JP2012141188A - シンチレータパネル及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シンチレータパネル10cは、放射線を可視光に変換する蛍光体層4と、表面に有機材料からなる反射膜3を有すると共に蛍光体層4を支持し、かつ、反射膜3の有機材料から派生するオリゴマーを除去した基板1と、蛍光体層4及び蛍光体層4の周囲の基板1を被覆する有機防湿膜5と、を備える。
【選択図】図6
Description
図4は、有機防湿膜5を蒸着する前のシンチレータパネル10aの断面図を示すものである。
図8は、有機防湿膜5を形成する際にシンチレータパネル10bを支持する支持台21の斜視図を示すものである。
図11は、シンチレータパネル10bに有機防湿膜5をCVD法により蒸着する蒸着装置31の構成図を示すものである。
次に、上述した装置を用いて、オリゴマー層6を除去したシンチレータパネル10bに有機防湿膜5を形成する製造方法を説明する。
次に、図13乃至図15を用いて本発明の第2の実施の形態を説明する。
上記の実施の形態においては、シンチレータパネル10c、11cの製造時に、基板1を図8に示す3本の支持針24を備える支持台21によって支持しているが、4本以上の支持針24を備える支持台により支持しても構わない。例えば、図16に示すように、8本の支持針24を備える試料支持台25により支持してもよい。
2:基材
3:反射膜
4:蛍光体層
5:有機防湿膜
6:オリゴマー層
7:余白スペース
8:基板側面
9:蛍光体層非形成面
10a,10b,10c:シンチレータパネル
11a,11b,11c:シンチレータパネル
21:支持台
22:台部
23:柱部
24:支持針
25:試料支持台
31:蒸着装置
32:昇華炉
33:分解炉
34:チャンバー
35:チラー
36:排気系
37:導入口
38:排出口
39:ターンテーブル
41:カバー
Claims (5)
- 放射線を可視光に変換する蛍光体層と、
少なくとも表面に有機材料を有して前記蛍光体層を支持し、かつ、当該有機材料から派生するオリゴマーを除去した基板と、
前記蛍光体層及び前記蛍光体層の周囲の前記基板を被覆する有機防湿膜と、
を備えることを特徴とするシンチレータパネル。 - 前記基板表面において、前記オリゴマーを除去した部分が前記蛍光体層を形成した領域以外の表面部分で連続的につながっていることを特徴とする請求項1記載のシンチレータパネル。
- 前記基板表面の有機材料が可視光領域の光学的反射膜であることを特徴とする請求項1又は2記載のシンチレータパネル。
- 前記有機材料は、金属酸化物を分散させたポリエチレンテレフタレートであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載のシンチレータパネル。
- 少なくとも表面に有機材料を有する基板上に蛍光体層を蒸着する工程と、
前記基板表面において、前記蛍光体層が蒸着されていない部分に派生したオリゴマー層を選択的に除去する工程と、
前記蛍光体層及び前記蛍光体層の周囲の前記基板表面に有機防湿膜を被覆する工程と、
を備えることを特徴とするシンチレータパネルの製造方法。
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- 2010-12-28 JP JP2010293004A patent/JP2012141188A/ja active Pending
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