JP2012189492A - パーティクルカウンタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料気体Sを内部通過させる内部流路11が形成されたフローセル10と、試料気体の流速を計測する流速計測部12と、試料気体に向けて検出光を照射する光照射部31、及び検出光が試料気体中に含まれるパーティクルPに当たることで散乱する散乱光を検出する光検出部32を具備し、検出した散乱光に基づいてパーティクルを計測するパーティクル計測部13と、流速計測部で計測された流速に基づいて試料気体の流量を算出すると共に、算出した流量とパーティクル計測部による計測結果とを関連付ける算出部14と、を備えているパーティクルカウンタ1を提供する。
【選択図】図3
Description
即ち、パーティクルを含んだ試料気体(空気やガス等)を測定領域に送り込む供給部と、測定領域を通過中の試料気体に検出光を照射する照射部と、照射された検出光が試料気体中のパーティクルに当たることで発生する散乱光を検出すると共に、検出した散乱光の散乱光強度等に基づいてパーティクルを計測する計測部と、を備えている。
しかしながら、試料気体の取り込み量(流量)は、ポンプの吸引量等により決定しているため、実際に測定領域に取り込んだ量を正確に把握することが難しい。そのため、パーティクルの個数を流量に関連付けて把握する等といったことができず、例えば単位体積当たりのパーティクルの個数を正確に計測することは困難である。従って、クリーン度の計測に誤差が生じ易かった。また、ポンプやファン等の気体取り込み機構を付加する必要もあるので、大型化し易いうえ消費電力も高くなり易いものであった。
(1)本発明に係るパーティクルカウンタは、流動する試料気体を内部通過させる内部流路が形成されたフローセルと、前記内部流路の内壁面に沿って形成され、該内部流路を通過する前記試料気体の流速を計測する流速計測部と、前記内部流路を通過する前記試料気体に向けて検出光を照射する光照射部、及び検出光が試料気体中に含まれるパーティクルに当たることで散乱する散乱光を検出する光検出部を具備し、検出した散乱光に基づいてパーティクルを計測するパーティクル計測部と、前記流速計測部で計測された前記流速に基づいて前記試料気体の流量を算出すると共に、算出した流量と前記パーティクル計測部による計測結果とを関連付ける算出部と、を備えていることを特徴とする。
またこれと同時に、パーティクル計測部が内部流路を通過している試料気体中に含まれるパーティクルの個数を計測する。即ち、光照射部によって照射された検出光がパーティクルに当たることで発生する散乱光を光検出部で検出し、その検出結果からパーティクルの計測を行う。
特に、フローセルの内部流路内に流入してくる試料気体の流入量が適宜変化し、一定量でなかったとしても、その都度流量を算出してその流量にパーティクルの計測結果を関連付けることができるので、単位体積当たりのパーティクルの個数を常時正確に把握することができる。これにより、高精度のクリーン度の計測に繋げることができる。
即ち、Mie散乱で知られるように、散乱光は検出光の進行方向に指向性が強い傾向があり、その方向に光強度の大きい領域が偏り易い。そして上記したように、光検出部は検出光の光路に沿って設けられているので、散乱光のうち上記光強度の強い部分を検出し易い。従って、パーティクルの計測をより正確に行い易い。
なお、本実施形態では、クリーンルーム内で使用され、クリーンルーム内のクリーン度(空気清浄度)を管理するシステムとして用いられている場合を例に挙げて説明する。
図1に示すように、本実施形態のパーティクルカウンタ1は、クリーンルームR内の各所に複数配設されて使用される。例えば、クリーンルームR内に設置されているロボットや保管棚等に取り付けられたり、クリーンルームR内で作業する作業者に取り付けたりして使用される。
上記クリーンルームRは、室内のクリーン度が一定レベルに維持された部屋であり、例えば半導体等の電子部品工場、食品工場、医療関係の試験・実験場等として幅広く使用されている。クリーンルームR内の室内圧力は、その用途に応じて室外圧力よりも大きい陽圧、又は室外圧力よりも小さい陰圧に設定されており、例えば室外からの塵埃の流入や、室内で取り扱う物質が室外に流出すること等を防止している。
図示の例では、第1基板20に流路用の凹部22が形成され、第2基板21が平坦な基板とされている。そして、第1基板20の凹部22と第2基板21とで画成される空間が内部流路11として機能する。よって、凹部22の底面22a及び側面22bと、第2基板21の下面21aとは、それぞれ内部流路11の内壁面として機能する。
