反応容器の楕円の略焦点位置に配置されることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の光ファイバ母材の製造方法。
- 前記反応容器の少なくとも内側表面は、Ni、Co、Ptまたはこれらの合金からなることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の光ファイバ母材の製造方法。
- 前記反応容器の外周面にはガス流路が形成され、前記ガス流路内を流れたガスを前記反応容器内に導入することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の光ファイバ母材の製造方法。
- 反応容器と、
ターゲット材を設置するターゲット設置部と、
前記ターゲット材に対し、原料ガスおよび可燃ガスを噴出させガラス微粒子を生成するバーナと、
を具備し、
前記ターゲット設置部に設置されたターゲット材を回転させながら、前記ターゲット材と前記バーナを相対移動させ、前記生成したガラス微粒子を前記ターゲット材の外周に堆積させる光ファイバ母材の製造装置であって、
前記反応容器の断面における前記ターゲット設置部と前記バーナの配置において、
前記ターゲット材の中心を中心とし、前記ターゲット材と前記バーナの加熱中心とを結び延長線上のターゲット側を0°、前記ターゲット材の中心を通り前記延長線と垂直に交わる線上を±90°としたとき、±45°方向における前記反応容器の内面近傍が、前記ターゲット材側を中心方向とする曲面で形成されることを特徴とする光ファイバ母材の製造装置。
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