JP2012160620A - 発電デバイスおよびそれを用いた発電モジュール - Google Patents
発電デバイスおよびそれを用いた発電モジュール Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012160620A JP2012160620A JP2011020168A JP2011020168A JP2012160620A JP 2012160620 A JP2012160620 A JP 2012160620A JP 2011020168 A JP2011020168 A JP 2011020168A JP 2011020168 A JP2011020168 A JP 2011020168A JP 2012160620 A JP2012160620 A JP 2012160620A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power generation
- generation device
- substrate
- piezoelectric body
- power generating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010248 power generation Methods 0.000 claims description 261
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 127
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 9
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 9
- 239000010408 film Substances 0.000 description 77
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 44
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 44
- 238000000034 method Methods 0.000 description 43
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 39
- 239000000463 material Substances 0.000 description 25
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 15
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 12
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 9
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 9
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 9
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 9
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 9
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 7
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 6
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 4
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 4
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 3
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- 229910004121 SrRuO Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920000307 polymer substrate Polymers 0.000 description 2
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000877463 Lanio Species 0.000 description 1
- 241001124569 Lycaenidae Species 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003306 harvesting Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013017 mechanical damping Methods 0.000 description 1
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002520 smart material Substances 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/30—Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/18—Printed circuits structurally associated with non-printed electric components
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/18—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing electrical output from mechanical input, e.g. generators
- H02N2/181—Circuits; Control arrangements or methods
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/18—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing electrical output from mechanical input, e.g. generators
- H02N2/186—Vibration harvesters
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/30—Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
- H10N30/304—Beam type
