JP2012172165A - アンテナ交換方法、アンテナ搬送システム、およびアンテナ搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】メンテナンス作業による装置の稼働停止時間を短縮することにより、装置の稼働率を向上する。
【解決手段】アンテナ交換方法は、複数の真空チャンバ１と基材搬送チャンバ１５０の内部を真空状態に減圧し、アレイアンテナユニット３０をアンテナ搬送チャンバ２００に収容し、そのアンテナ搬送チャンバ２００の内部を真空状態に減圧し、アンテナ搬送チャンバ２００と真空チャンバ１との内部を真空状態に維持したまま当該両チャンバを連通し、真空状態を維持したまま連通された両チャンバ間で、アンテナ搬送チャンバ２００から真空チャンバ１にアレイアンテナユニット３０を搬入し、真空チャンバ１内に搬入されたアレイアンテナユニット３０の電極棒それぞれが、高周波電源に電気的に接続された複数のコネクタに接続されるようにアレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１内に掛け止めする。
【選択図】図１

Description

本発明は、真空チャンバ内でプラズマを発生させてフィルム基材表面に薄膜を生成するアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ交換方法、アンテナ搬送システム、およびアンテナ搬送装置に関する。

近年、軽量化、施工性、量産性を向上させるために、ガラス基板に換えて、樹脂性や金属性のフィルム基材に非結晶シリコン膜または微結晶シリコン膜などの薄膜を成膜するプラズマＣＶＤ装置が開発されている。このようなフィルム基材を成膜するプラズマＣＶＤ装置は、例えば、送出ローラと巻取ローラとの間に１組の電極を設けておき、送出ローラから送り出したフィルム基材を１組の電極の間に通過させて成膜を行っている（例えば、特許文献１）。

一方、特許文献２〜４に示されるアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置が知られている。これらのアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置は、内部を真空状態に減圧可能な真空チャンバを備えており、この真空チャンバの天井部に、高周波電源に電気的に接続された複数のコネクタが配設されている。また、真空チャンバ内には、複数本の電極棒を有するアレイアンテナユニットが設けられており、このアレイアンテナユニットの電極棒が、複数のコネクタそれぞれに接続されている。

このようなアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置でフィルム基材を成膜する場合、真空状態に減圧された真空チャンバ内に材料ガスを供給し、高周波電力が供給された電極棒と対向するようにフィルム基材を通過させる。これにより、真空雰囲気中にプラズマが発生するとともに、プラズマによって分解された材料ガスの成分がフィルム基材の表面に付着し、非結晶シリコン膜または微結晶シリコン膜などの薄膜がフィルム基材の表面に生成されることとなる。

特開２０１０−１２１１５６号公報 特開２００７−２６２５４１号公報 特開２００３−８６５８１号公報 特開２００３−１０９７９８号公報

上記アレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置を利用してフィルム基材を効率よく成膜するために、送出ローラと巻取ローラとの間に、複数本の電極棒が設置された真空チャンバを複数設けておき、複数の真空チャンバ内にフィルム基材を通過させることで、所望する膜厚の薄膜をより短時間でフィルム基材に成膜することが考えられる。

一方、上記アレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置においては、フィルム基材表面に薄膜を生成する成膜処理の過程で、電極棒の表面に皮膜が付着することから、アレイアンテナユニットを定期的にメンテナンスする必要がある。アレイアンテナユニットをメンテナンスする際には、真空チャンバを大気開放する必要があるが、成膜途中で真空チャンバを大気開放してしまうと、フィルム基材が汚染されてしまうため、１ロール分のフィルム基材の成膜が終了した後でないとアレイアンテナユニットをメンテナンスすることができない。そのため、複数の真空チャンバに設けられたアレイアンテナユニットを一度にメンテナンスしなければならず、メンテナンスに長時間を要してしまい、装置の稼働停止時間が長期化して稼働率が低下することがあった。

ここで、フィルム基材を通過させる真空チャンバを少なくすればメンテナンスに要する時間を短くすることができるが、所望する膜厚に成膜するために、フィルム基材の送り出し速度を遅くしたり、フィルム基材を、真空チャンバ内を往復させたりする必要が生じる。結局、電極棒に付着する皮膜の量が多くなり、アレイアンテナユニットのメンテナンス周期が短くなってしまい、１メンテナンス周期で成膜できるフィルム基材の長さが制限されてしまう。

本発明は、このような課題に鑑み、メンテナンス作業による装置の稼働停止時間を短縮することにより、装置の稼働率を向上することができるアンテナ交換方法、アンテナ搬送システム、およびアンテナ搬送装置を提供することを目的としている。

上記課題を解決するために、本発明のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ交換方法は、真空状態に減圧可能な内部にガス供給源から材料ガスが供給される複数の真空チャンバと、前記複数の真空チャンバそれぞれに設けられ高周波電源に電気的に接続可能な複数のコネクタと、前記真空チャンバ内で前記複数のコネクタそれぞれに接続可能な複数本の電極棒を有し、前記電極棒がコネクタに接続された状態で前記高周波電源から電力供給されることによりプラズマを発生させるアレイアンテナユニットと、前記複数の真空チャンバを、該複数の真空チャンバそれぞれの１つの側面で連通させる基材搬送チャンバと、前記基材搬送チャンバの水平方向の一方の端部に設けられ、フィルム基材を送り出す送出ローラと、前記基材搬送チャンバの水平方向の他方の端部に設けられ、前記送出ローラが送り出したフィルム基材を巻き取る巻取ローラと、前記基材搬送チャンバにおいて、前記送出ローラと前記巻取ローラとの間に設けられ、前記フィルム基材の搬送を案内し、かつ、該フィルム基材に所定の張力をかけるための複数の搬送案内ローラと、前記複数の真空チャンバそれぞれに設けられ、前記搬送案内ローラ間を移動する前記フィルム基材と前記アレイアンテナユニットとが対向するように該フィルム基材を案内し、かつ、該フィルム基材に所定の張力をかけるための成膜案内ローラと、を備えたアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置においてアレイアンテナユニットを交換するアレイアンテナ交換方法であって、前記複数の真空チャンバの内部および前記基材搬送チャンバの内部を真空状態に減圧する工程と、アンテナ搬送チャンバの内部を真空状態に減圧する工程と、前記アンテナ搬送チャンバと前記真空チャンバとを連結し、該アンテナ搬送チャンバと該真空チャンバとの内部を真空状態に維持したまま当該両チャンバを連通する工程と、前記真空チャンバから前記アレイアンテナユニットを取り外す工程と、取り外された前記アレイアンテナユニットを前記真空チャンバから前記アンテナ搬送チャンバに搬送する工程と、を含むことを特徴とする。

上記アンテナ交換方法は、前記アンテナ搬送チャンバの内部を真空状態に減圧する前に、該アンテナ搬送チャンバに新たなアレイアンテナユニットを収容しておき、前記取り外されたアレイアンテナユニットを前記真空チャンバから前記アンテナ搬送チャンバに搬送する前記工程に続いて、互いに真空状態を維持したまま内部が連通された前記両チャンバ間で、前記アンテナ搬送チャンバから前記真空チャンバに前記新たなアレイアンテナユニットを搬入する工程と、前記新たなアレイアンテナユニットの電極棒それぞれが、前記複数のコネクタに接続されるように該新たなアレイアンテナユニットを前記真空チャンバ内に掛け止めする工程と、を含んでもよい。

上記課題を解決するために、本発明のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ搬送システムは、真空状態に減圧可能な内部にガス供給源から材料ガスが供給される複数の真空チャンバと、前記複数の真空チャンバそれぞれに設けられ高周波電源に電気的に接続可能な複数のコネクタと、前記真空チャンバ内で前記複数のコネクタそれぞれに接続可能な複数本の電極棒を有し、前記電極棒がコネクタに接続された状態で前記高周波電源から電力供給されることによりプラズマを発生させるアレイアンテナユニットと、前記複数の真空チャンバを、該複数の真空チャンバそれぞれの１つの側面で連通させる基材搬送チャンバと、前記基材搬送チャンバの水平方向の一方の端部に設けられ、フィルム基材を送り出す送出ローラと、前記基材搬送チャンバの水平方向の他方の端部に設けられ、前記送出ローラが送り出したフィルム基材を巻き取る巻取ローラと、前記基材搬送チャンバにおいて、前記送出ローラと前記巻取ローラとの間に設けられ、前記フィルム基材の搬送を案内し、かつ、該フィルム基材に所定の張力をかけるための複数の搬送案内ローラと、前記複数の真空チャンバそれぞれに設けられ、前記搬送案内ローラ間を移動する前記フィルム基材と前記アレイアンテナユニットとが対向するように該フィルム基材を案内し、かつ、該フィルム基材に所定の張力をかけるための成膜案内ローラと、前記アレイアンテナユニットを収容可能であって、内部を真空状態に維持したまま前記真空チャンバに連通可能なアンテナ搬送チャンバと、互いに真空状態を維持したまま内部が連通された前記アンテナ搬送チャンバおよび前記真空チャンバ間で、前記アレイアンテナユニットを往来可能とするアンテナ搬送手段と、前記アンテナ搬送手段によって前記真空チャンバ内に搬入された前記アレイアンテナユニットを着脱自在に掛け止めするアンテナ掛止手段と、を備えたことを特徴とする。

前記アンテナ搬送手段は、前記アンテナ搬送チャンバおよび前記真空チャンバに設けられたガイドレールと、前記ガイドレール上を転動可能であって前記アレイアンテナユニットに一体的あるいは着脱自在に設けられたガイドローラと、を含んでもよい。

