JP4317169B2 - シンチレータパネル - Google Patents
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取り出し、シンチレータ12側の第1のポリパラキシリレン膜14の表面にSiO2膜16をスパッタリングにより300nmの厚さで成膜する(図5(a)参照)。SiO2膜16は、シンチレータ12の耐湿性の向上を目的とするものであるため、シンチレータ12を覆う範囲で形成される。
Claims (3)
- 放射線透過性の基板と、
前記基板の放射線入射面と反対の表面上に蒸着によって柱状結晶として形成されているシンチレータと、
前記シンチレータの表面から前記基板のシンチレータ形成面の表面、側面から放射線入射面に至る略全面に直接、一体として蒸着形成されているポリパラキシリレン膜と、
を備えているシンチレータパネル。 - 放射線透過性の基板と、
前記基板の放射線入射面と反対の表面上に蒸着によって柱状結晶として形成されているシンチレータと、
前記シンチレータが形成された基板を、3点以上の微少な点で支持した状態で、前記基板およびシンチレータ上に材料を蒸着することにより形成された前記基板の裏面からシンチレータ形成面を経てシンチレータ表面までを一括して覆うポリパラキシリレン膜と、
を備えているシンチレータパネル。 - 前記ポリパラキシリレン膜は、ポリパラキシリレン、ポリモノクロロパラキシリレン、ポリジクロロパラキシリレン、ポリテトラクロロパラキシリレン、ポリフルオロパラキシリレン、ポリジメチルパラキシリレン、ポリジエチルパラキシリレンのいずれかまたはその組み合わせにより形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載のシンチレータパネル。
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