- H10N30/306—Cantilevers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/802—Circuitry or processes for operating piezoelectric or electrostrictive devices not otherwise provided for, e.g. drive circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
【解決手段】発電デバイス1は、発電部20が、圧電体21の厚み方向の両面に形成され互いに対向する2つ1組の電極22,23と圧電体21において2つ1組の電極22,23に挟まれた部分である機能部21aとで構成される複数個の発電エレメント200を有している。また、発電デバイス1は、複数個の発電エレメント200が、圧電体21の厚み方向に沿った分極の向きが互いに逆向きである第1の発電エレメント201と第2の発電エレメント202とからなる。発電部20は、対をなす第1の発電エレメント201と第2の発電エレメント202とが、圧電体21の厚み方向の同じ面側に形成された電極22,22同士を接続する配線部24により接続され、複数個の発電エレメント200の全てが直列接続されている。
【選択図】図1
Description
以下、本実施形態の発電デバイスについて図1に基づいて説明する。
以下、本実施形態の発電デバイス1について、図19および図20に基づいて説明する。
本実施形態の発電デバイスについて図21および図22に基づいて説明する。
3 回路基板
4 両波倍電圧整流回路
10 デバイス基板
11 支持部
12 カンチレバー部
13 錘部
20 発電部
21 圧電体
22 電極
23 電極
24 配線部
29 配線部
104 埋込穴
200 発電エレメント
201 第1の発電エレメント
202 第2の発電エレメント
Claims (4)
- 支持部、前記支持部に揺動自在に支持されたカンチレバー部、および前記カンチレバー部における前記支持部側とは反対の先端部に設けられた錘部を有するデバイス基板と、前記カンチレバー部に設けられた前記カンチレバー部の振動に応じて交流電圧を発生する発電部とを備え、前記発電部は、圧電体の厚み方向の両面に形成され互いに対向する2つ1組の電極と前記圧電体において前記2つ1組の電極に挟まれた部分である機能部とで構成される複数個の発電エレメントを有し、前記複数個の発電エレメントは、前記厚み方向に沿った分極の向きが互いに逆向きである第1の発電エレメントと第2の発電エレメントとからなり、前記発電部では、対をなす前記第1の発電エレメントと前記第2の発電エレメントとが前記厚み方向の同じ面側に形成された前記電極同士を接続する配線部により接続され、前記複数個の発電エレメントの全てが直列接続されてなることを特徴とする発電デバイス。
- 前記2つ1組の電極のうち前記圧電体を下地とする前記電極が、シート電極からなることを特徴とする請求項1記載の発電デバイス。
- 前記デバイス基板は、前記カンチレバー部における前記各発電エレメントそれぞれの形成部位に前記機能部の一部が埋設される埋込穴が形成されてなり、前記圧電体は、自己平坦化膜からなることを特徴とする請求項1記載の発電デバイス。
- 請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の発電デバイスと、前記発電デバイスが実装された回路基板とを備え、前記回路基板に、前記発電デバイスの出力電圧を倍電圧整流する両波倍電圧整流回路が設けられてなることを特徴とする発電モジュール。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011020168A JP5520239B2 (ja) | 2011-02-01 | 2011-02-01 | 発電デバイスおよびそれを用いた発電モジュール |
US13/819,069 US20130155631A1 (en) | 2011-02-01 | 2012-01-31 | Power generating device and power generating module using same |
KR1020137003608A KR101366735B1 (ko) | 2011-02-01 | 2012-01-31 | 발전 디바이스 및 그것을 사용한 발전 모듈 |
PCT/JP2012/052050 WO2012105522A1 (ja) | 2011-02-01 | 2012-01-31 | 発電デバイスおよびそれを用いた発電モジュール |
EP12742495.0A EP2672538A1 (en) | 2011-02-01 | 2012-01-31 | Power generating device and power generating module using same |
CN2012800026782A CN103081340A (zh) | 2011-02-01 | 2012-01-31 | 发电器件及使用该发电器件的发电模组 |
TW101103263A TWI445298B (zh) | 2011-02-01 | 2012-02-01 | 發電裝置及使用其之發電模組 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011020168A JP5520239B2 (ja) | 2011-02-01 | 2011-02-01 | 発電デバイスおよびそれを用いた発電モジュール |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012160620A true JP2012160620A (ja) | 2012-08-23 |
JP5520239B2 JP5520239B2 (ja) | 2014-06-11 |
Family
ID=46602735
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011020168A Expired - Fee Related JP5520239B2 (ja) | 2011-02-01 | 2011-02-01 | 発電デバイスおよびそれを用いた発電モジュール |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20130155631A1 (ja) |
EP (1) | EP2672538A1 (ja) |
JP (1) | JP5520239B2 (ja) |
KR (1) | KR101366735B1 (ja) |
CN (1) | CN103081340A (ja) |
TW (1) | TWI445298B (ja) |
WO (1) | WO2012105522A1 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101410139B1 (ko) | 2012-10-09 | 2014-06-25 | 재단법인대구경북과학기술원 | 자동차의 배터리 충전용 압전 시스템 및 그를 구비한 자동차 |
JP5529328B1 (ja) * | 2013-09-04 | 2014-06-25 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 発電素子 |