上記課題を解決するために、本発明の他のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ交換方法は、真空状態に減圧可能な内部にガス供給源から材料ガスが供給される複数の真空チャンバと、前記複数の真空チャンバそれぞれに設けられ高周波電源に電気的に接続可能な複数のコネクタと、前記真空チャンバ内で前記複数のコネクタそれぞれに接続可能な複数本の電極棒を有し、前記電極棒がコネクタに接続された状態で前記高周波電源から電力供給されることによりプラズマを発生させるアレイアンテナユニットと、前記複数の真空チャンバを、該複数の真空チャンバそれぞれの１つの側面で連通させる基材搬送チャンバと、前記基材搬送チャンバの水平方向の一方の端部に設けられ、フィルム基材を送り出す送出ローラと、前記基材搬送チャンバの水平方向の他方の端部に設けられ、前記送出ローラが送り出したフィルム基材を巻き取る巻取ローラと、前記基材搬送チャンバにおいて、前記送出ローラと前記巻取ローラとの間に設けられ、前記フィルム基材の搬送を案内し、かつ、該フィルム基材に所定の張力をかけるための複数の搬送案内ローラと、前記複数の真空チャンバそれぞれに設けられ、前記搬送案内ローラ間を移動する前記フィルム基材と前記アレイアンテナユニットとが対向するように該フィルム基材を案内し、かつ、該フィルム基材に所定の張力をかけるための成膜案内ローラと、前記真空チャンバと前記基材搬送チャンバとの間で前記成膜案内ローラを移動させるローラ移動機構と、を備えたアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置においてアレイアンテナユニットを交換するアレイアンテナ交換方法であって、前記複数の真空チャンバの内部および前記基材搬送チャンバの内部を真空状態に減圧する工程と、前記ローラ移動機構によって、真空状態を維持したまま連通された前記複数の真空チャンバのうちいずれか１または複数の真空チャンバから前記基材搬送チャンバに前記成膜案内ローラを移動させる工程と、真空状態を維持したまま、前記成膜案内ローラが前記基材搬送チャンバに移動された真空チャンバと、前記基材搬送チャンバとの連通を解除する工程と、前記成膜案内ローラが基材搬送チャンバに移動された真空チャンバから前記アレイアンテナユニットを取り外す工程と、を含むことを特徴とする。

上記アンテナ交換方法は、前記成膜案内ローラが基材搬送チャンバに移動された真空チャンバから前記アレイアンテナユニットを取り外す前記工程に続いて、前記成膜案内ローラが基材搬送チャンバに移動された真空チャンバに、新たなアレイアンテナユニットを搬入し、該新たなアレイアンテナユニットの電極棒それぞれが、前記複数のコネクタに接続されるように該新たなアレイアンテナユニットを該真空チャンバ内に掛け止めする工程と、前記新たなアレイアンテナユニットが掛け止めされた真空チャンバと前記基材搬送チャンバとの内部を真空状態に維持したまま当該両チャンバを連通する工程と、前記ローラ移動機構によって、前記基材搬送チャンバから前記新たなアレイアンテナユニットが掛け止めされた真空チャンバに前記成膜案内ローラを移動させる工程と、を含んでもよい。

上記課題を解決するために、本発明の他のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ搬送システムは、真空状態に減圧可能な内部にガス供給源から材料ガスが供給される複数の真空チャンバと、前記複数の真空チャンバそれぞれに設けられ高周波電源に電気的に接続可能な複数のコネクタと、前記真空チャンバ内で前記複数のコネクタそれぞれに接続可能な複数本の電極棒を有し、前記電極棒がコネクタに接続された状態で前記高周波電源から電力供給されることによりプラズマを発生させるアレイアンテナユニットと、前記複数の真空チャンバを、該複数の真空チャンバそれぞれの１つの側面で連通させる基材搬送チャンバと、前記基材搬送チャンバの水平方向の一方の端部に設けられ、フィルム基材を送り出す送出ローラと、前記基材搬送チャンバの水平方向の他方の端部に設けられ、前記送出ローラが送り出したフィルム基材を巻き取る巻取ローラと、前記基材搬送チャンバにおいて、前記送出ローラと前記巻取ローラとの間に設けられ、前記フィルム基材の搬送を案内し、かつ、該フィルム基材に所定の張力をかけるための複数の搬送案内ローラと、前記複数の真空チャンバそれぞれに設けられ、前記搬送案内ローラ間を移動する前記フィルム基材と前記アレイアンテナユニットとが対向するように該フィルム基材を案内し、かつ、該フィルム基材に所定の張力をかけるための成膜案内ローラと、前記真空チャンバと前記基材搬送チャンバとの間で前記成膜案内ローラを移動させるローラ移動機構と、前記真空チャンバ内に搬入された前記アレイアンテナユニットを着脱自在に掛け止めするアンテナ掛止手段と、を備えたことを特徴とする。

上記課題を解決するために、本発明のアンテナ搬送装置は、真空状態に減圧可能な内部にガス供給源から材料ガスが供給される複数の真空チャンバと、前記複数の真空チャンバそれぞれに設けられ高周波電源に電気的に接続可能な複数のコネクタと、前記真空チャンバ内で前記複数のコネクタそれぞれに接続可能な複数本の電極棒を有し、前記電極棒がコネクタに接続された状態で前記高周波電源から電力供給されることによりプラズマを発生させるアレイアンテナユニットと、前記複数の真空チャンバを、該複数の真空チャンバそれぞれの１つの側面で連通させる基材搬送チャンバと、前記基材搬送チャンバの水平方向の一の端部に設けられ、フィルム基材を送り出す送出ローラと、前記基材搬送チャンバの水平方向の他方の端部に設けられ、前記送出ローラが送り出したフィルム基材を巻き取る巻取ローラと、前記基材搬送チャンバにおいて、前記送出ローラと前記巻取ローラとの間に設けられ、前記フィルム基材の搬送を案内し、かつ、該フィルム基材に所定の張力をかけるための複数の搬送案内ローラと、前記複数の真空チャンバそれぞれに設けられ、前記搬送案内ローラ間を移動する前記フィルム基材と前記アレイアンテナユニットとが対向するように該フィルム基材を案内し、かつ、該フィルム基材に所定の張力をかけるための成膜案内ローラと、前記真空チャンバ内に搬入された前記アレイアンテナユニットを着脱自在に掛け止めするアンテナ掛止手段と、を備えるアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置に連結されるアンテナ搬送装置であって、前記アレイアンテナユニットを収容可能であって、真空状態を維持したまま前記真空チャンバと連通可能なアンテナ搬送チャンバと、互いに真空状態を維持したまま内部が連通された前記アンテナ搬送チャンバおよび前記真空チャンバ間で、前記アレイアンテナユニットを往来可能とするアンテナ搬送手段と、を備え、前記アンテナ掛止手段は、前記アンテナ搬送手段によって前記真空チャンバ内に搬入された前記アレイアンテナユニットを着脱自在に掛け止めすることを特徴とする。
前記アンテナ搬送手段は、前記アンテナ搬送チャンバおよび前記真空チャンバに設けられたガイドレールと、前記ガイドレール上を転動可能であって前記アレイアンテナユニットに一体的あるいは着脱自在に設けられたガイドローラと、を含んでもよい。

本発明によれば、メンテナンス作業による装置の稼働停止時間を短縮することにより、装置の稼働率を向上することができる。

第１の実施形態にかかるアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ搬送システムの構成を説明するための説明図である。 真空チャンバの正面側を示す斜視図である。 真空チャンバの背面側を示す斜視図である。 真空チャンバの正面側の断面を模式的に示す図である。 真空チャンバの右側面図である。 アレイアンテナユニットの斜視図である。 図６の部分拡大図である。 （ａ）は図７のＶＩＩ（ａ）−ＶＩＩ（ａ）線断面図、（ｂ）は図７のＶＩＩ（ｂ）−ＶＩＩ（ｂ）線断面図である。 （ａ）は図７の上面図、（ｂ）は第１アンテナ側コネクタの斜視図である。 アレイアンテナユニットが掛け止められた状態の真空チャンバの正面側断面図である。 アレイアンテナユニットが掛け止められた状態の真空チャンバの右側面図である。 （ａ）はアンテナ搬送体の斜視図、（ｂ）は（ａ）の一点鎖線部分の拡大図である。 図１２（ｂ）の部分拡大図である。 アンテナ搬送体にアレイアンテナユニットが保持されたときの、調整部材とアレイアンテナユニットとの関係を説明する図である。 アレイアンテナユニットがアンテナ搬送体に保持された状態を示す斜視図である。 真空チャンバ内にアレイアンテナユニットを掛け止める過程を説明する図である。 アンテナ搬送体を搬出する過程を説明する概念図である。 アンテナ搬送体の搬送過程を説明する図である。 アンテナ搬送体の搬送過程を説明する図である。 アンテナ搬送チャンバの変形例を説明する概念図である。 アンテナ搬送チャンバの変形例を説明する概念図である。 アンテナ搬送チャンバの変形例を説明する概念図である。 アンテナ搬送手段の変形例を示す図である。 第２の実施形態にかかるアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ搬送システムの構成を説明するための説明図である。 成膜案内ローラの移動過程を説明するための説明図である。 成膜案内ローラの移動過程を説明するための説明図である。

以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。かかる実施形態に示す寸法、材料、その他具体的な数値等は、発明の理解を容易とするための例示にすぎず、特に断る場合を除き、本発明を限定するものではない。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能、構成を有する要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略し、また本発明に直接関係のない要素は図示を省略する。

（第１の実施形態：アンテナ搬送システム１００）
図１は、本実施形態にかかるアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ搬送システム１００の構成を説明するための説明図である。図１に示すように、アンテナ搬送システム１００は、真空チャンバ１と、アレイアンテナユニット３０と、基材搬送チャンバ１５０と、アンテナ搬送手段としてのアンテナ搬送体７０と、アンテナ搬送チャンバ２００とを含んで構成される。以下、真空チャンバ１、アレイアンテナユニット３０、基材搬送チャンバ１５０、アンテナ搬送体７０、アンテナ搬送チャンバ２００の各構成について詳述する。

（真空チャンバの構成）
まず、図２〜図５を用いて、本実施形態のアレイアンテナ式（誘導結合型）プラズマＣＶＤ装置の真空チャンバの構造について説明する。図２は、真空チャンバの正面側を示す斜視図、図３は、真空チャンバの背面側を示す斜視図である。

図２および図３に示すように、真空チャンバ１は、筐体２を備えて構成されている。この筐体２は、図中ｙ方向に対面配置された天井部２ａおよび底面部２ｂと、図中ｘ方向に対面配置された右側面部２ｃおよび左側面部２ｄと、図中ｚ方向に対面配置された正面部２ｅおよび背面部２ｆと、を備えている。以下では、天井部２ａ側を真空チャンバ１の上方または上面とし、右側面部２ｃ側を真空チャンバ１の右方または右側面とし、左側面部２ｄ側を真空チャンバ１の左方または左側面として説明する。

正面部２ｅおよび背面部２ｆには、それぞれフロント開口部３およびリヤ開口部４が形成されており、これらフロント開口部３およびリヤ開口部４を開閉するフロント開閉扉５およびリヤ開閉扉６がそれぞれ設けられている。また、右側面部２ｃには右開口部７が形成されており、左側面部２ｄには左開口部９が形成されている。詳しくは後述するが、この左開口部９は、ゲートバルブ１５１を介して基材搬送チャンバ１５０に連結可能となっており、また、右開口部７は、ゲートバルブ２０１を介してアンテナ搬送チャンバ２００に連結可能となっている（図１参照）。