また、紙面に対して左側を前方、右側を後方とし、前方側から後方側に向かって試料空気Sが流動する場合を例に挙げて説明する。
このように流速計測用通路25は、前方開口部25a及び後方開口部25bを通じて内部流路11の上流側及び下流側に連通している。なお、前方開口部25a及び後方開口部25bは、共に平面視四角形状に開口している。
より具体的には、このレバー部26は、例えば上記SOI基板のうちシリコン活性層からなり、第1基板20と一体的に形成されている。この際、基端側が前方に位置し、自由端とされた先端側が後方に位置した状態で片持ち状に支持されていると共に、その大きさは前方開口部25aの内面に近接するサイズとされている。これによりレバー部26は、前方開口部25aを略閉塞している。
更に、レバー部26の基端側には該レバー部26の撓み量に応じて抵抗値が変化するピエゾ抵抗27が開口部26aの両側にレバー部26の長手方向(前後方向L1)に沿って形成されている。このピエゾ抵抗27には、導電性材料からなる配線部28が接続されており、この配線部28及びピエゾ抵抗27を含む全体的な形状が平面視U字状になるように形成されている。
ここで、上記したようにレバー部26の変位は流速に対応した関係となっているので、計測部本体29はレバー部26の変位の測定結果に基づいて流速を計測することが可能とされており、計測した流速を上記算出部14に出力している。
上記作動用通路40は、流速計測用通路25に対して左右方向L2に間隔を開けて配設されていると共に、流速計測用通路25と同様に前後方向L1に延びたトンネル状とされている。また、同様に作動用通路40の前端部は内部流路11の上流側において凹部22の底面22aに開口し、流速計測用通路25の後端部は内部流路11の下流側において凹部22の底面22aに開口している。これら開口した部分をそれぞれ前方開口部40a及び後方開口部40bと称する。
このように作動用通路40は、前方開口部40a及び後方開口部40bを通じて内部流路11の上流側及び下流側に連通している。なお、前方開口部40a及び後方開口部40bは共に平面視四角形状に開口している。
より具体的には、このフローレバー部41は、例えば上記SOI基板のうちシリコン活性層からなり、第1基板20と一体的に形成されている。この際、基端側が前方に位置し、自由端とされた先端側が後方に位置した状態で片持ち状に支持されていると共に、その大きさは前方開口部40aの内面に近接するサイズとされている。これによりフローレバー部41は、前方開口部40aを略閉塞している。
なお、電極膜44、45としては、単層の金属膜を用いても構わないし、複数層の金属膜を用いても構わない。例えば、チタン(Ti)とプラチナ(Pi)とからなる2層の金属膜を電極膜とすると良い。
なお、上記した圧電素子42の上層側の電極膜45及び両接続端子部44a、45a上には、図示しない絶縁膜が保護膜として被膜されており、外部との電気的な接触の防止がなされている。
次に、上述したパーティクルカウンタ1を利用して、クリーンルームR内のパーティクルPを計測すると共にクリーン度を一定レベルに維持する場合について説明する。
まず、クリーンルームR内の試料空気Sは、図1に示すように、送風部2によって作り出された気流に乗って流動しているので、図2及び図3に示すように、各所に取り付けられているフローセル10の内部流路11内に自然に導入され、該内部流路11を通りながらフローセル10の外部に抜け出ることになる。
そして、この結果に基づいてクリーンルームR内のクリーン度を正確に計測することができ、それに応じて送風部2及び排気部を適宜制御して換気量を調整することで、クリーン度を一定レベルに維持することが可能となる。
従って、これらのことにより、単位体積当たりのパーティクルPの個数を正確に計測することが可能である。
また、レバー部26及びフローレバー部41を、それぞれ流速計測用通路25の前方開口部25a内、及び作動用通路40の前方開口部40a内に配設したが、この位置に限定されるものではなく、流速計測用通路25内及び作動用通路40内であれば構わない。
例えば、図7に示すように、光源31を第1基板20の凹部22の底面22aに形成し、第2基板21の下面21aに形成されたフォトダイオード32に対して対向させても構わない。この場合であっても、同様の作用効果を奏効することができる。