WO2015098221A1 (ja) * | 2013-12-25 | 2015-07-02 | 住友理工株式会社 | 発電システム |
JP2015126550A (ja) * | 2013-12-25 | 2015-07-06 | 住友理工株式会社 | 発電システム |
JP2015142405A (ja) * | 2014-01-28 | 2015-08-03 | 住友理工株式会社 | 発電システム |
JP2019165630A (ja) * | 2019-06-05 | 2019-09-26 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 発電素子 |
JP2023500772A (ja) * | 2019-11-28 | 2023-01-11 | ティーディーケイ・エレクトロニクス・アクチェンゲゼルシャフト | 2チャンネル検出器 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102034717B1 (ko) * | 2013-02-07 | 2019-10-21 | 삼성전자주식회사 | 파워모듈용 기판, 파워모듈용 터미널 및 이들을 포함하는 파워모듈 |
KR101922790B1 (ko) | 2014-06-20 | 2018-11-27 | 가부시키가이샤 아루박 | 다층막, 다층막의 제조 방법 및 제조 장치 |
JP5887457B2 (ja) * | 2015-10-29 | 2016-03-16 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 発電素子 |
US10560038B2 (en) | 2017-03-13 | 2020-02-11 | Saudi Arabian Oil Company | High temperature downhole power generating device |
US10320311B2 (en) * | 2017-03-13 | 2019-06-11 | Saudi Arabian Oil Company | High temperature, self-powered, miniature mobile device |
CN108489533A (zh) * | 2018-01-31 | 2018-09-04 | 成都凡米科技有限公司 | 一种可抛式纸尿裤内置检测装置及检测方法 |
US10844694B2 (en) | 2018-11-28 | 2020-11-24 | Saudi Arabian Oil Company | Self-powered miniature mobile sensing device |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63200579A (ja) * | 1987-02-16 | 1988-08-18 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 圧電トランス |
JPH03171784A (ja) * | 1989-11-30 | 1991-07-25 | Toshiba Corp | バイモルフ素子 |
JP2000012916A (ja) * | 1998-06-19 | 2000-01-14 | Seiko Instruments Inc | 熱電素子及び発電装置 |
JP2007281015A (ja) * | 2006-04-03 | 2007-10-25 | Taiheiyo Cement Corp | 発電装置 |
JP2009165212A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Panasonic Corp | 圧電体を用いた発電素子およびそれを用いた発電装置 |
JP2010136542A (ja) * | 2008-12-05 | 2010-06-17 | Seiko Epson Corp | 圧電型発電機およびその製造方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3866258B2 (ja) * | 2004-08-24 | 2007-01-10 | 太平洋セメント株式会社 | 圧電デバイスおよびこれを備える圧電スイッチ |
US20070125176A1 (en) * | 2005-12-02 | 2007-06-07 | Honeywell International, Inc. | Energy harvesting device and methods |
WO2010070650A1 (en) * | 2008-12-21 | 2010-06-24 | Sirius Implantable Systems Ltd. | High efficiency piezoelectric micro-generator and energy storage system |
JP5510448B2 (ja) * | 2009-03-18 | 2014-06-04 | 富士通株式会社 | 圧電発電装置 |
KR101295670B1 (ko) * | 2009-12-11 | 2013-08-14 | 한국전자통신연구원 | 압전 발전기 |
KR101243868B1 (ko) * | 2009-12-14 | 2013-03-20 | 한국전자통신연구원 | 가변 축전층이 내장된 능동형 압전 에너지변환 소자 및 그 제조 방법 |
JP5609967B2 (ja) * | 2010-02-26 | 2014-10-22 | 富士通株式会社 | 発電装置、発電方法及び発電装置の製造方法 |
KR101325645B1 (ko) * | 2010-09-16 | 2013-11-06 | 한국전자통신연구원 | 에너지 하베스팅 전자 장치 |
-
2011
- 2011-02-01 JP JP2011020168A patent/JP5520239B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-01-31 KR KR1020137003608A patent/KR101366735B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2012-01-31 WO PCT/JP2012/052050 patent/WO2012105522A1/ja active Application Filing
- 2012-01-31 EP EP12742495.0A patent/EP2672538A1/en not_active Withdrawn
- 2012-01-31 CN CN2012800026782A patent/CN103081340A/zh active Pending
- 2012-01-31 US US13/819,069 patent/US20130155631A1/en not_active Abandoned