また、天井部２ａには、２列のコネクタ群１１ａ、１１ｂが設けられている。これらコネクタ群１１ａ、１１ｂは、複数のコネクタが図中ｘ方向に沿って直列配置されたものであり、図中ｚ方向に所定の間隔を維持している。

図４は、真空チャンバ１の正面側の断面を模式的に示す図である。この図に示すように、コネクタ群１１ａは、高周波電力を供給する高周波電源１２の供給側（非接地側）に電気的に接続された第１天井側コネクタ１３と、高周波電源１２の接地側に電気的に接続された第２天井側コネクタ１４と、が所定の間隔を維持して交互に設けられている。これら第１天井側コネクタ１３および第２天井側コネクタ１４は、その接続部が鉛直方向下方（底面部２ｂ）に向けられており、後述するアレイアンテナユニット３０の電極棒が、鉛直方向下方から上方に向かって接続可能なように配置されている。

また、詳しくは後述するが、第２天井側コネクタ１４にはガス供給源１５が接続されており、このガス供給源１５から供給される材料ガスが、第２天井側コネクタ１４に接続されたアレイアンテナユニット３０の電極棒から真空チャンバ１内に噴出可能となっている。なお、ここではコネクタ群１１ａについて説明したが、コネクタ群１１ｂも上記と同様の構成となっている。さらに、筐体２の天井部２ａには真空ポンプ１６が接続されており、内部空間１０を密閉した状態で真空ポンプ１６を駆動することにより、真空チャンバ１内が真空状態に減圧可能となっている。

また、筐体２の底面部２ｂには、右側面部２ｃから左側面部２ｄまで図中ｘ方向に沿って延在するガイドレール１７が設けられている。図５は、真空チャンバ１の右側面図であるが、この図に示すように、ガイドレール１７は、正面部２ｅ近傍と背面部２ｆ近傍とにそれぞれ設けられており、したがって、図中ｚ方向に間隔を維持して一対配置されることとなる。これら一対のガイドレール１７は、アレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１内に搬入したり、あるいは真空チャンバ１内から搬出したりする際の案内として機能するものである。

さらに、図４に示すように、筐体２の右側面部２ｃ側の底面部２ｂには、成膜案内ローラ２０が設けられている。図５は、真空チャンバ１の右側面図であるが、この図に示すように、成膜案内ローラ２０（図５中、２０ａ、２０ｂ、２０ｃで示す）は、図中ｚ方向に沿って直列配置されている。これら成膜案内ローラ２０は、アレイアンテナユニット３０に対向するように、後述する搬送案内ローラ１６４間を移動するフィルム基材を案内し、かつ、フィルム基材に所定の張力をかけるものである。

（アレイアンテナユニットの構成）
次に、図６〜図９を用いてアレイアンテナユニットの構成について説明する。図６は、アレイアンテナユニット３０の斜視図であり、図７は、図６の部分拡大図である。これらの図に示すように、アレイアンテナユニット３０は、アンテナ支持部材３１を備えており、このアンテナ支持部材３１に複数本の誘導結合型電極５０が支持されている。

この誘導結合型電極５０は、第１電極棒５１と第２電極棒５２とが、接続金具５３によって電気的に接続されたアンテナ素子であり、アンテナ支持部材３１の長手方向に沿って複数本支持されている。具体的には、両電極棒５１、５２は、その長手方向に直交する方向に所定の間隔を維持して交互に直列配置された状態で、その上端部がアンテナ支持部材３１に支持されている。これにより、両電極棒５１、５２は、それらの長手方向を鉛直方向に沿わせた状態で、アンテナ支持部材３１に垂下支持されることとなる。

図８（ａ）は、図７のＶＩＩ（ａ）−ＶＩＩ（ａ）線断面図であり、図８（ｂ）は、図７のＶＩＩ（ｂ）−ＶＩＩ（ｂ）線断面図である。これらの図に示すように、アンテナ支持部材３１は、断面Ｕ字形の部材によって構成されており、その開口を鉛直方向下方に臨ませている。このアンテナ支持部材３１は、図８（ｂ）からも明らかなように、その幅方向中央にアンテナ支持孔３２が形成されている。このアンテナ支持孔３２は、図８（ａ）および図９（ａ）に示すとおり、アンテナ支持部材３１の長手方向に沿って形成される長孔形状をなしており、このアンテナ支持孔３２に、第１電極棒５１および第２電極棒５２が交互に垂下支持されている。

より詳細に説明すると、第１電極棒５１の上端部には、真空チャンバ１の天井部２ａに設けられた第１天井側コネクタ１３に接続可能な第１アンテナ側コネクタ５４が固定されている。また、第２電極棒５２の上端部には、真空チャンバ１の天井部２ａに設けられた第２天井側コネクタ１４に接続可能な第２アンテナ側コネクタ５５が固定されている。

図９（ａ）は、図７の上面図であり、図９（ｂ）は、第１アンテナ側コネクタ５４の斜視図である。ただし、図９（ａ）においては、後述するカバー部材３３を取り外した状態を示している。この図に示すとおり、第１アンテナ側コネクタ５４は、円筒状の本体５４ａを備えており、この本体５４ａの底面部５４ｂに、第１電極棒５１が貫通した状態で固定されている。また、本体５４ａの開口側には、当該本体５４ａよりも大径のフランジ部５４ｃが設けられている。このフランジ部５４ｃは、アンテナ支持部材３１に形成されたアンテナ支持孔３２の幅よりも大径となる寸法関係を維持している。また、本体５４ａには、円筒状の外周面の対向する一部を面取りした一対の平面部５４ｄ、５４ｄが形成されている。これら平面部５４ｄ、５４ｄは、その対向間隔がアンテナ支持孔３２の幅よりも僅かに小さくなる寸法関係を維持している。

したがって、アンテナ支持孔３２の上方から第１アンテナ側コネクタ５４を挿入すると、本体５４ａがアンテナ支持孔３２を挿通するとともに、フランジ部５４ｃがアンテナ支持部材３１の上面に接触して掛け止められ、これによって第１電極棒５１がアンテナ支持部材３１に垂下支持されることとなる。

また、このとき、平面部５４ｄ、５４ｄ間の幅は、アンテナ支持部材３１の幅方向に対する第１アンテナ側コネクタ５４の移動を、第１天井側コネクタ１３に接続可能な範囲内に制限する寸法関係を維持している。しかも、アンテナ支持部材３１に支持された第１アンテナ側コネクタ５４に回転応力が作用したとしても、平面部５４ｄ、５４ｄがアンテナ支持孔３２の内周縁に接触し、第１アンテナ側コネクタ５４の回転が制限される。このようにして、第１電極棒５１は、アンテナ支持部材３１の幅方向の位置決めがなされて直列配置されるとともに、全ての第１電極棒５１が同一方向を向いて垂下支持されることとなる。

なお、ここでは第１アンテナ側コネクタ５４について説明したが、第２アンテナ側コネクタ５５の構成も上記第１アンテナ側コネクタ５４と同様である。つまり、第２アンテナ側コネクタ５５は、本体５５ａと、底面部５５ｂと、フランジ部５５ｃと、一対の平面部５５ｄ、５５ｄと、を備えており、底面部５５ｂに第２電極棒５２が貫通した状態で固定されている。

そして、本体５５ａの開口側には、当該本体５５ａよりも大径のフランジ部５５ｃが設けられている。このように、この第２アンテナ側コネクタ５５も、上記第１アンテナ側コネクタ５４と同様に、回転およびアンテナ支持部材３１の幅方向に対する移動が制限され、第２電極棒５２も直列配置されるとともに、全ての第２電極棒５２が同一方向を向いて垂下支持されることとなる。

また、図８（ａ）に示すように、各第１電極棒５１は、その外周にセラミックスまたは樹脂などの誘電体からなる外筒５６を備えている。一方、各第２電極棒５２は円筒形状をなしており、その長手方向に延在するガス供給路５２ａが内部に形成されている。また、各第２電極棒５２は、ガス供給路５２ａに垂直に連通する噴出孔５２ｂを備えている。この第２電極棒５２は、上述したように、アレイアンテナユニット３０が真空チャンバ１内に掛け止められたときに、第２天井側コネクタ１４に接続されて、上記したガス供給源１５とガス供給路５２ａとが連通する関係をなしている。

したがって、アレイアンテナユニット３０が真空チャンバ１内に掛け止められた状態で、ガス供給源１５から材料ガスが供給されることにより、噴出孔５２ｂから真空チャンバ１の内部空間１０に向けて材料ガスが噴出することとなる。

なお、図６〜図９に示すように、アンテナ支持部材３１には、両アンテナ側コネクタ５４、５５を被覆する断面Ｕ字形のカバー部材３３が固定されている。このカバー部材３３には、両アンテナ側コネクタ５４、５５の本体５４ａ、５５ａに一致する円形の貫通孔３３ａが複数設けられている。これにより、各アンテナ側コネクタ５４、５５の本体５４ａ、５５ａの開口、すなわち、両電極棒５１、５２の上端は、カバー部材３３の貫通孔３３ａを介して上方に臨むこととなる。

また、アンテナ支持部材３１の幅方向両側面には防着パネル３４が設けられており、また、アンテナ支持部材３１の上面には、上方に垂直に起立し、先端にテーパが形成された位置決めピン３５が設けられている。この位置決めピン３５は、複数本の第１電極棒５１および第２電極棒５２のうち、もっとも外側に位置する電極棒よりもさらにアンテナ支持部材３１の長手方向外方に設けられている。さらに、アンテナ支持部材３１の長手方向両端部近傍には、掛止孔３６が貫通形成されている。この掛止孔３６は、アレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１に掛け止めるためのものである。

図１０は、アレイアンテナユニット３０が掛け止められた状態の真空チャンバ１の正面側断面図である。この図に示すように、真空チャンバ１の天井部２ａには、右側面部２ｃおよび左側面部２ｄ近傍それぞれに、鉛直方向に貫通するとともに鉛直方向下方にテーパが形成された位置決め孔１８が設けられている。また、この位置決め孔１８よりも図中ｘ方向外方には、下方に垂下する掛止ピン１９が固定されている。上記の位置決め孔１８は、アレイアンテナユニットの位置決めピン３５に対応しており、上記の掛止ピン１９は、アレイアンテナユニット３０の掛止孔３６に対応している。