上記ミラー部50は、前後方向L1に延在し、凹部22の側面22bの略全面に亘って形成されている。光源31は、凹部22の一方の側面22bのうち前方部分に配設されており、凹部22の他方の側面22bに形成されているミラー部50に向かって斜めに検出光N1を照射可能とされている。これにより、検出光N1は一対のミラー部50間で反射を繰り返しながら内部流路11に沿って後方に進行する。また、フォトダイオード32は、第1基板20の凹部22の底面22aに広範囲に亘って形成されており、上記検出光N1の光路Mの一部に沿って形成された状態となっている。
なお、この場合において、フォトダイオード32を第2基板21の下面21aに形成したとしても、同様の作用効果を奏効することができる。
N2…散乱光
P…パーティクル
S…試料空気(試料気体)
1…パーティクルカウンタ
11…内部流路
10…フローセル
12…流速計測部
13…パーティクル計測部
14…算出部
25…流速計測用通路
25a…前方開口部(流速計測用通路の開口部)
25b…後方開口部(流速計測用通路の開口部)
26…レバー部
27…ピエゾ抵抗
30…変位測定部
31…光源(光照射部)
32…フォトダイオード(光検出部)
40…作動用通路
40a…前方開口部(作動用通路の開口部)
40b…後方開口部(作動用通路の開口部)
41…フローレバー部
42…圧電素子
50…ミラー部
Claims (5)
- 流動する試料気体を内部通過させる内部流路が形成されたフローセルと、
前記内部流路の内壁面に沿って形成され、該内部流路を通過する前記試料気体の流速を計測する流速計測部と、
前記内部流路を通過する前記試料気体に向けて検出光を照射する光照射部、及び検出光が試料気体中に含まれるパーティクルに当たることで散乱する散乱光を検出する光検出部を具備し、検出した散乱光に基づいてパーティクルを計測するパーティクル計測部と、
前記流速計測部で計測された前記流速に基づいて前記試料気体の流量を算出すると共に、算出した流量と前記パーティクル計測部による計測結果とを関連付ける算出部と、を備えていることを特徴とするパーティクルカウンタ。 - 請求項1に記載のパーティクルカウンタにおいて、
前記流速計測部は、
前記フローセルの内部に形成され、前記内部流路の上流側及び下流側において該内部流路の前記内壁面にそれぞれ開口した開口部を有する流速計測用通路と、
基端側から先端側に向けて一方向に延びる板状に形成され、基端側が前記フローセルに片持ち状に支持された状態で前記流速計測用通路内に配設されたレバー部と、
該レバー部の変位を測定する変位測定部と、を備え、
前記レバー部は、前記内部流路内における前記上流側と前記下流側との圧力差に応じて撓み変形することを特徴とするパーティクルカウンタ。 - 請求項2記載のパーティクルカウンタにおいて、
前記フローセル及び前記レバー部は、半導体材料で形成され、
前記変位測定部は、不純物のドーピングによって前記レバー部に形成されたピエゾ抵抗を備えていることを特徴とするパーティクルカウンタ。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載のパーティクルカウンタにおいて、
前記フローセルの内部に形成され、前記内部流路の上流側及び下流側において該内部流路の前記内壁面にそれぞれ開口した開口部を有する作動用通路と、
基端側から先端側に向けて一方向に延びる板状に形成され、基端側が前記フローセルに片持ち状に支持された状態で前記作動用通路内に配設されたフローレバー部と、
該フローレバー部に積層され、該フローレバー部の変位を圧電効果により作動信号に変換する圧電素子と、を備え、
前記フローレバー部は、前記内部流路内における前記上流側と前記下流側との圧力差に応じて撓み変形し、
前記流速計測部及び前記パーティクル計測部は、前記作動信号の検出を受けて計測が開始されることを特徴とするパーティクルカウンタ。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載のパーティクルカウンタにおいて、
前記内部流路の内壁面には、互いに向かい合うように配設された一対のミラー部が形成され、
前記光照射部は、一対の前記ミラー部間で反射を繰り返しながら前記内部流路に沿って前記検出光が進むように該検出光を照射し、
前記光検出部は、前記検出光の光路に沿って設けられていることを特徴とするパーティクルカウンタ。
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