JP3691391B2 - 放射線イメージセンサ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、医療用のX線撮影等に用いられる放射線イメージセンサ及びその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
医療、工業用のX線撮影では、X線感光フィルムが用いられてきたが、利便性や撮影結果の保存性の面から放射線検出素子を用いた放射線イメージングシステムが普及してきている。このような放射線イメージングシステムにおいては、放射線検出素子により2次元の放射線による画素データを電気信号として取得し、この信号を処理装置により処理してモニタ上に表示している。
【0003】
従来、代表的な放射線検出素子として、特開平5−196742号公報、特開平63−215987号公報に開示されている放射線検出素子等が知られている。この放射線検出素子は、撮像素子又はファイバオプティカルプレート(FOP)、即ち複数のファイバを束ねて構成される光学部上にシンチレータを形成し、シンチレータ側から入射する放射線をシンチレータで光に変換して検出している。
【0004】
ここで典型的なシンチレータ材料であるCsIは、吸湿性材料であり、空気中の水蒸気(湿気)を吸収して潮解し、シンチレータの特性、特に解像度が劣化することから、上述の放射線検出素子においては、シンチレータ層の上部に水分不透過性の防湿バリヤを形成することにより、シンチレータを湿気から保護している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで放射線検出素子の用途が広範になるにしたがって、撮像素子又はFOP上にシンチレータを形成するのではなく、Al製の基板等X線透過率の良い基板上にシンチレータを形成し、シンチレータに対向させて撮像素子を配置した構造の放射線検出素子の使用が望まれる場合がある。
【0006】
このような場合には、基板側からX線を入射させるためシンチレータの表面に耐湿を目的とした金属膜を形成することができず、またシンチレータの表面に耐湿を目的として透明な有機膜を形成するだけでは耐湿性に問題があった。
【0007】
この発明は、耐湿性に優れたシンチレータパネル、放射線イメージセンサ及びその製造方法を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
この発明の放射線イメージセンサは、放射線透過性の基板と、基板上に形成された柱状結晶からなるシンチレータと、ンチレータとともに基板全面を覆う水分不透過性の第1の透明有機膜と、シンチレータ側の第1の透明有機膜上に形成された水分不透過性の透明無機膜と、シンチレータに対向して設けられた撮像素子とを備えることを特徴とする。
【0009】
この発明によれば、シンチレータを覆う第1の透明有機膜上に形成された透明無機膜を有するため、この透明無機膜によりシンチレータの耐湿性を著しく向上させることができる。
【0010】
この発明は、透明無機膜上に第2の透明有機膜をさらに形成したことを特徴とする。この発明によれば、透明無機膜上に第2の透明有機膜が形成されているため、透明無機膜の剥がれを防止することができる。
【0011】
この発明は、透明無機膜がSiO2,Al2O3,TiO2,In2O3,SnO2,MgO,SiN,MgF2,LiF,CaF2,AgCl及びSiNOからなる群の中の物質を含む材料により形成されることを特徴とする。
【0012】
この発明は、放射線透過性の基板上にシンチレータを形成する第1の工程と、シンチレータを覆う第1の透明有機膜を形成する第2の工程と、第1の透明有機膜上に透明無機膜を形成する第3の工程と、シンチレータに対向して撮像素子を配設する第4の工程とを備えることを特徴とする。この発明によれば、第3工程により第1の透明有機膜上に透明無機膜を形成するため、シンチレータの耐湿性を著しく向上させた放射線イメージセンサを製造することができる。
【0013】
この発明は、放射線透過性の基板上にシンチレータを形成する第1の工程と、シンチレータを覆う第1の透明有機膜を形成する第2の工程と、第1の透明有機膜上に透明無機膜を形成する第3の工程と、透明無機膜上に第2の透明有機膜を形成する第4の工程と、シンチレータに対向して撮像素子を配設する第5の工程とを備えることを特徴とする。この発明によれば、第4工程により透明無機膜上に第2の透明有機膜を形成するため、透明無機膜の剥がれを防止することができる放射線イメージセンサを製造することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、図1〜図4Bを参照して、この発明の実施の形態の説明を行う。図1は実施の形態に用いられるシンチレータパネル2の断面図であり、図2は実施の形態にかかる放射線イメージセンサ4の断面図である。