- 2012-02-01 TW TW101103263A patent/TWI445298B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63200579A (ja) * | 1987-02-16 | 1988-08-18 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 圧電トランス |
JPH03171784A (ja) * | 1989-11-30 | 1991-07-25 | Toshiba Corp | バイモルフ素子 |
JP2000012916A (ja) * | 1998-06-19 | 2000-01-14 | Seiko Instruments Inc | 熱電素子及び発電装置 |
JP2007281015A (ja) * | 2006-04-03 | 2007-10-25 | Taiheiyo Cement Corp | 発電装置 |
JP2009165212A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Panasonic Corp | 圧電体を用いた発電素子およびそれを用いた発電装置 |
JP2010136542A (ja) * | 2008-12-05 | 2010-06-17 | Seiko Epson Corp | 圧電型発電機およびその製造方法 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101410139B1 (ko) | 2012-10-09 | 2014-06-25 | 재단법인대구경북과학기술원 | 자동차의 배터리 충전용 압전 시스템 및 그를 구비한 자동차 |
JP5529328B1 (ja) * | 2013-09-04 | 2014-06-25 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 発電素子 |
JP2015050889A (ja) * | 2013-09-04 | 2015-03-16 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 発電素子 |
WO2015098221A1 (ja) * | 2013-12-25 | 2015-07-02 | 住友理工株式会社 | 発電システム |
JP2015126550A (ja) * | 2013-12-25 | 2015-07-06 | 住友理工株式会社 | 発電システム |
US10361355B2 (en) | 2013-12-25 | 2019-07-23 | Sumitomo Riko Company Limited | Power generation system |
JP2015142405A (ja) * | 2014-01-28 | 2015-08-03 | 住友理工株式会社 | 発電システム |
JP2019165630A (ja) * | 2019-06-05 | 2019-09-26 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 発電素子 |
JP2021097596A (ja) * | 2019-06-05 | 2021-06-24 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 発電素子 |
JP2023500772A (ja) * | 2019-11-28 | 2023-01-11 | ティーディーケイ・エレクトロニクス・アクチェンゲゼルシャフト | 2チャンネル検出器 |
US12078512B2 (en) | 2019-11-28 | 2024-09-03 | Tdk Electronics Ag | Dual channel detector with different measurement signals |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20130054343A (ko) | 2013-05-24 |
KR101366735B1 (ko) | 2014-02-24 |
TW201240320A (en) | 2012-10-01 |
TWI445298B (zh) | 2014-07-11 |
CN103081340A (zh) | 2013-05-01 |
US20130155631A1 (en) | 2013-06-20 |
EP2672538A4 (en) | 2013-12-11 |
WO2012105522A1 (ja) | 2012-08-09 |
EP2672538A1 (en) | 2013-12-11 |
JP5520239B2 (ja) | 2014-06-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5520239B2 (ja) | 発電デバイスおよびそれを用いた発電モジュール | |
US20140210423A1 (en) | Energy harvesting device | |
KR101906589B1 (ko) | 압전 에너지 하베스팅/저장 장치 및 그 제조 방법 | |
JP5658757B2 (ja) | 振動発電素子およびそれを用いた振動発電装置 | |
KR101382516B1 (ko) | 강유전체 디바이스 | |
KR101727252B1 (ko) | 압전 에너지 하베스팅 장치 | |
JP2009165212A (ja) | 圧電体を用いた発電素子およびそれを用いた発電装置 | |
JP5685719B2 (ja) | 振動発電素子およびそれを用いた振動発電装置 | |
JP5760172B2 (ja) | 発電デバイスおよびそれを用いた発電モジュール | |
WO2013077301A1 (ja) | 発電装置 | |
JP6673479B2 (ja) | 圧電トランス | |
KR101526254B1 (ko) | 진동 발전 디바이스 및 그 제조 방법 | |
JP2015019434A (ja) | 発電デバイス | |
JP2013135596A (ja) | 振動発電素子 | |
JP2012182187A (ja) | 発電デバイス | |
Saadon et al. | Vibration-based MEMS piezoelectric energy harvesters using cantilever beams | |
JP2013145780A (ja) | 発電デバイス | |
JP2013145781A (ja) | 発電モジュール | |
JP2015018830A (ja) | 発電デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131210 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140210 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140311 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140404 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |