JP2012144797A - 電気銅めっき用含リン銅アノードおよびそれを用いた電解銅めっき方法 - Google Patents
電気銅めっき用含リン銅アノードおよびそれを用いた電解銅めっき方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】Zrの含有量が5〜10wtppm、リンの含有量が100〜800wtppm、残部が銅および不可避不純物であることを特徴とする電気銅めっき用含リン銅アノードにより、前記の課題を解決する。
【選択図】なし
Description
2Cu+→Cu(粉)+Cu2+
により、金属銅や亜酸化銅が生成するためであるが、電解初期に形成されるブラックフィルムの性状は、後々まで影響を及ぼすことから、電解初期に均一で一価銅イオン(Cu+)の発生の少ないブラックフィルムを形成することが重要であるとの観点から、電解初期に均一で一価銅イオン(Cu+)の発生の少ないブラックフィルムを形成する諸条件について検討したところ、含リン銅アノード中に所定量のZrを添加することによりSが固定され高融点析出物となる。それにより結晶粒が微細化し均一な溶解が進み、均一にブラックフィルムが形成されることを見出した。また、Zr添加アノードを溶解するとZrが液中へ溶解する可能性があるが、電極電位上Zrが析出することはない。
「(1) Zrの含有量が5〜10wtppm、リンの含有量が100〜800wtppm、残部が銅および不可避不純物であることを特徴とする電気銅めっき用含リン銅アノード。
(2) (1)に記載された電気銅めっき用含リン銅アノードを用いた電解銅めっき方法。」
を特徴とするものである。
(a)Zrが添加されていない場合、結晶粒の粒径は、14.5μmであり、結晶粒が大きいため、ブラックフィルムは、974sと短時間で脱落する。
(b)一方、Zr添加量が5〜10wtppmである場合、結晶粒の粒径は、5.6〜9.7μmであり、結晶粒が(a)の場合に比べて小さいため、ブラックフィルムは、脱落までの時間が1411〜1460sと長時間である。
(c)さらに、Zr添加量が12wtppmである場合、結晶粒の粒径は、13.2μmであり、かえって結晶粒は大きくなり、ブラックフィルムは1151sと比較的短時間で脱落する。
(d)したがって、Zr添加量は、5〜10wtppmと定めた。
(e)また、電気めっき用含リン銅アノードに含まれるリンの含有量は、質量%で、100〜800ppmのリンを含有していることが望ましく、リン含有量がこの範囲から外れると安定したブラックフィルムが形成されずアノードスライムが発生する。
CuSO4・5H2O: 75g/L
H2SO4: 180g/L
Cl−:50wtppm
PEG(ポリエチレングリコール、分子量6000): 400wtppm
SPS (sodium bis−3−sulfopropy disulfide): 1wtppm
に調整し、電流密度を5A/dm2(通常の電流密度は、2〜3A/dm2)として、ブラックフィルム脱落までの時間と各アノードの結晶粒の粒径を計測した。
めっき液:CuSO4・5H2O 200g/L,
H2SO4 50g/L,
Cl− 50ppm,
添加剤 ポリエチレングリコール:400ppm(分子量6000)
めっき条件:液温25°C、
カソード電流密度 5A/dm2、
めっき時間 20分/枚、
前記の本発明アノード1〜6、比較例アノード1〜5について、電気銅めっき開始から5枚目のウエハの電気銅めっき完了(100分)後までに発生したアノードスライム発生量を測定した。
Claims (2)
- Zrの含有量が5〜10wtppm、リンの含有量が100〜800wtppm、残部が銅および不可避不純物であることを特徴とする電気銅めっき用含リン銅アノード。
- 請求項1に記載された電気銅めっき用含リン銅アノードを用いた電解銅めっき方法。
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