【0015】
図1に示すように、シンチレータパネル2のAl製の基板10の一方の表面には、入射した放射線を可視光に変換する柱状構造のシンチレータ12が形成されている。このシンチレータ12には、TlドープのCsIが用いられている。
【0016】
この基板10に形成されたシンチレータ12は、基板10と共に全面が第1のポリパラキシリレン膜(第1の透明有機膜)14で覆われており、シンチレータ12側の第1のポリパラキシリレン膜14の表面にSiO2(透明無機膜)膜16が形成されている。更に、SiO2膜16の表面及び基板10側のSiO2膜16が形成されていない部分の第1のポリパラキシリレン膜14の表面に第2のポリパラキシリレン膜(第2の透明有機膜)18が形成されており全面が第2のポリパラキシリレン膜18で覆われている。また、放射線イメージセンサ4は、図2に示すように、シンチレータパネル2のシンチレータ12側に撮像素子20を貼り付けた構造を有している。
【0017】
次に、図3A〜図4Bを参照して、シンチレータパネル2の製造工程について説明する。図3Aに示されるようなAl製の基板10(厚さ1.0mm)の一方の表面に、TlをドープしたCsIの柱状結晶を蒸着法によって成長させてシンチレータ12を形成する(図3B参照)。
【0018】
シンチレータ12を形成するCsIは、吸湿性が高く露出したままにしておくと空気中の水蒸気を吸湿して潮解してしまうため、これを防止するためにCVD法により第1のポリパラキシリレン膜14を形成する。即ち、シンチレータ12が形成された基板10をCVD装置に入れ、第1のポリパラキシリレン膜14を10μmの厚さで成膜する。これによりシンチレータ12及び基板10の表面全体に第1のポリパラキシリレン膜14が形成される(図3C参照)。シンチレータ12の先端部は凹凸であることから、この第1のポリパラキシリレン膜14は、シンチレータ12の先端部を平坦化する役目も有する。
【0019】
次に、シンチレータ12側の第1のポリパラキシリレン膜14の表面にSiO2膜16をスパッタリングにより300nmの厚さで成膜する(図4A参照)。SiO2膜16は、シンチレータ12の耐湿性の向上を目的とするものであるため、シンチレータ12を覆う範囲で形成される。上述のようにシンチレータ12の先端部は、第1のポリパラキシリレン膜14により平坦化されているため、出力光量が減少しないようにSiO2膜16を薄く(100nm〜200nm)形成することができる。
【0020】
更に、SiO2膜16の表面及び基板10側のSiO2膜16が形成されていない第1のポリパラキシリレン膜14の表面に、再度CVD法により第2のポリパラキシリレン膜18を10μm厚さで成膜する(図4B参照)。この工程を終了することによりシンチレータパネル2の製造が終了する。
【0021】
また、放射線イメージセンサ4は、完成したシンチレータパネル2のシンチレータ12側に撮像素子(CCD)20を貼り付けることにより製造される。
【0022】
このようにして製造されたシンチレータパネル2と、従来のシンチレータパネル、即ちシンチレータ上にポリパラキシリレン膜を1層のみ有するシンチレータパネルについて相対湿度93%、温度40℃の条件下で耐湿試験を行った。
【0023】
従来のシンチレータパネルは、この環境下に100時間放置することにより解像度特性が初期値に比較して10〜15%劣化したが、この実施の形態にかかるシンチレータパネル2については、上述の環境下に2800時間放置した場合であっても解像度特性に変化が見られなかった。したがって、シンチレータパネル2の構造を採用することにより耐湿ライフ性能を従来のシンチレータパネルに比較して30倍に伸ばすことができた。
【0024】
以上説明したように、この実施の形態に用いられるシンチレータパネル2によれば、シンチレータ12側の第1のポリパラキシリレン膜14の表面にSiO2膜16を成膜することにより、シンチレータパネル2の耐湿性を格段に向上させることができる。また、SiO2膜16上に第2のポリパラキシリレン膜18を成膜したことにより、SiO2膜16の剥がれを防止することができる。
【0025】
なお、上述の実施の形態においては、透明無機膜としてSiO2膜を用いているが、これに限らずSiO2,Al2O3,TiO2,In2O3,SnO2,MgO,SiN,MgF2,LiF,CaF2,AgCl及びSiNO等を材料とする無機膜を使用しても良い。
【0026】
また、上述の実施の形態においては、シンチレータとしてCsI(Tl)が用いられているが、これに限らずCsI(Na)、NaI(Tl)、LiI(Eu)、KI(Tl)等を用いてもよい。
【0027】
また、上述の実施の形態においては、基板としてAl製の基板が用いられているが、X線透過率の良い基板であればよいことから、アモルファスカーボン製の基板、C(グラファイト)製の基板、Be製の基板、SiC製の基板等を用いてもよい。
