JP2012147228A - 水晶デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 水晶デバイスは、水晶振動部(111)と枠部(112)と連結部(117)とを有するATカットの水晶フレーム(110)と、外部電極を第1辺(112a)の側と第2辺(112b)の側とに有するベース部と、を備え、第3辺(112c)には、第1平面(119a)と、第2平面(119b)と、第1斜面又は第2斜面(118b)と、第1斜面又は第2斜面を含み水晶振動部側に突き出した凸部(118)とが形成され、水晶フレームの枠部には、第1引出電極(115a)と、一対の励振電極の他方から連結部と枠部の第3辺の第1平面及び凸部の第1斜面、又は枠部の第3辺の第2平面及び凸部の第2斜面とを介してベース部の第2辺の側に形成された外部電極に接続される第2引出電極(115b)と、を備える。
【選択図】 図3
Description
<水晶デバイス100の構成>
図1は、水晶デバイス100の概略分解斜視図である。水晶デバイス100は、表面実装型の水晶デバイスであり、プリント基板等に実装されて使用される。水晶デバイス100は主に、水晶フレーム110と、リッド部120と、ベース部130とにより構成されている。水晶フレーム110にはATカットの水晶材が用いられる。ATカットの水晶材は、主面(YZ面)が結晶軸(XYZ)のY軸に対して、X軸を中心としてZ軸からY軸方向に35度15分傾斜されている。以下の説明では、ATカットの水晶材の軸方向を基準とし、傾斜された新たな軸をY’軸及びZ’軸として用いる。すなわち、水晶デバイス100においては水晶デバイス100の長辺方向をX軸方向、水晶デバイス100の高さ方向をY’軸方向、X及びY’軸方向に垂直な方向をZ’軸方向として説明する。
図4は、水晶デバイス100の製造方法が示されたフローチャートである。
まずステップS101で、水晶ウエハW110が用意される。水晶ウエハW110は、ATカットされた水晶材により形成されており、水晶ウエハW110には複数の水晶フレーム110が形成されている。図5を参照して水晶ウエハW110について説明し、さらに図6から図8を参照して水晶ウエハW110の製造方法について説明する。
水晶デバイス100では、第2引出電極115bが枠部112の第3辺112cの第2平面119bを介して第1辺112aから第2辺112bに引き出されていたが、第1平面119aを介して第1辺112aから第2辺112bに引き出されてもよい。以下、第2引出電極が第1平面119aを介して第1辺112aから第2辺112bに引き出されている水晶デバイス200について説明する。また以下の説明では水晶デバイス100とその構成が同じ部分には同じ番号を付してその説明を省略する。
図11は、水晶デバイス200の概略分解斜視図である。水晶デバイス200は、表面実装型の水晶デバイスであり、プリント基板等に実装されて使用される。水晶デバイス200は主に、水晶フレーム210と、リッド部120と、ベース部130とにより構成されている。
水晶フレームの一対の連結部は、枠部112の第1辺112aと第3辺112cとが交わる貫通部113の角部、及び第1辺112aと第4辺112dとが交わる貫通部113の角部に形成されていてもよい。また、枠部112の第3辺112cと第4辺112dとに接続されて形成されていてもよい。以下に、枠部112の第1辺112aと第3辺112cとが交わる貫通部113の角部、及び第1辺112aと第4辺112dとが交わる貫通部113の角部に連結部が形成されている水晶フレーム310と、枠部112の第3辺112cと第4辺112dとに連結部が形成されている水晶フレーム410とについて説明する。また以下の説明では水晶フレーム110とその構成が同じ部分には同じ番号を付してその説明を省略する。
図13(a)は、水晶フレーム310の平面図である。水晶フレーム310は水晶振動部111と、枠部112と、水晶振動部111と枠部112とを連結する一対の連結部317とを備え、水晶振動部111と枠部112との間には貫通部313が形成されている。一対の連結部317の一方は、枠部112の第1辺112a及び第4辺112dが交わる貫通部313の角部と水晶振動部111の−X軸方向の−Z’軸側の端部とを連結している。一対の連結部317の他方は、枠部112の第1辺112a及び第3辺112cが交わる貫通部313の角部と水晶振動部111の−X軸方向の+Z’軸側の端部とを連結している。水晶振動部111のメサ部116の+Y’軸側の面と−Y’軸側の面とにはそれぞれ励振電極114が形成されている。水晶振動部111の−Y’軸側の面に形成されている励振電極114(不図示)から引き出されている第1引出電極315aは、−Y’軸側の面に形成されている励振電極114から一方の連結部317を介して枠部112の第1辺112aの−Z’軸側の隅まで形成されている。また、水晶振動部111の+Y’軸側の面に形成されている励振電極114から引き出されている第2引出電極315bは、+Y’軸側の面に形成されている励振電極114から他方の連結部317と第3辺112cとが交わる貫通部313の角部(点線193)で+Y’軸側の面から−Y’軸側の面に引き出され、枠部112の第3辺112cを通り第2辺112bの+Z’軸側の隅まで形成されている。
図13(b)は、水晶フレーム410の平面図である。水晶フレーム410は水晶振動部111と、枠部112と、水晶振動部111と枠部112とを連結する一対の連結部417とを備え、水晶振動部111と枠部112との間には貫通部413が形成されている。一対の連結部417は、水晶振動部111と枠部112の第3辺112cとを連結し、水晶振動部111と枠部112の第4辺112dとを連結している。水晶振動部111のメサ部116の+Y’軸側の面と−Y’軸側の面とにはそれぞれ励振電極114が形成されている。水晶振動部111の−Y’軸側の面に形成されている励振電極114(不図示)から引き出されている第1引出電極415aは、−Y’軸側の面に形成されている励振電極114から一方の連結部417を介して枠部112の第3辺112cに引き出され、第1辺112aの+Z’軸側の隅まで形成されている。また、水晶振動部111の+Y’軸側の面に形成されている励振電極114から引き出されている第2引出電極415bは、+Y’軸側の面に形成されている励振電極114から他方の連結部417を介して枠部112の第4辺112dに引き出され、第2辺112bと第4辺112dとが交わる貫通部413の角部(点線194)で+Y’軸側の面から−Y’軸側の面に引き出され、第2辺112bの−Z’軸側の隅まで形成されている。
110、210、310、410 … 水晶フレーム
111 … 水晶振動部
112 … 枠部
112a〜112d … 第1辺〜第4辺
113 … 貫通部
114 … 励振電極
115a、215a、315a、415a … 第1引出電極
115b、215b、315b、415b … 第2引出電極
116 … メサ部
117、317、417 … 連結部
118 … 凸部
118a … 第1斜面、 118b … 第2斜面
119a … 第1平面、 119b … 第2平面
120 … リッド部
121、132 … 接合面
130 … ベース部
131 … 凹部
133 … 外部電極
134 … キャスタレーション
135 … 電極パッド
136 … キャスタレーション電極
161 … 第1マスク、 162 … 第2マスク、 163 … 第3マスク
164a、164b … 第4マスク
180 … 金属膜
181 … レジスト膜
190 … 紫外線を含む光
W110 … 水晶ウエハ
W120 … リッドウエハ
W130 … ベースウエハ
Claims (4)
- 両主面に形成された一対の励振電極により振動する水晶振動部と、前記水晶振動部を囲む4辺からなる矩形状の枠部と、前記水晶振動部と前記枠部のうちの第1辺又は該第1辺の端部の近傍とを連結する連結部とを有するATカットの水晶フレームと、
前記枠部に接合され、前記励振電極に電圧を印加する一対の外部電極を前記第1辺の側と該第1辺に対向する第2辺の側とに有するベース部と、を備え、
前記枠部の前記第1辺に交差する第3辺には、前記水晶振動部の両主面に平行な第1平面と、前記第1平面の反対側の第2平面と、前記第1平面に接続された第1斜面又は前記第2平面に接続された第2斜面と、前記第1斜面又は前記第2斜面を含み前記水晶振動部側に突き出した凸部とが形成され、
前記水晶フレームの前記枠部には、前記一対の励振電極の一方から前記連結部を介して前記ベース部の前記第1辺の側に形成された前記外部電極に接続される第1引出電極と、前記一対の励振電極の他方から前記連結部と前記枠部の前記第3辺の前記第1平面及び前記凸部の前記第1斜面、又は前記枠部の前記第3辺の前記第2平面及び前記凸部の前記第2斜面とを介して前記ベース部の前記第2辺の側に形成された前記外部電極に接続される第2引出電極と、を備える水晶デバイス。 - 前記ATカットの水晶フレームは、前記水晶振動部と前記枠部との間に形成され前記ATカットの水晶フレームを貫通した貫通部を含み、
前記第2引出電極は、前記貫通部の一部を通り前記第1平面から前記第2平面、又は前記第2平面から前記第1平面に引き出されている請求項1に記載の水晶デバイス。 - 前記貫通部は、前記連結部、前記枠部の前記第1辺、前記第2辺及び前記第3辺の中のいずれか2つにより直角以下の角度に形成される角部を有し、
前記第2引出電極が通る前記貫通部の一部は、前記角部を含む請求項2に記載の水晶デバイス。 - 前記ATカットの水晶フレームは、長辺方向をX軸、厚さ方向をY’軸、短辺方向をZ’軸として規定され、
前記枠部はウエットエッチングにより形成され、前記枠部の前記第1辺及び前記第2辺は前記Z’軸方向に、前記第3辺はX軸方向に伸びている請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の水晶デバイス。
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