JP2012139974A - 積層フィルム、インクジェットヘッド及び積層フィルムの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】曲げ弾性率が自由に選択・制御することができ、反りが発生せず、インクに対して信頼性が高い積層フィルムを提供する。
【解決手段】積層フィルム１００は、第１フィルム１１０及び第２フィルム１２０が第１接着剤膜１３０及び第２接着剤膜１４０を挟むように構成され、第１接着剤膜１３０は柔軟性のある、例えば、ウレタン（ヤング率：０．０７ＧＰａ）系接着剤が用いられ、第２接着剤膜１４０には、例えば、耐インク性の高いエポキシ（ヤング率：３．１ＧＰａ）系接着剤が用いられる。
【選択図】図１

Description

本発明は、積層フィルム、インクジェットヘッド及び積層フィルムの製造方法に関する。

インクを液滴にして吐出するインクジェット法を用いて描画する方法が広く活用されている。インクジェット法はキャビティーに形成された圧力室の圧力をもしくは体積を変えてノズルから液滴を吐出する方法である。キャビティーの一面を弾力性のある部材にて構成し、圧電素子や静電気によりキャビティーの一面を押圧する。これにより、圧力室の圧力もしくは体積を変動させている。

積層フィルムはインクジェットヘッドのインク吐出の圧力調整に用いられる。インクジェットヘッドの圧力室の圧力を適切な圧力間で変動させるためには、適切な曲げ弾性係数のフィルムが重要な要素となる。積層フィルムをインクジェットヘッドに使用するとき積層フィルムの微小な圧力変化に追従可能な柔軟性と長時間インクにさらされても接着剤が腐食せず剥離しない高信頼性とが求められる。

キャビティーの一面を構成する弾力性のある部材に積層フィルムが用いられている。そして、積層フィルムの例が特許文献１に開示されている。これによると、ポリイミドフィルムに熱硬化性接着剤を塗布し金属箔を貼り合わせている。このようにシートとシートを一種類の接着剤で接着された積層フィルムが知られていた。

特開２００６−３２１９８０号公報

積層フィルムの曲げ弾性係数は接着剤が固化した接着剤膜のヤング率の影響を受ける。従って、積層フィルムはフィルムの曲げ弾性係数と固化した接着剤膜のヤング率によって調整される。積層フィルムの柔軟性を１種類の接着剤を用いて製造するときには接着剤の影響をうけるので適切な積層フィルムの曲げ弾性係数を適切な値に調整するのが難しかった。そこで、曲げ弾性係数を調整しやすい構造の積層フィルムが求められていた。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例にかかる積層フィルムは、第１フィルムと、第２フィルムと、前記第１フィルムと前記第２フィルムとに挟まれた第１接着剤膜と、前記第１フィルムと前記第２フィルムとに挟まれた第２接着剤膜と、を有し、前記第２接着剤膜は前記第１接着剤膜とヤング率が異なる膜であり、前記第１接着剤膜と前記第２接着剤膜とが同一面上に配置されたことを特徴とする。

本適用例によれば、同一面に第１接着剤膜と第２接着剤膜とが配置されている。第１接着剤膜及び第２接着剤膜は接着剤を固化した膜を示す。第１接着剤膜と第２接着剤膜とは互いに異なる接着剤を材料とする膜である。そして、第１接着剤膜と第２接着剤膜とはヤング率が異なる膜となっている。従って、第１接着剤膜と第２接着剤膜との配置や各膜が占める面積の割合を変更することで、積層フィルムの曲げ弾性係数を調整できる。第１接着剤膜と第２接着剤膜との配置や各膜が占める面積の割合は容易に変更できる為、積層フィルムは曲げ弾性係数を容易に調整することができる。

［適用例２］上記適用例に記載の積層フィルムは、前記第１接着剤膜と前記第２接着剤膜とが反復パターンを構成することを特徴とする。

本適用例によれば、第１接着剤膜と第２接着剤膜の配置パターンが反復パターンとなっている。反復パターンにすることにより積層フィルムに挟まれた膜を第１接着剤膜のヤング率と第２接着剤膜のヤング率との間のヤング率となる膜にすることができる。従って、反復パターンにおける第１接着剤膜と第２接着剤膜との比率を細かく調整することにより細かくヤング率を調整することができる。

［適用例３］上記適用例に記載の積層フィルムは前記反復パターンが格子縞模様であることを特徴とする。

本適用例によればヤング率が高い場所と低い場所とが格子縞模様となる。従って、ヤング率が高い場所と低い場所とが配列する２方向において同じパターンに配置される。従って、積層フィルムの曲げ弾性係数を直交する２方向にて同じ値にすることができる。

［適用例４］上記適用例に記載の積層フィルムは、前記反復パターンが縞模様であることを特徴とする。

本適用例によれば、ヤング率の高い接着剤膜と低い接着剤膜とが縞模様に配置されている。第１接着剤膜と第２接着剤膜とが交互に配置された方向を第１方向とし第１方向と直交する方向を第２方向とする。第１方向ではヤング率の低い接着剤膜の場所で曲がりやすくなっている。一方、第２方向では第１方向に比べて曲がりにくくなっている。従って、積層フィルムの曲げ弾性係数に方向性を持たせることができる。

［適用例５］上記適用例に記載の積層フィルムは、第３フィルムをさらに有し、前記第２フィルムと前記第３フィルムとの間に第１接着剤膜と第２接着剤膜とを配置することを特徴とする。

本適用例によれば、第１フィルム、接着剤膜、第２フィルム、接着剤膜、第３フィルムがこの順に重ねて設置されている。複数の接着剤膜をパターン状に配置された接着剤膜とフィルムとを積層することにより、多層の積層フィルムとなる。従って、曲げ弾性係数を制御可能な３層以上の多層積層フィルムを形成することができる。

［適用例６］上記適用例に記載の積層フィルムでは、前記積層フィルムはインクと接触して用いられ、前記第２接着剤膜は前記インクに対して耐性を有し、前記第１接着剤膜は前記第２接着剤膜に比べて柔軟性を有することを特徴とする。

本適用例によれば、インクと接触する場所にはインクに腐食されない第２接着剤膜が配置されている。従って、インクに触れる環境でも信頼性が高い。また柔軟性の高い第１接着剤膜が位置する部分では柔軟に変形する。従って、場所毎に異なるヤング率が可能であり、インクに触れる環境においても信頼性が高い積層フィルムを提供することができる。

［適用例７］本適用例にかかる積層フィルムの製造方法は、第１フィルム上に固化後のヤング率が異なる複数種類の接着剤を同一平面上にパターニングする接着剤塗布工程と、
前記第１フィルムと第２フィルムとを前記複数種類の接着剤を介して接着する貼合せ工程と、を有することを特徴とする。

本適用例によれば、接着剤塗布工程にて第１フィルム上に複数の接着剤が配置され、貼合せ工程で接着されている。第１フィルム上に配置される接着剤は固化後のヤング率が異なる複数種類の接着剤である。従って、接着された積層フィルムの曲げ弾性係数を調整することができる。

［適用例８］上記適用例に記載の積層フィルムの製造方法は、前記接着剤塗布工程において、接着剤を液滴にして吐出しパターニングすることを特徴とする。

本適用例によれば、接着剤を液滴にして吐出している。接着剤の吐出量を微小にして微細なパターニングを行うことができる。

［適用例９］本適用例にかかるインクジェットヘッドは、液体を吐出するノズルを有するノズルプレートと、前記ノズルと連通する流路を備えたキャビティーと、を有するインクジェットヘッドであって、前記流路は、凹部が形成された前記キャビティーの一の面に上記適用例に記載の積層フィルムを接合することにより形成されることを特徴とする。

本適用例によれば、インクジェットヘッドはキャビティーを備え、キャビティーには流路が設置されている。流路には液体が流動し、流路と連通するノズルを通って吐出される。キャビティーの一面には積層フィルムが接合されている。積層フィルムは曲げ弾性係数が調整可能である為、精密にキャビティー内の圧力を制御することができる。また、積層フィルムはインクに触れる部分にインクに腐食しない接着剤膜を配置しており、インクに対して信頼性が高い。従って、キャビティー内の圧力調整を制御でき、信頼性の高い積層フィルムを備えたインクジェットヘッドを提供することができる。

実施形態１にかかわり、（ａ）は、積層フィルムの構成を示す模式平面図、（ｂ）は、積層フィルムの構成を示す模式断面図。 （ａ）は、積層フィルムの製造方法を示すフローチャート、（ｂ）及び（ｃ）は、積層フィルムの製造方法を説明するための模式図。 実施形態２にかかわり、（ａ）は、インクジェットヘッドを示す概略分解斜視図、（ｂ）は、インクジェットヘッドを示す模式断面図、（ｃ）は、積層フィルムの模式平面図。 実施形態３にかかわり、（ａ）は、接着剤塗布のパターンを示す模式平面図、（ｂ）〜（ｄ）は、ヤング率の分布図、（ｅ）は、接着剤塗布のパターンを示す模式平面図、（ｆ）は、ヤング率の分布図。 実施形態４にかかわる積層フィルムの構成を示す模式断面図。

以下、本発明を具体化した実施形態について、図面を参照して説明する。尚、以下の各図においては、各層や各部材を認識可能な程度の大きさにするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。
（実施形態１）
本実施形態では、積層フィルムの特徴的な構造とその製造方法との例について、図１及び図２に従って説明する。

図１（ａ）は、積層フィルムの構成を示す模式平面図である。図１（ｂ）は、積層フィルムの構成を示す模式断面図であり、図１（ａ）のＡ−Ａ’線に沿う模式断面図である。
まず、積層フィルム１００の概略構成について説明する。

積層フィルム１００は、第１フィルム１１０、第２フィルム１２０、第１接着剤膜１３０、第２接着剤膜１４０から構成されている。第１接着剤膜１３０及び第２接着剤膜１４０は第１フィルム１１０と第２フィルム１２０とに挟まれている。そして、第１接着剤膜１３０と第２接着剤膜１４０とは同一面上に配置されている。第１接着剤膜１３０は四角形に形成され、２方向にマトリックス状に配置されている。そして、第１接着剤膜１３０の間には第２接着剤膜１４０が配置されている。そして、第１接着剤膜１３０と第２接着剤膜１４０とで格子縞模様となっている。従って、第１接着剤膜１３０と第２接着剤膜１４０とは２方向に同じパターンが反復される。反復パターンとなっている。

第１フィルム１１０及び第２フィルム１２０は、弾性のあるフィルムであれば良く、特に限定されない。第１フィルム１１０及び第２フィルム１２０には例えば、ポリプロピレン、ポリエチレン、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）等の樹脂フィルムの他、銅、アルミ、ステンレス等の金属箔を用いることができる。第１フィルム１１０と第２フィルム１２０とはヤング率が異なれば良く、同材料でも良く、異なる材料でも良い。

第１接着剤膜１３０を形成する第１接着剤と第２接着剤膜１４０を形成する第２接着剤とは第１フィルム１１０と第２フィルム１２０とを接着可能な接着剤が用いられる。そして、第１接着剤膜１３０が第２接着剤膜１４０より柔軟性のある膜となるように第１接着剤と第２接着剤とが組み合わされる。さらに、第２接着剤膜１４０は耐薬品性のある膜を形成する接着剤が用いられる。第１接着剤及び第２接着剤は以上の条件を満たす接着であれば良く、特に限定されない。本実施形態では、例えば、第１接着剤にウレタン系接着剤、第２接着剤にエポキシ系接着剤を採用している。尚、第１接着剤膜１３０のヤング率は０．０７ＧＰａであり、第２接着剤膜１４０のヤング率は３．１ＧＰａである。ヤング率の値が小さい程歪み易くなる性質を示すので、第１接着剤膜１３０は第２接着剤膜１４０より柔軟性のある材質となっている。積層フィルム１００が腐食性のある環境下で使用されないときには、第２接着剤膜１４０は耐薬品性のある膜を形成する接着剤に限定されない。

次に、積層フィルム製造工程について説明する。
図２（ａ）は、積層フィルムの製造方法を示すフローチャートであり、図２（ｂ）及び図２（ｃ）は積層フィルムの製造方法を説明するための模式図である。図２（ａ）のフローチャートにおいて、ステップＳ１は接着剤塗布工程に相当し、第１フィルムに第１接着剤と第２接着剤とをパターニングして塗布する工程である。次にステップＳ２に移行する。ステップＳ２は貼合せ工程に相当し、第１フィルムと第２フィルムとを貼り合わせて接着剤を固化する工程である。以上の製造工程にて積層フィルムが完成する。

次に、図２（ｂ）〜図２（ｃ）を用いて、図２（ａ）に示したステップと対応させて、製造方法を詳細に説明する。図２（ｂ）はステップＳ１の接着剤塗布工程に対応する図である。図２（ｂ）に示すように、この工程では液体吐出装置１５０が使用される。液体吐出装置１５０は移動テーブル１６０とインクジェットヘッド２００とを備えている。移動テーブル１６０は直動機構を備え直交する２方向に移動可能なテーブルである。移動テーブル１６０は吸引チャックを備え、移動テーブル１６０上に載置されたフィルムやシートを吸着して固定することができる。

インクジェットヘッド２００は移動テーブル１６０と対向する場所に設置されている。インクジェットヘッド２００は第１リザーバータンク２１０と第２リザーバータンク２２０、ノズルプレート２３０、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）素子２４０を備えている。第１リザーバータンク２１０には第１接着剤２５０が充填され、第２リザーバータンク２２０には第２接着剤２６０が充填されている。リザーバータンクを増やすことでさらに多種類の接着剤を塗布することができる。

第１リザーバータンク２１０及び第２リザーバータンク２２０における一面にはＰＺＴ素子２４０が設置されている。第１リザーバータンク２１０及び第２リザーバータンク２２０においてＰＺＴ素子２４０と対向する面にはノズルプレート２３０が設置されている。ノズルプレート２３０にはノズル２３０ａが形成されている。ＰＺＴ素子２４０が振動するとき第１リザーバータンク２１０及び第２リザーバータンク２２０の体積が変化する。そして、変化する第１リザーバータンク２１０の体積に応じて第１リザーバータンク２１０と連通するノズル２３０ａからは第１接着剤２５０が液滴２５０ａとなって吐出される。同様に、変化する第２リザーバータンク２２０の体積に応じて第２リザーバータンク２２０と連通するノズル２３０ａからは第２接着剤２６０が液滴２６０ａとなって吐出される。

液滴２５０ａ及び液滴２６０ａは数ピコリットルという微少な量で吐出される。このインクジェットヘッド２００及び移動テーブル１６０は図示しない制御装置に接続されており、接着剤の吐出量や吐出パターンは容易に制御可能となっている。これにより、精密なパターニングを行うことができる。

操作者は第１フィルム１１０を移動テーブル１６０上に設置する。次に、吸引チャックを作動させて第１フィルム１１０を移動テーブル１６０に固定する。次に、液体吐出装置１５０はインクジェットヘッド２００と移動テーブル１６０とを相対移動させながら、第１フィルム１１０上に液滴２５０ａ及び液滴２６０ａを吐出する。このとき、液体吐出装置１５０は第１接着剤膜１３０を形成する予定の場所に第１接着剤２５０を吐出し、第２接着剤膜１４０を形成する予定の場所に第２接着剤２６０を吐出する。その結果、第１フィルム１１０上には第１接着剤２５０と第２接着剤２６０とによる格子縞模様が形成される。

図２（ｃ）はステップＳ２の貼合せ工程に対応する図である。図２（ｃ）に示すように、この工程では、貼り付け装置２７０が使用される。貼り付け装置２７０は押圧部２８０と加熱部２９０とを備えている。押圧部２８０は下台部２８０ａと上台部２８０ｂとを有し、上台部２８０ｂは上下に移動する直動機構を備えている。そして、下台部２８０ａと上台部２８０ｂとの間にある物を挟んで押圧することが可能になっている。

加熱部２９０は内部にヒーターを備え、下台部２８０ａ及び上台部２８０ｂを加熱することができる。従って、貼り付け装置２７０は下台部２８０ａと上台部２８０ｂとで挟んだものを押圧しながら加熱することが可能になっている。

操作者は下台部２８０ａ上に第１接着剤２５０及び第２接着剤２６０が塗布された第１フィルム１１０を載置する。次に、操作者は第１フィルム１１０と重ねて第２フィルム１２０を載置する。このとき、第１フィルム１１０及び第２フィルム１２０で第１接着剤２５０及び第２接着剤２６０を挟むようにする。

次に、貼り付け装置２７０は第１フィルム１１０と第２フィルム１２０を押圧部２８０で挟んで加圧する。さらに、加熱部２９０が下台部２８０ａ及び上台部２８０ｂを介して第１接着剤２５０及び第２接着剤２６０を加熱する。これにより第１接着剤２５０が固化して第１接着剤膜１３０となり、第２接着剤２６０が固化して第２接着剤膜１４０となる。そして、第１フィルム１１０と第２フィルム１２０とが接着される。

加圧する圧力と加熱温度は第１フィルム１１０と第２フィルム１２０とが接着される条件であれば良く、特に限定されない。本実施形態では、例えば、加圧する圧力を０．１ＭＰａ〜５０ＭＰａにし、加熱部２９０が加熱する温度は３０℃〜２００℃に設定している。操作者が貼り付け装置２７０から接着された積層フィルム１００を取り出して積層フィルム１００が完成する。以上で積層フィルム１００の製造工程を終了する。

以上述べたように、本実施形態にかかる積層フィルム１００によれば、以下の効果を得ることができる。
（１）本実施形態では２種類のヤング率の異なる第１接着剤膜１３０及び第２接着剤膜１４０を形成した。エポキシ系接着剤を用いた第２接着剤膜１４０はヤング率が高く、貼付けにより残留応力が発生する。しかし、ウレタン系接着剤を用いた第１接着剤膜１３０を第２接着剤膜１４０と隣接する場所に形成することにより第１フィルム１１０が第２フィルム１２０の内部応力を緩和している。従って、積層フィルム１００は反りの発生を抑えることができる。

（２）本実施形態では２種類のヤング率の異なる第１接着剤膜１３０及び第２接着剤膜１４０を形成した。各接着剤膜の面積の比率を変更することにより積層フィルム１００の弾性係数を自由に制御できる。例えばウレタン系接着剤とエポキシ系接着剤とを使用して接着剤膜を形成した場合、接着剤膜のヤング率は０．０７ＧＰａ〜３．１ＧＰａの範囲で制御可能である。従って、積層フィルムのヤング率を容易に選択可能にすることができる。

（３）本実施形態では、第１接着剤膜１３０と第２接着剤膜１４０の配置パターンが反復パターンとなっている。反復パターンにすることにより積層フィルムに挟まれた膜を第１接着剤膜のヤング率と第２接着剤膜のヤング率との間のヤング率となる膜にすることができる。そして、反復パターンにおける第１接着剤膜と第２接着剤膜との比率を細かく調整することにより細かくヤング率を調整することができる。

（実施形態２）
次に、特徴的な積層フィルムを用いたインクジェットヘッドの一実施形態について図３を用いて説明する。本実施形態が実施形態１と異なるところは、積層フィルムを応用したインクジェットヘッドを説明する点にある。尚、実施形態１と同じ点については説明を省略する。

図３（ａ）は、インクジェットヘッドを示す概略分解斜視図である。図３（ｂ）はインクジェットヘッドを示す模式断面図である。すなわち、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すようにインクジェットヘッド３００は、ノズルプレート３２０、キャビティー３１０、積層フィルム３５０、ピエゾ素子３３０がこの順に重ねて配置されている。

キャビティー３１０には第１流路３１０ａ、第２流路３１０ｂ、圧力室３１０ｃが形成されている。圧力室３１０ｃは略直方体の形状をした空洞であり、インクジェットヘッド３００の長手方向に配列して配置されている。そして、一対の第１流路３１０ａが圧力室３１０ｃを挟んでインクジェットヘッド３００の長手方向に延在して配置されている。第１流路３１０ａと圧力室３１０ｃとの間には第２流路３１０ｂが配置されている。

ノズルプレート３２０にはノズル３２０ａが形成され、１つの圧力室３１０ｃに１つのノズル３２０ａが連通するように配置されている。第１流路３１０ａ、第２流路３１０ｂ、圧力室３１０ｃを覆うように積層フィルム３５０が設置されている。積層フィルム３５０には一対の供給孔３５０ａが形成され、供給孔３５０ａは第１流路３１０ａと連通する場所に位置している。そして、積層フィルム３５０のキャビティー３１０と反対側の面にはピエゾ素子３３０が設置されている。ピエゾ素子３３０は圧力室３１０ｃと対向する場所に位置している。

キャビティー内にはインク３４０が充填されている。インク３４０は供給孔３５０ａから供給され第１流路３１０ａ及び第２流路３１０ｂを通って圧力室３１０ｃに供給される。ピエゾ素子３３０が駆動信号を入力すると、ピエゾ素子３３０が積層フィルム３５０を振動させる。そして、圧力室３１０ｃの体積が変動し、変動する体積の差に相当する量のインク３４０が液滴となってノズル３２０ａから吐出される。

図３（ｃ）は積層フィルムの模式平面図である。積層フィルム３５０は第１接着剤膜１３０と第２接着剤膜１４０とが第１フィルム１１０と第２フィルム１２０とに挟まれて形成されている。そして、第１接着剤膜１３０と第２接着剤膜１４０とが格子縞模様となっている。第１接着剤膜１３０は２列の配列となっているが列数は特に限定されない。

積層フィルム３５０の供給孔３５０ａの周囲には耐腐食性の高いエポキシ系接着剤から形成した第２接着剤膜１４０が配置されている。また、第２接着剤膜１４０は積層フィルム３５０の外周の部分にも配置されている。従って、積層フィルム３５０をインク中で使用しても、積層フィルム３５０が剥がれることがない。積層フィルム３５０の中央部には柔軟なウレタン系接着剤から形成した第１接着剤膜１３０が配置されている。従って、吐出圧力変化に対して柔軟に積層フィルム３５０が変形することにより、圧力室３１０ｃ内のインク３４０は圧力調整される。その結果、積層フィルム３５０は高耐薬品性と高柔軟性を同時に満たす積層フィルムとなっている。

以上述べたように、本実施形態にかかるインクジェットヘッド３００によれば、以下の効果を得ることができる。
（１）本実施形態では、インク３４０と接触する場所にはインク３４０に腐食されない第２接着剤膜１４０が配置されている。従って、積層フィルム３５０はインク３４０に触れる環境でも信頼性が高い。また、柔軟性の高い第１接着剤膜１３０が位置する部分では積層フィルム３５０は柔軟に変形する。従って、キャビティー内の圧力調整を制御でき、信頼性の高い積層フィルムを備えたインクジェットヘッドを提供することができる。

（実施形態３）
次に、特徴的な積層フィルムの一実施形態について図４を用いて説明する。本実施形態が実施形態１と異なるところは、第１接着剤膜と第２接着剤膜とが形成する模様の形状が異なる点にある。尚、実施形態１と同じ点については説明を省略する。

図４（ａ）は、接着剤塗布のパターンを示す模式平面図である。すなわち、図４（ａ）に示すように、積層フィルム３８０は第１接着剤膜１３０と第２接着剤膜１４０とが縞模様の反復パターンとなっている。従って、ヤング率の高い第２接着剤膜１４０と低い第１接着剤膜１３０とが縞模様に配置されている。第１接着剤膜１３０と第２接着剤膜１４０とが交互に配置された方向を第１方向３８０ａとし第１方向と直交する方向を第２方向３８０ｂとする。

図４（ｂ）〜（ｄ）は、ヤング率の分布図である。図４（ｂ）は、図４（ａ）のａ−ａ’線に沿った場所のヤング率の分布図である。図４（ｃ）は、図４（ａ）のｂ−ｂ’線に沿った場所のヤング率の分布図である。そして、図４（ｄ）は、図４（ａ）のｃ−ｃ’線に沿った場所のヤング率の分布図である。図４（ｂ）〜図４（ｄ）において、縦軸はヤング率を示し、図中上側が下側より高い値となっている。横軸は位置を示している。図４（ｂ）に示すように、ヤング率推移線３９０はヤング率の高い場所と低い場所とが交互に分布している。従って、第１方向３８０ａではヤング率の低い第１接着剤膜１３０の場所で曲がりやすくなっている。

図４（ｃ）に示すように、ヤング率推移線４００は第２接着剤膜１４０上ではヤング率が高い状態を維持して推移している。図４（ｄ）に示すように、ヤング率推移線４１０は第１接着剤膜１３０上ではヤング率が低い状態を維持して推移している。従って、第２方向３８０ｂでは積層フィルム３８０のヤング率は第１接着剤膜１３０の占める面積と第２接着剤膜１４０の占める面積の比率によって設定される。従って、積層フィルム３８０の曲げ弾性係数は第１方向３８０ａと第２方向３８０ｂとで異なるヤング率にすることができる。その結果、積層フィルム３８０はヤング率に方向性を持たせることができる。

図４（ｅ）は、接着剤塗布のパターンを示す模式平面図である。すなわち、図４（ｅ）に示すように、積層フィルム４２０は第１接着剤膜１３０と第２接着剤膜１４０とが同心円状の反復パターンとなっている。従って、ヤング率の高い第２接着剤膜１４０と低い第１接着剤膜１３０とが輪模様に配置されている。そして、外周に近い場所ではヤング率の高い第２接着剤膜１４０が中心に近い場所より多く配置され、中心に近い場所ではヤング率の低い第１接着剤膜１３０が外周より多く配置されている。

図４（ｆ）は、図４（ｅ）のｄ−ｄ’線に沿った場所のヤング率の分布図である。図４（ｆ）において、縦軸はヤング率を示し、図中上側が下側より高い値となっている。横軸は位置を示している。図４（ｆ）に示すように、ヤング率推移線４３０はヤング率の高い場所と低い場所とが交互に分布している。従って、積層フィルム４２０はヤング率の低い第１接着剤膜１３０の場所で曲がりやすくなっている。そして、積層フィルム４２０の中心に近い場所ではヤング率の低い場所が多く、外周に近い場所ではヤング率の高い場所が多くなっている。従って、積層フィルム４２０の中心に近い場所で柔軟性を備えたフィルムとなっている。

以上述べたように、本実施形態にかかるインクジェットヘッド３００によれば、以下の効果を得ることができる。
（１）本実施形態の積層フィルム３８０では、第２方向３８０ｂは第２接着剤膜１４０によって曲がり難くなっている。一方、第１方向３８０ａでは第１接着剤膜１３０が柔軟に変形し、容易に曲げることができる。従って、積層フィルムの変形に方向性を付与することができる。

（２）本実施形態の積層フィルム４２０は外周に近い場所ではヤング率が高くて変形し難い。一方、中心に近い場所ではヤング率の低い第１接着剤膜１３０を多く配置してある為、外周に近い場所より容易に変形する。第１接着剤膜１３０と第２接着剤膜１４０とを配置する面積の割合を中心に近い場所と外周に近い場所とで変化させることで、外周に近い場所から中心に近い場所にかけて滑らかにヤング率を変化させている。従って、積層フィルム４２０は外周より中心が変化し易く外力や圧力変化に対して滑らかに変形させることができる。