【0028】
また、上述の実施の形態においては、シンチレータ12側の第1のポリパラキシリレン膜14の表面にSiO2膜16を成膜しているが、シンチレータ12側のポリパラキシリレン膜14の表面だけでなく、第1のポリパラキシリレン膜14の表面全体にSiO2膜16を形成するようにしてもよい。
【0029】
また、上述の実施の形態においては、SiO2膜16の表面及び基板10側のポリパラキシリレン膜14の表面、即ち全面にポリパラキシリレン膜18を形成しているが、ポリパラキシリレン膜18はSiO2膜16の剥がれ防止の役割を有するものであるため、透明な材料からなる膜であればその材料は限定されず、更にSiO2膜16を覆う範囲に形成するようにしてもよい。
【0030】
また、上述の実施の形態における、ポリパラキシリレンには、ポリパラキシリレンの他、ポリモノクロロパラキシリレン、ポリジクロロパラキシリレン、ポリテトラクロロパラキシリレン、ポリフルオロパラキシリレン、ポリジメチルパラキシリレン、ポリジエチルパラキシリレン等を含む。
【0031】
【発明の効果】
また、この発明の放射線イメージセンサによれば、シンチレータを覆う第1の透明有機膜上に形成された透明無機膜を有するため、この透明無機膜によりシンチレータの耐湿性を著しく向上させることができる。また、透明無機膜上に第2の透明有機膜を形成する場合には、この第2の透明有機膜により透明無機膜の剥がれを防止することができる。
【0032】
また、この発明の放射線イメージセンサの製造方法によれば、第3工程により第1の透明有機膜上に透明無機膜を形成するため、シンチレータの耐湿性を著しく向上させた放射線イメージセンサを製造することができる。また、第4工程により透明無機膜上に第2の透明有機膜を形成する場合には、この第2の透明有機膜により透明無機膜の剥がれを防止することができる放射線イメージセンサを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の形態に用いられるシンチレータパネルの断面図である。
【図2】この発明の実施の形態にかかる放射線イメージセンサの断面図である。
【図3】図1のシンチレータパネルの製造工程を示す図である。
【図4】図1のシンチレータパネルの製造工程のつづきを示す図である。
【符号の説明】
2…シンチレータパネル、4…放射線イメージセンサ、10…基板、12…シンチレータ、14、18…ポリパラキシリレン膜、16…SiO2膜、20…撮像素子。
Claims (8)
- 放射線透過性の基板と、前記基板上に形成された柱状結晶からなるシンチレータと、前記シンチレータとともに前記基板全面を覆う水分不透過性の第1の透明有機膜と、前記シンチレータ側の前記第1の透明有機膜上に形成された水分不透過性の透明無機膜と、前記シンチレータに対向して設けられた撮像素子と、
を備えることを特徴とする放射線イメージセンサ。 - 前記透明無機膜上に形成されている水分不透過性の第2の透明有機膜を更に備えていることを特徴とする請求項1に記載の放射線イメージセンサ。
- 前記第2の透明有機膜が前記基板全面を覆って形成されていることを特徴とする請求項2に記載の放射線イメージセンサ。
- 前記透明無機膜は、SiO2,Al2O3,TiO2,In2O3,SnO2,MgO,SiN,MgF2,LiF,CaF2,AgCl及びSiNOからなる群の中の物質を含む材料とすることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の放射線イメージセンサ。
- 放射線透過性の基板上に柱状結晶からなるシンチレータを形成する第1の工程と、前記シンチレータとともに前記基板全面を覆う水分不透過性の第1の透明有機膜を形成する第2の工程と、前記シンチレータ側の前記第1の透明有機膜上に水分不透過性の透明無機膜を形成する第3の工程と、前記シンチレータに対向して撮像素子を配設する第4の工程と、
を備えることを特徴とする放射線イメージセンサの製造方法。 - 前記透明無機膜上に水分不透過性の第2の透明有機膜を形成する第5の工程をさらに備えていることを特徴とする請求項5に記載の放射線イメージセンサの製造方法。
- 前記第2の透明有機膜が前記基板全面を覆って形成されていることを特徴とする請求項6に記載の放射線イメージセンサの製造方法。
- 前記透明無機膜は、SiO2,Al2O3,TiO2,In2O3,SnO2,MgO,SiN,MgF2,LiF,CaF2,AgCl及びSiNOからなる群の中の物質を含む材料とすることを特徴とする請求項5〜7のいずれかに記載の放射線イメージセンサの製造方法。
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