アレイアンテナユニット３０の取り付け方法の詳細については後述するが、アレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１内に掛け止める際には、位置決め孔１８に位置決めピン３５を挿通させるように、アレイアンテナユニット３０を天井部２ａの下方から上方に持ち上げる。すると、掛止ピン１９にアレイアンテナユニット３０の掛止孔３６が挿通するとともに、このとき、天井部２ａに設けられた第１天井側コネクタ１３および第２天井側コネクタ１４のそれぞれが、アレイアンテナユニット３０の第１アンテナ側コネクタ５４および第２アンテナ側コネクタ５５のそれぞれに嵌合する。この状態で、掛止ピン１９の下方からボルト等の固定手段を固定することにより、図示のように、アレイアンテナユニット３０が真空チャンバ１の天井部２ａに掛け止められることとなる。

図１１は、アレイアンテナユニット３０が掛け止められた状態の真空チャンバ１の右側面図である。上記したとおり、天井部２ａには、コネクタ群１１ａ、１１ｂが２列設けられており、これらコネクタ群１１ａ、１１ｂに、アレイアンテナユニット３０が接続可能となっている。したがって、全てのコネクタ群１１ａ、１１ｂにアレイアンテナユニット３０が接続されると、図示のように、２体のアレイアンテナユニット３０が、図中ｚ方向に所定の間隔を維持して位置することとなる。

そして、上記のようにアレイアンテナユニット３０が掛け止められた真空チャンバ１内には、成膜案内ローラ２０に案内されてフィルム基材が搬入される。このフィルム基材の搬入および搬出について、基材搬送チャンバ１５０の構成とともに図１に戻って説明する。

（基材搬送チャンバの構成およびフィルム基材の搬送の過程）
図１に示すように、真空チャンバ１の左開口部９には、ゲートバルブ１５１を介して基材搬送チャンバ１５０が連結されている。基材搬送チャンバ１５０は不図示の真空ポンプによって真空状態に減圧可能となっており、通常、真空状態を維持したまま複数の真空チャンバ１に連通される。つまり、ゲートバルブ１５１は、真空チャンバ１の内部と基材搬送チャンバ１５０の内部とを、真空状態を維持したまま連通するものである。

図１に示すように、基材搬送チャンバ１５０は、送出ローラ１６０と、巻取ローラ１６２と、複数の搬送案内ローラ１６４（図１中、８個）とを含んで構成される。送出ローラ１６０は、基材搬送チャンバ１５０の水平方向（ここでは長手方向）の一方の端部に設けられ、フィルム基材Ｗを送り出す。巻取ローラ１６２は、基材搬送チャンバ１５０の水平方向（ここでは長手方向）の他方の端部に設けられ、送出ローラ１６０が送り出したフィルム基材Ｗを巻き取る。なお、フィルム基材Ｗを往復させて成膜することもあるため、巻取ローラ１６２がフィルム基材Ｗを送り出し、送出ローラ１６０がフィルム基材Ｗを巻き取ることもある（図１中、白抜きの両矢印で示す）。搬送案内ローラ１６４は、基材搬送チャンバ１５０において、送出ローラ１６０と巻取ローラ１６２との間に設けられ、フィルム基材Ｗの搬送を案内し、かつ、フィルム基材Ｗに所定の張力をかける。

したがって、フィルム基材Ｗは、送出ローラ１６０から送出され、搬送案内ローラ１６４と、成膜案内ローラ２０とに案内されて、図１中、白抜き矢印に示す方向に複数の真空チャンバ１を通過するように搬送され、巻取ローラ１６２に巻き取られる。なお、図１に示す例では、成膜案内ローラ２０は、上面視反時計回りに転動し、送出ローラ１６０、巻取ローラ１６２、搬送案内ローラ１６４は上面視時計回りに転動する。また、真空チャンバ１において、フィルム基材Ｗは、片面がアレイアンテナユニット３０に対向するように搬送される。

なお、本実施形態において、被成膜対象として、樹脂性や金属性、ガラス性のフィルム基材Ｗを挙げて説明するが、送出ローラ１６０が送り出し（巻きだす）、巻取ローラ１６２が巻き取ることができれば（ロール・ツー・ロール法が利用できれば）、基材の材質や形状は問わない。以下に、成膜処理の手順について説明する。

（成膜処理）
まず、基材搬送チャンバ１５０の送出ローラ１６０からフィルム基材Ｗを引き出し、搬送案内ローラ１６４、成膜案内ローラ２０に巻回し、最終的に巻取ローラ１６２に巻き付ける。その後、真空チャンバ１の内部空間１０を密閉するとともに、ゲートバルブ１５１を開にして、真空ポンプ１６および基材搬送チャンバ１５０に設置された真空ポンプを駆動して内部空間１０および基材搬送チャンバ１５０内部空間を真空状態に減圧する。そして、図１に示すように送出ローラ１６０からフィルム基材Ｗを送出しながら（巻取ローラ１６２でフィルム基材Ｗを巻き取りながら）、ガス供給源１５から第２電極棒５２に材料ガスを供給して、噴出孔５２ｂから真空チャンバ１内に材料ガスを噴出させる。この状態で、高周波電源１２によって誘導結合型電極５０に高周波電力を供給すると、アレイアンテナユニット３０の周辺にプラズマが発生し、このプラズマによって分解された材料ガスの成分がフィルム基材Ｗの表面に付着する。このようにして、フィルム基材Ｗの表面に、非結晶シリコン膜または微結晶シリコン膜などの薄膜が成膜されることとなる。

そして、上記のようにしてフィルム基材Ｗの移動に伴って、各真空チャンバ１でフィルム基材Ｗに成膜処理が施され、成膜処理が終了したら、巻取ローラ１６２に巻き取られる。以後、１ロール分のフィルム基材Ｗごとに上記の各工程が繰り返し行われることとなる。

ここで、成膜処理を行う過程では、アレイアンテナユニット３０に皮膜が付着するため、定期的にアレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１から取り外してメンテナンスする必要がある。以下では、アレイアンテナユニット３０のメンテナンスに際して、当該アレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１に搬入したり、あるいは真空チャンバ１から搬出したりするアンテナ搬送体の構成を説明し、その後、アレイアンテナユニット３０の着脱方法について説明する。

（アンテナ搬送体の構成）
図１２（ａ）は、アンテナ搬送体７０の斜視図であり、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）の一点鎖線の部分拡大図である。この図に示すように、アンテナ搬送体７０は、上記した基台７１を備えており、この基台７１の幅方向（図中ｚ方向）両端に車輪７２が複数設けられている。この車輪７２は、アンテナ搬送体７０が図中ｘ方向に一直線上に移動可能となるように設けられており、真空チャンバ１内において、上記したガイドレール１７上を転動することにより、アンテナ搬送体７０の真空チャンバ１内での移動を可能としている。

また、基台７１には、アレイアンテナユニット３０を保持する２つのアンテナ保持部材７３が、アンテナ搬送体７０の搬送方向に直交する水平方向に間隔を維持して設けられている。このアンテナ保持部材７３は、アンテナ搬送体７０の搬送方向両端において基台７１に固定されたスライド装置７４と、このスライド装置７４から上方に垂直に起立する一対の支柱７５ａ、７５ｂと、を備えている。これら一対の支柱７５ａ、７５ｂは、スライド装置７４によって、アンテナ搬送体７０の搬送方向（ｘ方向）に直交する水平方向（ｚ方向）にスライド可能に構成されている。

一対の支柱７５ａ、７５ｂそれぞれには、伸縮ロッド７６ａを鉛直方向に伸縮させるエアシリンダ７６が収容されている。そして、このエアシリンダ７６の伸縮ロッド７６ａ先端には、荷重受け部７７を介して薄板状の調整部材７８の両端部が載置されており、これによって、調整部材７８が一対の支柱７５ａ、７５ｂに懸架されることとなる。

なお、基台７１における支柱７５ｂの間には、切り欠き部７１ａが形成されており、アンテナ搬送体７０を真空チャンバ１に搬入する際には、切り欠き部７１ａが成膜案内ローラ２０を通過することになる。

図１３は、図１２（ｂ）の部分拡大図である。この図に示すように、伸縮ロッド７６ａの先端には、荷重受け部７７が設けられている。この荷重受け部７７は、伸縮ロッド７６ａの先端に固定され、上方に凹状の受け面７９ａを臨ませる受け部７９と、受け面７９ａ上に載置され、調整部材７８の下面に一体的に設けられた揺動部８０と、によって構成される。これら受け部７９および揺動部８０は、ステンレスなどの金属によって構成されているが、例えば樹脂など金属以外の材料で構成しても構わない。

揺動部８０は、半球状の球面部８０ａを、受け部７９の受け面７９ａに接触させているが、このとき、受け面７９ａの曲率が球面部８０ａの曲率よりも小さくなっている。したがって、球面部８０ａと受け面７９ａとの間には隙間が形成され、これによって揺動部８０が受け部７９に対して揺動可能となっている。換言すれば、上記の荷重受け部７７の構成により、調整部材７８が水平方向に移動したり傾いたりすることが可能となっている。ただし、揺動部８０が受け面７９ａ上で所定角度傾くと、調整部材７８が受け部７９の外周縁に接触し、それ以上の傾きが制限されるようになっている。つまり、調整部材７８は、受け部７９から脱落しない範囲内で傾斜が許容されるように設計されている。

図１４は、アンテナ搬送体７０にアレイアンテナユニット３０が保持されたときの、調整部材７８とアレイアンテナユニット３０との関係を説明する図である。調整部材７８は、アンテナ搬送体７０の搬送方向に沿って延在する延在部７８ａ、および、この延在部７８ａから水平方向に交差（本実施形態では直交）する方向に突出する複数の移動制限部７８ｂを備えてなる、平面が櫛状をなす薄板部材によって構成されている。この複数の移動制限部７８ｂは、延在部７８ａの長手方向すなわちアンテナ搬送体７０の搬送方向に所定の間隔を維持して設けられている。

そして、図示のように、アレイアンテナユニット３０をアンテナ搬送体７０に保持させると、アレイアンテナユニット３０のアンテナ支持部材３１の下面と、調整部材７８の上面とが、面接触状態で圧接する。これにより、アレイアンテナユニット３０の荷重が調整部材７８を介して荷重受け部７７に作用し、アレイアンテナユニット３０がアンテナ搬送体７０のアンテナ保持部材７３に保持されることとなる。

また、アレイアンテナユニット３０がアンテナ保持部材７３に保持された状態では、隣り合う移動制限部７８ｂの間隔に、第１アンテナ側コネクタ５４の本体５４ａ、および、第２アンテナ側コネクタ５５の本体５５ａが交互に臨んで位置するようになっている。このとき、移動制限部７８ｂの間隔は、第１アンテナ側コネクタ５４の本体５４ａ、および、第２アンテナ側コネクタ５５の本体５５ａの直径よりも僅かに大きく形成されている。これにより、移動制限部７８ｂは、隣り合う第１電極棒５１（第１アンテナ側コネクタ５４）と第２電極棒５２（第２アンテナ側コネクタ５５）との対向面に臨んで、アンテナ搬送体７０の搬送方向に対する両電極棒５１、５２の移動を制限することとなる。

なお、調整部材７８は、延在部７８ａが両電極棒５１、５２の一方の側にのみ設けられており、アンテナ搬送体７０の搬送方向（ｘ方向）に直交する水平方向（ｚ方向）への両電極棒５１、５２の移動を制限する機能は備えていない。つまり、調整部材７８は、少なくとも両電極棒５１、５２の移動をアンテナ搬送体７０の搬送方向（ｘ方向）に制限することとなる。

これに対して、すでに説明したとおり、搬送方向に直交する水平方向への両電極棒５１、５２の移動は、アンテナ支持部材３１のアンテナ支持孔３２によって制限されている（図９参照）。このとき、アンテナ支持孔３２は、アンテナ支持部材３１の長手方向に連続する長孔形状に形成されているため、アレイアンテナユニット３０においては、両電極棒５１、５２の配列方向への移動が制限されていない。つまり、アンテナ支持部材３１は、両電極棒５１、５２の移動をアンテナ搬送体７０の搬送方向に直交する水平方向にのみ制限している。

図１５は、アレイアンテナユニット３０がアンテナ搬送体７０に保持された状態を示す斜視図である。この図に示すように、アレイアンテナユニット３０がアンテナ搬送体７０に保持された状態では、搬送方向（図中ｘ方向）への両電極棒５１、５２の移動が、アンテナ搬送体７０（調整部材７８）によって制限され、搬送方向に直交する水平方向（図中ｚ方向）への両電極棒５１、５２の移動が、アレイアンテナユニット３０（アンテナ支持部材３１）によって制限されている。

アレイアンテナユニット３０は、高温の真空チャンバ１内に置かれるため、アンテナ支持部材３１が熱膨張する。そこで、搬送方向に直交する水平方向への両電極棒５１、５２の移動を制限しながらも、アンテナ支持孔３２を長孔形状にすることによって、熱膨張時の逃げを確保し、部材間の干渉を防ぐようにしている。しかしながら、上記のように熱膨張時の逃げを確保すると、アレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１内に掛け止める際に、各電極棒５１、５２の位置がずれてしまい、これら各電極棒５１、５２を各天井側コネクタ１３、１４に接続する作業が煩雑になってしまう。

そこで、本実施形態においては、成膜処理中に外部に搬出されるアンテナ搬送体７０に調整部材７８を設けるとともに、この調整部材７８によって、搬送方向への両電極棒５１、５２の移動を制限することとしている。これにより、アレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１内に掛け止める際の位置決め精度を確保することが可能となり、掛け止め時の作業効率を向上することができる。つまり、上記の構成とすることで、成膜処理中における熱膨張時の逃げの確保と、アレイアンテナユニット３０の掛け止め時の位置決め精度と、からなる２つの相反する要求に応えることが可能となっている。以下では、アレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１内に掛け止める際の作用について説明する。

（アレイアンテナユニットの掛け止め過程）
図１６は、真空チャンバ１内にアレイアンテナユニット３０を掛け止める過程を説明する図である。図１６中、理解を容易にするために、成膜案内ローラ２０の図示を省略する。図１６（ａ）は、図１５に示すように、洗浄を完了した（メンテナンス済みの）アレイアンテナユニット３０を保持するアンテナ搬送体７０が、真空チャンバ１内に搬入され、不図示のストッパーに接触して所定位置に停止した状態を示している。

そして、この状態からエアシリンダ７６の伸縮ロッド７６ａを上方に伸長させると、図１６（ｂ）に示すように、アレイアンテナユニット３０の位置決めピン３５が、真空チャンバ１の天井部２ａに設けられた位置決め孔１８に挿通する。これにより、アレイアンテナユニット３０は、真空チャンバ１に対して位置決めがなされた状態で上昇することとなる。また、アレイアンテナユニット３０が上昇する過程では、天井部２ａに設けられた掛止ピン１９が掛止孔３６に挿通するとともに、第１天井側コネクタ１３が第１アンテナ側コネクタ５４に嵌合し、第２天井側コネクタ１４が第２アンテナ側コネクタ５５に嵌合する。

このとき、アレイアンテナユニット３０は、荷重受け部７７、すなわち、受け面７９ａと揺動部８０とによる荷重受け構造により、アンテナ搬送体７０に揺動可能に保持されている（図１３参照）。そのため、仮に、アレイアンテナユニット３０が掛け止め位置からずれたとしても、当該アレイアンテナユニット３０を揺動させることにより、所定の掛け止め位置に調整することができる。これにより、位置決めピン３５や位置決め孔１８、あるいは各コネクタ１３、１４、５４、５５の寸法管理が厳密でなかったとしても、確実にアレイアンテナユニット３０を天井部２ａに掛け止めることができる。

そして、図１６（ｂ）に示す状態で、アレイアンテナユニット３０の掛止孔３６を挿通した掛止ピン１９に、その下方から不図示の固定装置によってボルト等の固定手段を固定することにより、アレイアンテナユニット３０が真空チャンバ１内に掛け止められることとなる。このようにして、アレイアンテナユニット３０が掛け止められたら、エアシリンダ７６の伸縮ロッド７６ａを下方に収縮させる。すると、図１６（ｃ）に示すように、支柱７５ａ、７５ｂに懸架された調整部材７８が降下して、アンテナ搬送体７０からアレイアンテナユニット３０が離脱する。

ただし、この状態では、真空チャンバ１の天井部２ａから垂下する第１電極棒５１および第２電極棒５２と、支柱７５ａ、７５ｂと、がアンテナ搬送体７０の搬送方向において、同一直線上に位置したままとなっている。また、一対の支柱７５ａ、７５ｂに懸架される調整部材７８の移動制限部７８ｂが、第１電極棒５１および第２電極棒５２に臨んだままの状態となっている。したがって、このままの状態では、アンテナ搬送体７０を真空チャンバ１から搬出することができない。

そこで、図１７に示すように、スライド装置７４を駆動して、一対の支柱７５ａ、７５ｂを、アンテナ搬送体７０の搬送方向に直交する水平方向にスライドさせ、一対の支柱７５ａ、７５ｂを第１電極棒５１および第２電極棒５２の配列直線上から退避させる。これにより、調整部材７８の移動制限部７８ｂも、隣り合う第１電極棒５１および第２電極棒５２の対向面から退避することとなる。そして、アンテナ搬送体７０を、再びガイドレール１７に沿って真空チャンバ１の外に搬出すれば、メンテナンス作業が終了となる。

なお、メンテナンスが必要となったアレイアンテナユニット３０を、真空チャンバ１内から搬出する際には、上記の各工程を逆の順序で行えばよい。すなわち、一対の支柱７５ａ、７５ｂが、第１電極棒５１および第２電極棒５２の配列直線上から退避した状態にある空のアンテナ搬送体７０を、真空チャンバ１内に搬入する。そして、スライド装置７４を駆動して、一対の支柱７５ａ、７５ｂを、第１電極棒５１および第２電極棒５２の配列直線上にスライドさせた後、エアシリンダ７６の伸縮ロッド７６ａを上方に伸長させる。この状態で、ボルト等の固定手段を取り外して、アレイアンテナユニット３０の荷重を荷重受け部７７に作用させた後、伸縮ロッド７６ａを収縮させ、アンテナ搬送体７０を真空チャンバ１内から搬出すればよい。

（アンテナ搬送チャンバの構成およびアンテナ搬送体の搬送過程）
図１８、図１９は、アンテナ搬送体７０の搬送過程を説明する図である。図１に示すように、真空チャンバ１の左開口部９には、ゲートバルブ１５１を介して基材搬送チャンバ１５０が連結され、真空チャンバ１の右開口部７には、ゲートバルブ２０１を介してアンテナ搬送チャンバ２００が連結されている。

アンテナ搬送チャンバ２００は、ゲートバルブ２０１が連結される面と対向する面に設けられた開口部２０２に開閉扉２０４を備え、開閉扉２０４によって、アンテナ搬送チャンバ２００の内部が大気圧にある外部と連通されたり、あるいはその連通が解除されたりするようになっている。アンテナ搬送チャンバ２００は、不図示の真空ポンプによって真空状態に減圧可能となっており、通常、真空状態を維持したまま真空チャンバ１に連通される。つまり、ゲートバルブ１５１は、真空チャンバ１の内部と基材搬送チャンバ１５０の内部とを、真空状態を維持したまま連通するものであり、ゲートバルブ２０１は、真空チャンバ１の内部とアンテナ搬送チャンバ２００の内部とを、真空状態を維持したまま連通するものである。

また、アンテナ搬送チャンバ２００には、例えば、ベルトコンベヤなど、アンテナ搬送体７０をゲートバルブ２０１に対面する位置まで搬送する不図示の運搬装置が設けられている。さらに、アンテナ搬送チャンバ２００には、図１に示すようにアンテナ搬送体７０の車輪７２をガイドするガイドレール２１０が、真空チャンバ１に対面する位置に設けられている。

ただし、これらガイドレール２１０は、鉛直方向に上昇可能または下降可能に構成されており、通常、アンテナ搬送チャンバ２００内におけるアンテナ搬送体７０の移動軌跡範囲よりも下方に退避して位置している。これにより、運搬装置によってアンテナ搬送チャンバ２００内を移動するアンテナ搬送体７０は、通常、ガイドレール２１０の上方を移動することとなる。

なお、ガイドレール２１０がアンテナ搬送体７０と一体的にアンテナ搬送チャンバ２００内を移動するようにしても構わない。つまり、アンテナ搬送体７０が、ガイドレール２１０上に載置された状態で、目的となる真空チャンバ１に対面する位置まで搬送される構成であってもよい。

そして、アンテナ搬送チャンバ２００には、アンテナ搬送体７０を当該アンテナ搬送チャンバ２００側から真空チャンバ１側に押し出したり、あるいは、アンテナ搬送体７０を真空チャンバ１側からアンテナ搬送チャンバ２００側に引き寄せたりする不図示の装置が設けられている。

そして、例えば、真空チャンバ１Ａにおいて、アレイアンテナユニット３０の交換が必要であったとすると、まず、図１８（ａ）に示すように、真空チャンバ１Ａのゲートバルブ２０１に大気圧となっているアンテナ搬送チャンバ２００を連結する。次に、図１８（ｂ）に示すように、開閉扉２０４を通じて空のアンテナ搬送体７０Ａをアンテナ搬送チャンバ２００におけるゲートバルブ２０１に対面する位置まで搬送する。そして、アンテナ搬送チャンバ２００の開閉扉２０４を閉じ、アンテナ搬送チャンバ２００に設けられた真空ポンプでアンテナ搬送チャンバ２００内を真空状態に減圧する。

次に、図１９（ａ）に示すように、ゲートバルブ２０１を開いて、真空チャンバ１Ａの内部とアンテナ搬送チャンバ２００の内部とを真空状態を維持したまま連通するとともに、図１９（ａ）の白抜き矢印で示すように、アンテナ搬送体７０Ａを真空チャンバ１Ａ内に搬入する。このように、アンテナ搬送体７０Ａが真空チャンバ１Ａ内に搬入されたら、真空チャンバ１Ａの天井部２ａに掛け止められているアレイアンテナユニット３０を取り外してアンテナ搬送体７０Ａに保持させる。

そして、図１９（ｂ）の白抜き矢印に示すように、アレイアンテナユニット３０を保持したアンテナ搬送体７０Ａを真空チャンバ１Ａからアンテナ搬送チャンバ２００に搬出するとともに、ゲートバルブ２０１を閉じる。

このようにして、真空チャンバ１Ｂおよび基材搬送チャンバ１５０の真空状態を維持したまま、すなわち真空チャンバ１Ｂにおける成膜処理と並行して、真空チャンバ１Ａから使用済みのアレイアンテナユニット３０を搬出することができる。したがって、従来のように、アレイアンテナユニット３０を取り出す際に、基材搬送チャンバ１５０および基材搬送チャンバ１５０に接続されたすべての真空チャンバ１を大気開放することなく、任意の真空チャンバ１Ｂで成膜処理を行いながら、別の真空チャンバ１Ａのアレイアンテナユニット３０を取り外すことができる。これにより、メンテナンスによる装置稼働停止時間を短縮することができ、装置の稼働率を向上することができる。

さらに、他の真空チャンバ１における成膜処理と並行して、真空チャンバ１のアレイアンテナユニット３０を交換することができる。すなわち１ロール分の成膜処理が終了しているか否かに拘わらず、アレイアンテナユニット３０を交換できる。従来は、アレイアンテナユニットを交換するタイミングに１ロール分の成膜処理が終了するタイミングを合わせる必要があったため、アレイアンテナユニットの交換周期に応じて１ロール分のフィルム基材の長さが制限されていた。しかし、本実施形態では、１ロール分の成膜処理が終了しているか否かに拘わらずアレイアンテナユニット３０を交換できるので、フィルム基材Ｗの長さが制限される事態を回避することが可能となる。

また、この際、送出ローラ１６０と巻取ローラ１６２との回転速度を遅くすることで、真空チャンバ１Ｂのみで成膜処理を行っても、真空チャンバ１Ａおよび真空チャンバ１Ｂで成膜処理を行う場合と同等の膜厚に成膜することが可能となる。

さらに、複数の真空チャンバ１の構成を同一としているため、１つのアンテナ搬送チャンバ２００で複数の真空チャンバ１のアレイアンテナユニット３０の交換を行うことが可能となる。また、アンテナ搬送体７０は、成膜処理中に真空チャンバ１内に留める必要がないことから、複数の真空チャンバ１が設けられたプラズマＣＶＤ装置であっても、１体のアンテナ搬送体７０によってメンテナンスを行うことも可能である。

なお、メンテナンス済みのアレイアンテナユニット３０を、真空チャンバ１内に搬入する際には、上記の各工程を逆の順序で行えばよい。

図２０〜図２２は、アンテナ搬送チャンバ３００の変形例を説明する概念図である。図２０〜図２２では、理解を容易にするためにガイドレール１７およびガイドレール２１０の図示を省略する。以下では、変形例のアンテナ搬送チャンバ３００を説明するにあたって、上記実施形態と同様の構成については同一の符号を付するとともに、その詳細な説明は省略する。図２０〜図２２に示すように、この変形例のアンテナ搬送チャンバ３００は、アンテナ搬送体７０を３台収容可能な大きさを有しており、ゲートバルブ２０１を介して真空チャンバ１に連結される。このアンテナ搬送チャンバ３００も、真空チャンバ１と同様に、真空ポンプによって内部を真空状態に減圧可能に構成されている。アンテナ搬送チャンバ３００には、ゲートバルブ２０１が連結される面と対向する面に設けられた開口部３０２に開閉扉３０４を備え、開閉扉３０４によって、アンテナ搬送チャンバ３００の内部が大気圧にある外部と連通されたり、あるいはその連通が解除されたりするようになっている。

また、アンテナ搬送チャンバ３００には、ベルトコンベヤなどの運搬装置が設けられており、この運搬装置によって、アンテナ搬送体７０が搬送可能となっている。そして、アレイアンテナユニット３０のメンテナンスが必要となった場合、アンテナ搬送体７０がアンテナ搬送チャンバ３００内を移動して、真空チャンバ１に搬入されたり、あるいは真空チャンバ１から搬出されたりする。

例えば、真空チャンバ１Ａにおいて、アレイアンテナユニット３０の交換が必要であったとすると、まず図２０（ａ）に示すように、真空チャンバ１Ａのゲートバルブ２０１に大気圧となっているアンテナ搬送チャンバ３００を連結するとともに、開閉扉３０４を通じて、空のアンテナ搬送体７０Ａと、新たな（メンテナンス済みの）アレイアンテナユニット３０が保持されたアンテナ搬送体７０Ｂを搬入する。そして、空のアンテナ搬送体７０Ａをアンテナ搬送チャンバ３００におけるゲートバルブ２０１に対面する位置まで搬送し、開閉扉３０４を閉じて、アンテナ搬送チャンバ３００に設けられた真空ポンプでアンテナ搬送チャンバ３００内を真空状態に減圧する。

次に、図２０（ｂ）に示すように、ゲートバルブ２０１を開いて、真空チャンバ１Ａの内部とアンテナ搬送チャンバ３００の内部とを真空状態を維持したまま連通するとともに、図２０（ｂ）の白抜き矢印で示すようにアンテナ搬送体７０Ａを真空チャンバ１Ａ内に搬入する。そして、図２１（ａ）に示すように、アンテナ搬送体７０Ａにアレイアンテナユニット３０を保持させたら、アンテナ搬送体７０Ａを真空チャンバ１Ａから搬出してアンテナ搬送チャンバ３００に移動させる。そして、図２１（ａ）の白抜き矢印で示すように、アンテナ搬送チャンバ３００に設けられた運搬装置によって、アンテナ搬送体７０Ｂがゲートバルブ２０１に対面する位置まで移動され、これに伴って、アンテナ搬送体７０Ａはゲートバルブ２０１に対面する位置から図２１中右の方向に移動する。また、図２１（ｂ）の白抜き矢印で示すように、アンテナ搬送チャンバ３００から真空チャンバ１Ａにアンテナ搬送体７０Ｂを搬入する。そして、アンテナ搬送体７０Ｂに保持されたアレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１Ａに掛け止めたら、図２２（ａ）中白抜き矢印で示すように、空になったアンテナ搬送体７０Ｂを真空チャンバ１Ａから搬出して、アンテナ搬送チャンバ３００に移動させる。

アンテナ搬送体７０Ａ、７０Ｂがそれぞれアンテナ搬送チャンバ３００に戻ったら、図２２（ｂ）に示すように、ゲートバルブ２０１を閉じてアンテナ搬送チャンバ３００の内部と真空チャンバ１Ａの内部との連通を解除する。そして、アンテナ搬送チャンバ３００の開閉扉３０４を開いて、両アンテナ搬送体７０Ａ、７０Ｂをアンテナ搬送チャンバ３００から搬出し、メンテナンス作業が終了となる。

上記の変形例によっても、真空チャンバ１Ｂにおいて成膜処理を行うとともに、真空チャンバ１Ａのアレイアンテナユニット３０をメンテナンスすることができるので、上記実施形態と同様の作用効果を実現することができる。

なお、上記実施形態においては、アンテナ搬送体７０を搬送するための搬送手段として、真空チャンバ１内にガイドレール１７が設けられるとともに、アンテナ搬送体７０に車輪７２が設けられることとした。

しかしながら、これとは逆に、真空チャンバ内に複数のガイドローラを配列するとともに、アンテナ搬送体に、上記のガイドローラに摺接する板状の部材を設けるようにしても構わない。いずれにしても、真空チャンバとアンテナ搬送チャンバとの間で搬送体を往来可能とする搬送手段が設けられていればよい。

例えば、図２３に示す変形例のように、真空チャンバ１の天井部２ａに、アンテナ搬送用のガイドレール２５を設けるとともに、このガイドレール２５上を転動するガイドローラ２６を、アレイアンテナユニット３０に一体的もしくは着脱自在に設けるようにしてもよい。この場合には、ガイドレール２５とガイドローラ２６とによってアンテナ搬送手段が構成されることとなる。なお、この変形例においても、アレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１内の所定の位置まで搬入した後、当該アレイアンテナユニット３０を鉛直方向に上昇させて真空チャンバ１内に掛け止めることとなる（図中左側に位置するアレイアンテナユニット３０）。このとき、アレイアンテナユニット３０を上昇させたり、下降させたり、掛け止めしたりする機構は、真空チャンバ１に設ければよい。

（第２の実施形態）
上述した第１の実施形態では、アレイアンテナユニット３０の交換を必要とする真空チャンバ１Ａにアンテナ搬送チャンバ３００を連通することで、他の真空チャンバ１Ｂにおける成膜処理を中断することなく、真空チャンバ１Ａのアレイアンテナユニット３０をメンテナンスすることが可能となるアンテナ搬送システム１００について説明したが、成膜案内ローラを工夫することで、アンテナ搬送チャンバ３００を設けずとも真空チャンバ１Ａのアレイアンテナユニット３０をメンテナンスすることが可能となる。以下の実施形態では、アンテナ搬送チャンバ３００を設けずとも、真空チャンバ１Ｂにおける成膜処理と並行して真空チャンバ１Ａのアレイアンテナユニット３０をメンテナンスすることが可能なアンテナ搬送システム４００について説明する。

図２４は、本実施形態にかかるアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ搬送システム４００の構成を説明するための説明図である。図２４に示すように、アンテナ搬送システム４００は、真空チャンバ４０１と、アレイアンテナユニット３０と、基材搬送チャンバ４５０とを含んで構成される。また、真空チャンバ４０１は、筐体２、天井部２ａ、底面部２ｂ、右側面部２ｃ、左側面部２ｄ、正面部２ｅ、背面部２ｆ、フロント開口部３、リヤ開口部４、フロント開閉扉５、リヤ開閉扉６、右開口部７、開閉扉８、左開口部９、コネクタ群１１、高周波電源１２、第１天井側コネクタ１３、第２天井側コネクタ１４、ガス供給源１５、真空ポンプ１６、ガイドレール１７、ゲートバルブ２０１、成膜案内ローラ４１０を含んで構成され、基材搬送チャンバ４５０は、ゲートバルブ１５１、送出ローラ１６０、巻取ローラ１６２、搬送案内ローラ１６４を含んで構成される。なお、第１の実施形態と同様の構成については同一の符号を付するとともに、その詳細な説明は省略する。以下、第１の実施形態と構成の異なる成膜案内ローラ４１０について詳述する。 図２４に示すように、真空チャンバ４０１に配された成膜案内ローラ４１０は、不図示のローラ移動機構によって基材搬送チャンバ４５０に移動されたり（図２４中、白抜き矢印で示す）、基材搬送チャンバ４５０に移動された成膜案内ローラ４１０を真空チャンバ４０１に戻したりする。ここで、ローラ移動機構は、真空チャンバ４０１および基材搬送チャンバ４５０に設けられていてもよいし、成膜案内ローラ４１０自体が有していてもよい。以下、図２５、図２６を用いてローラ移動機構による成膜案内ローラ４１０の移動過程について説明する。

（成膜案内ローラの移動過程）
図２５、図２６は、成膜案内ローラ４１０の移動過程を説明するための説明図である。例えば、真空チャンバ４０１Ａにおいて、アレイアンテナユニット３０の交換が必要であったとすると、まず、図２５中白抜き矢印で示すように、ローラ移動機構は真空チャンバ４０１Ａから基材搬送チャンバ４５０に成膜案内ローラ４１０を移動する。

次に、図２６（ａ）に示すように、ゲートバルブ１５１を閉じて、真空チャンバ４０１Ａのゲートバルブ２０１を開け、真空チャンバ４０１Ａを大気開放する。そして、図２６（ｂ）に示すように、アンテナ搬送体７０等を利用して、真空チャンバ４０１Ａの天井部２ａに掛け止められているアレイアンテナユニット３０を取り外す。

このように、本実施形態にかかるアンテナ搬送システム４００は、成膜案内ローラ４１０を移動させるといった簡易な構成で、成膜処理を行っている真空チャンバ４０１Ｂおよび基材搬送チャンバ４５０の真空状態を維持したまま、真空チャンバ４０１Ａから使用済みのアレイアンテナユニット３０を搬出することができる。

また、この際、上述した第１の実施形態と同様に、送出ローラ１６０と巻取ローラ１６２との回転速度を遅くすることで、真空チャンバ４０１Ｂのみで成膜処理を行っても、真空チャンバ４０１Ａおよび真空チャンバ４０１Ｂで成膜処理を行う場合と同等の膜厚に成膜することが可能となる。

なお、メンテナンス済みのアレイアンテナユニット３０を、真空チャンバ４０１内に搬入する際には、上記の各工程を逆の順序で行えばよい。

また、上記実施形態におけるアレイアンテナユニットやアンテナ保持部材の構成は一例に過ぎない。いずれにしても、アンテナ保持部材は、アレイアンテナユニットを着脱自在に保持するものであればよい。したがって、アンテナ保持部材においては、アレイアンテナユニットに支持される電極棒の移動を制限する調整部材や、アレイアンテナユニットを揺動自在に保持するための揺動機構は必須の構成ではない。

また、アレイアンテナユニットの構成や、当該アレイアンテナユニットを保持するアンテナ保持部材の構成によっては、アンテナ保持部材をスライドさせるスライド装置も必須ではない。つまり、アンテナ保持部材を搬送方向に直交もしくは交差する方向にスライドさせる目的は、アンテナ搬送体を搬出する際に、アンテナ保持部材とアレイアンテナユニットとの干渉を防ぐことにある。したがって、アンテナ搬送体の搬出にあたって、アンテナ搬送体とアレイアンテナユニットとが干渉しなくなれば、アンテナ保持部材の全部をスライドさせずに、例えば調整部材のみをスライドさせるなど、アンテナ保持部材の一部のみをスライドさせるようにしても構わない。なお、アンテナ保持部材を搬送方向に直交もしくは交差する方向にスライド可能とする場合に、そのスライドを上記実施形態のようにスライド装置によって自動で行うこととしてもよいし、手動によって行うこととしてもよい。このように、アンテナ保持部材の構成は、アレイアンテナユニットの構成に応じて適宜設計すればよい。

また、上記実施形態においては、アンテナ搬送体にエアシリンダを設け、アレイアンテナユニットを鉛直方向に昇降可能な構成としたが、こうしたアレイアンテナユニットを変位させる変位手段は必須の構成ではない。また、上記実施形態においては、変位手段がアレイアンテナユニットを鉛直方向に昇降させる構成としたが、変位手段によるアレイアンテナユニットの変位方向はこれに限らない。つまり、変位手段によってアレイアンテナユニットを変位させる目的は、真空チャンバに設けられたコネクタに、アレイアンテナユニットの電極棒（アンテナ側コネクタ）を一括して接続することにある。したがって、例えば、真空チャンバに設けられたコネクタが、電極棒を水平方向に変位させて接続されるように配置された場合には、変位手段はアレイアンテナユニットを同一の水平方向に変位させることとなる。

また、上記実施形態においては、エアシリンダによってアレイアンテナユニットが鉛直方向に昇降する構成としたが、アレイアンテナユニットの変位は手動で行われるようにしても構わない。さらに、アレイアンテナユニットを自動で変位させる変位手段を設ける場合には、エアシリンダに限らず、油圧シリンダや電動シリンダなど、種々のアクチュエータによって変位手段を構成することが可能である。ただし、エアシリンダは、他の装置に比べてクッション性が高いので、上述の揺動機構と相まって、アレイアンテナユニットを掛け止める際の移動自由度が増し、取り付け容易性を向上することができる。なお、アレイアンテナユニットを上昇または下降させる変位手段は、アンテナ搬送体に設けずに真空チャンバに設けるようにしても構わない。

また、上記実施形態においては、アンテナ搬送体に２体のアレイアンテナユニットが同時に保持可能な構成としたが、アンテナ搬送体に同時に保持可能なアレイアンテナユニットの数は限定されない。また、複数のアレイアンテナユニットを同時に保持する構成とした場合には、アレイアンテナユニットと同数のアンテナ保持部材を設けることとしてもよいし、１つのアンテナ保持部材に複数のアレイアンテナユニットを保持可能な構成としてもよい。

なお、上記実施形態のように、複数のアレイアンテナユニットを同時に保持可能な構成とし、かつ、これらアレイアンテナユニットを変位させる変位手段を設ける場合には、各アレイアンテナユニットを個別に変位可能とすることが望ましい。各アレイアンテナユニットを真空チャンバに掛け止める際には、コネクタの接続状態などを目視確認する必要がある。このとき、複数のアレイアンテナユニットが同時に変位することとなると、作業者から見て相対的に奥側に位置するアレイアンテナユニットの取り付け状況の確認が困難となる。したがって、変位手段によって複数のアレイアンテナユニットを変位させる場合には、変位手段が個別に作動する構成にするとよい。

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

本発明は、真空チャンバ内でプラズマを発生させてフィルム基材表面に薄膜を生成するアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ交換方法、アンテナ搬送システム、およびアンテナ搬送装置に利用することができる。

１、４０１ 真空チャンバ
１０ 内部空間
１２ 高周波電源
１３ 第１天井側コネクタ
１４ 第２天井側コネクタ
１５ ガス供給源
１７、２５ ガイドレール
１９ 掛止ピン
２０、４１０ 成膜案内ローラ
２６ ガイドローラ
３０ アレイアンテナユニット
３６ 掛止孔
５０ 誘導結合型電極
５１ 第１電極棒
５２ 第２電極棒
６２ 車輪
７０ アンテナ搬送体
７２ 車輪
７３ アンテナ保持部材
１００、４５０ 基材搬送チャンバ
１６０ 送出ローラ
１６２ 巻取ローラ
１６４ 搬送案内ローラ
２００、３００ アンテナ搬送チャンバ
Ｗ フィルム基材

Claims (9)

1. 真空状態に減圧可能な内部にガス供給源から材料ガスが供給される複数の真空チャンバと、
   前記複数の真空チャンバそれぞれに設けられ高周波電源に電気的に接続可能な複数のコネクタと、
   前記真空チャンバ内で前記複数のコネクタそれぞれに接続可能な複数本の電極棒を有し、前記電極棒がコネクタに接続された状態で前記高周波電源から電力供給されることによりプラズマを発生させるアレイアンテナユニットと、
   前記複数の真空チャンバを、該複数の真空チャンバそれぞれの１つの側面で連通させる基材搬送チャンバと、
   前記基材搬送チャンバの水平方向の一方の端部に設けられ、フィルム基材を送り出す送出ローラと、
   前記基材搬送チャンバの水平方向の他方の端部に設けられ、前記送出ローラが送り出したフィルム基材を巻き取る巻取ローラと、
   前記基材搬送チャンバにおいて、前記送出ローラと前記巻取ローラとの間に設けられ、前記フィルム基材の搬送を案内し、かつ、該フィルム基材に所定の張力をかけるための複数の搬送案内ローラと、
   前記複数の真空チャンバそれぞれに設けられ、前記搬送案内ローラ間を移動する前記フィルム基材と前記アレイアンテナユニットとが対向するように該フィルム基材を案内し、かつ、該フィルム基材に所定の張力をかけるための成膜案内ローラと、
   を備えたアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置においてアレイアンテナユニットを交換するアレイアンテナ交換方法であって、
   前記複数の真空チャンバの内部および前記基材搬送チャンバの内部を真空状態に減圧する工程と、
   アンテナ搬送チャンバの内部を真空状態に減圧する工程と、
   前記アンテナ搬送チャンバと前記真空チャンバとを連結し、該アンテナ搬送チャンバと該真空チャンバとの内部を真空状態に維持したまま当該両チャンバを連通する工程と、
   前記真空チャンバから前記アレイアンテナユニットを取り外す工程と、
   取り外された前記アレイアンテナユニットを前記真空チャンバから前記アンテナ搬送チャンバに搬送する工程と、を含むことを特徴とするアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ交換方法。
2. 前記アンテナ搬送チャンバの内部を真空状態に減圧する前に、該アンテナ搬送チャンバに新たなアレイアンテナユニットを収容しておき、
   前記取り外されたアレイアンテナユニットを前記真空チャンバから前記アンテナ搬送チャンバに搬送する前記工程に続いて、
   互いに真空状態を維持したまま内部が連通された前記両チャンバ間で、前記アンテナ搬送チャンバから前記真空チャンバに前記新たなアレイアンテナユニットを搬入する工程と、
   前記新たなアレイアンテナユニットの電極棒それぞれが、前記複数のコネクタに接続されるように該新たなアレイアンテナユニットを前記真空チャンバ内に掛け止めする工程と、を含むことを特徴とする請求項１に記載のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ交換方法。
3. 真空状態に減圧可能な内部にガス供給源から材料ガスが供給される複数の真空チャンバと、
   前記複数の真空チャンバそれぞれに設けられ高周波電源に電気的に接続可能な複数のコネクタと、
   前記真空チャンバ内で前記複数のコネクタそれぞれに接続可能な複数本の電極棒を有し、前記電極棒がコネクタに接続された状態で前記高周波電源から電力供給されることによりプラズマを発生させるアレイアンテナユニットと、
   前記複数の真空チャンバを、該複数の真空チャンバそれぞれの１つの側面で連通させる基材搬送チャンバと、
   前記基材搬送チャンバの水平方向の一方の端部に設けられ、フィルム基材を送り出す送出ローラと、
   前記基材搬送チャンバの水平方向の他方の端部に設けられ、前記送出ローラが送り出したフィルム基材を巻き取る巻取ローラと、
   前記基材搬送チャンバにおいて、前記送出ローラと前記巻取ローラとの間に設けられ、前記フィルム基材の搬送を案内し、かつ、該フィルム基材に所定の張力をかけるための複数の搬送案内ローラと、
   前記複数の真空チャンバそれぞれに設けられ、前記搬送案内ローラ間を移動する前記フィルム基材と前記アレイアンテナユニットとが対向するように該フィルム基材を案内し、かつ、該フィルム基材に所定の張力をかけるための成膜案内ローラと、
   前記アレイアンテナユニットを収容可能であって、内部を真空状態に維持したまま前記真空チャンバに連通可能なアンテナ搬送チャンバと、
   互いに真空状態を維持したまま内部が連通された前記アンテナ搬送チャンバおよび前記真空チャンバ間で、前記アレイアンテナユニットを往来可能とするアンテナ搬送手段と、
   前記アンテナ搬送手段によって前記真空チャンバ内に搬入された前記アレイアンテナユニットを着脱自在に掛け止めするアンテナ掛止手段と、
   を備えたことを特徴とするアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ搬送システム。
4. 前記アンテナ搬送手段は、
   前記アンテナ搬送チャンバおよび前記真空チャンバに設けられたガイドレールと、
   前記ガイドレール上を転動可能であって前記アレイアンテナユニットに一体的あるいは着脱自在に設けられたガイドローラと、を含むことを特徴とする請求項３に記載のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ搬送システム。
5. 真空状態に減圧可能な内部にガス供給源から材料ガスが供給される複数の真空チャンバと、
   前記複数の真空チャンバそれぞれに設けられ高周波電源に電気的に接続可能な複数のコネクタと、
   前記真空チャンバ内で前記複数のコネクタそれぞれに接続可能な複数本の電極棒を有し、前記電極棒がコネクタに接続された状態で前記高周波電源から電力供給されることによりプラズマを発生させるアレイアンテナユニットと、
   前記複数の真空チャンバを、該複数の真空チャンバそれぞれの１つの側面で連通させる基材搬送チャンバと、
   前記基材搬送チャンバの水平方向の一方の端部に設けられ、フィルム基材を送り出す送出ローラと、
   前記基材搬送チャンバの水平方向の他方の端部に設けられ、前記送出ローラが送り出したフィルム基材を巻き取る巻取ローラと、
   前記基材搬送チャンバにおいて、前記送出ローラと前記巻取ローラとの間に設けられ、前記フィルム基材の搬送を案内し、かつ、該フィルム基材に所定の張力をかけるための複数の搬送案内ローラと、
   前記複数の真空チャンバそれぞれに設けられ、前記搬送案内ローラ間を移動する前記フィルム基材と前記アレイアンテナユニットとが対向するように該フィルム基材を案内し、かつ、該フィルム基材に所定の張力をかけるための成膜案内ローラと、
   前記真空チャンバと前記基材搬送チャンバとの間で前記成膜案内ローラを移動させるローラ移動機構と、
   を備えたアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置においてアレイアンテナユニットを交換するアレイアンテナ交換方法であって、
   前記複数の真空チャンバの内部および前記基材搬送チャンバの内部を真空状態に減圧する工程と、
   前記ローラ移動機構によって、真空状態を維持したまま連通された前記複数の真空チャンバのうちいずれか１または複数の真空チャンバから前記基材搬送チャンバに前記成膜案内ローラを移動させる工程と、
   真空状態を維持したまま、前記成膜案内ローラが前記基材搬送チャンバに移動された真空チャンバと、前記基材搬送チャンバとの連通を解除する工程と、
   前記成膜案内ローラが基材搬送チャンバに移動された真空チャンバから前記アレイアンテナユニットを取り外す工程と、を含むことを特徴とするアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ交換方法。
6. 前記成膜案内ローラが基材搬送チャンバに移動された真空チャンバから前記アレイアンテナユニットを取り外す前記工程に続いて、
   前記成膜案内ローラが基材搬送チャンバに移動された真空チャンバに、新たなアレイアンテナユニットを搬入し、該新たなアレイアンテナユニットの電極棒それぞれが、前記複数のコネクタに接続されるように該新たなアレイアンテナユニットを該真空チャンバ内に掛け止めする工程と、
   前記新たなアレイアンテナユニットが掛け止めされた真空チャンバと前記基材搬送チャンバとの内部を真空状態に維持したまま当該両チャンバを連通する工程と、
   前記ローラ移動機構によって、前記基材搬送チャンバから前記新たなアレイアンテナユニットが掛け止めされた真空チャンバに前記成膜案内ローラを移動させる工程と、を含むことを特徴とする請求項５に記載のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ交換方法。
7. 真空状態に減圧可能な内部にガス供給源から材料ガスが供給される複数の真空チャンバと、
   前記複数の真空チャンバそれぞれに設けられ高周波電源に電気的に接続可能な複数のコネクタと、
   前記真空チャンバ内で前記複数のコネクタそれぞれに接続可能な複数本の電極棒を有し、前記電極棒がコネクタに接続された状態で前記高周波電源から電力供給されることによりプラズマを発生させるアレイアンテナユニットと、
   前記複数の真空チャンバを、該複数の真空チャンバそれぞれの１つの側面で連通させる基材搬送チャンバと、
   前記基材搬送チャンバの水平方向の一方の端部に設けられ、フィルム基材を送り出す送出ローラと、
   前記基材搬送チャンバの水平方向の他方の端部に設けられ、前記送出ローラが送り出したフィルム基材を巻き取る巻取ローラと、
   前記基材搬送チャンバにおいて、前記送出ローラと前記巻取ローラとの間に設けられ、前記フィルム基材の搬送を案内し、かつ、該フィルム基材に所定の張力をかけるための複数の搬送案内ローラと、
   前記複数の真空チャンバそれぞれに設けられ、前記搬送案内ローラ間を移動する前記フィルム基材と前記アレイアンテナユニットとが対向するように該フィルム基材を案内し、かつ、該フィルム基材に所定の張力をかけるための成膜案内ローラと、
   前記真空チャンバと前記基材搬送チャンバとの間で前記成膜案内ローラを移動させるローラ移動機構と、
   前記真空チャンバ内に搬入された前記アレイアンテナユニットを着脱自在に掛け止めするアンテナ掛止手段と、
   を備えたことを特徴とするアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ搬送システム。
8. 真空状態に減圧可能な内部にガス供給源から材料ガスが供給される複数の真空チャンバと、
   前記複数の真空チャンバそれぞれに設けられ高周波電源に電気的に接続可能な複数のコネクタと、
   前記真空チャンバ内で前記複数のコネクタそれぞれに接続可能な複数本の電極棒を有し、前記電極棒がコネクタに接続された状態で前記高周波電源から電力供給されることによりプラズマを発生させるアレイアンテナユニットと、
   前記複数の真空チャンバを、該複数の真空チャンバそれぞれの１つの側面で連通させる基材搬送チャンバと、
   前記基材搬送チャンバの水平方向の一の端部に設けられ、フィルム基材を送り出す送出ローラと、
   前記基材搬送チャンバの水平方向の他方の端部に設けられ、前記送出ローラが送り出したフィルム基材を巻き取る巻取ローラと、
   前記基材搬送チャンバにおいて、前記送出ローラと前記巻取ローラとの間に設けられ、前記フィルム基材の搬送を案内し、かつ、該フィルム基材に所定の張力をかけるための複数の搬送案内ローラと、
   前記複数の真空チャンバそれぞれに設けられ、前記搬送案内ローラ間を移動する前記フィルム基材と前記アレイアンテナユニットとが対向するように該フィルム基材を案内し、かつ、該フィルム基材に所定の張力をかけるための成膜案内ローラと、
   前記真空チャンバ内に搬入された前記アレイアンテナユニットを着脱自在に掛け止めするアンテナ掛止手段と、
   を備えるアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置に連結されるアンテナ搬送装置であって、
   前記アレイアンテナユニットを収容可能であって、真空状態を維持したまま前記真空チャンバと連通可能なアンテナ搬送チャンバと、
   互いに真空状態を維持したまま内部が連通された前記アンテナ搬送チャンバおよび前記真空チャンバ間で、前記アレイアンテナユニットを往来可能とするアンテナ搬送手段と、
   を備え、
   前記アンテナ掛止手段は、前記アンテナ搬送手段によって前記真空チャンバ内に搬入された前記アレイアンテナユニットを着脱自在に掛け止めすることを特徴とするアンテナ搬送装置。
9. 前記アンテナ搬送手段は、
   前記アンテナ搬送チャンバおよび前記真空チャンバに設けられたガイドレールと、
   前記ガイドレール上を転動可能であって前記アレイアンテナユニットに一体的あるいは着脱自在に設けられたガイドローラと、を含むことを特徴とする請求項８に記載のアンテナ搬送装置。

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