（実施形態４）
次に、特徴的な積層フィルムの一実施形態について図５を用いて説明する。本実施形態が実施形態１と異なるところは、第１接着剤膜と第２接着剤膜とが形成する膜が２段となる点にある。尚、実施形態１と同じ点については説明を省略する。

図５（ａ）は、積層フィルムの構成を示す模式断面図である。すなわち、図５（ａ）に示すように、積層フィルム４４０は第１フィルム１１０を備え、第１フィルム１１０上に第１接着剤膜１３０と第２接着剤膜１４０とが配置されている。そして、第１フィルム１１０上に第１接着剤膜１３０と第２接着剤膜１４０とに重ねて第２フィルム１２０が設置されている。さらに、第２フィルム１２０上には第１接着剤膜１３０と第２接着剤膜１４０とが配置されている。そして、第２フィルム１２０上に第１接着剤膜１３０と第２接着剤膜１４０とに重ねて第３フィルム４５０が設置されている。

第１フィルム１１０上において第１接着剤膜１３０と第２接着剤膜１４０とが形成するパターンは第２フィルム１２０上において第１接着剤膜１３０と第２接着剤膜１４０とが形成するパターンと同じパターンとなっている。

図５（ｂ）は、積層フィルムの構成を示す模式断面図である。すなわち、図５（ｂ）に示すように、積層フィルム４６０は積層フィルム４４０と同様な構造となっている。ただし、第１フィルム１１０上において第１接着剤膜１３０と第２接着剤膜１４０とが形成するパターンは第２フィルム１２０上において第１接着剤膜１３０と第２接着剤膜１４０とが形成するパターンと異なるパターンとなっている。第１フィルム１１０と第２フィルム１２０とに挟まれた層を第１層４６０ａとし、第２フィルム１２０と第３フィルム４５０とに挟まれた層を第２層４６０ｂとする。このとき、積層フィルム４６０のヤング率の分布は第１層４６０ａによって形成されるヤング率の分布と第２層４６０ｂによって形成されるヤング率の分布とを合わせた分布に影響される。従って、積層フィルム４６０におけるヤング率の分布は第１層４６０ａのパターンと第２層４６０ｂのパターンの各パターンよりさらに細かい分布にすることができる。

以上述べたように、本実施形態にかかるインクジェットヘッド３００によれば、以下の効果を得ることができる。
（１）本実施形態では、第１フィルム１１０、接着剤膜、第２フィルム１２０、接着剤膜、第３フィルム４５０がこの順に重ねて設置されている。複数の接着剤をパターン状に配置された接着剤とフィルムとを積層することにより、多層の積層フィルム４４０となる。従って、曲げ弾性係数を制御可能な３層以上の多層積層フィルムを形成することができる。

（２）本実施形態では、積層フィルム４６０の第１層４６０ａと第２層４６０ｂとで第１接着剤膜１３０と第２接着剤膜１４０とがなすパターンを異なるパターンにしている。従って、積層フィルム４６０におけるヤング率の分布は第１層４６０ａのパターンと第２層４６０ｂのパターンの各パターンよりさらに細かい分布にすることができる。

尚、本実施形態は上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変更や改良を加えることも可能である。変形例を以下に述べる。
（変形例１）
前記実施形態１の積層フィルム１００では、第１接着剤膜１３０と第２接着剤膜１４０とを格子縞模様とした。また、前記実施形態３の積層フィルム３８０では、第１接着剤膜１３０と第２接着剤膜１４０とを縞模様とした。前記実施形態３の積層フィルム４２０では、第１接着剤膜１３０と第２接着剤膜１４０とを同心円状の模様とした。第１接着剤膜１３０と第２接着剤膜１４０とを配置する模様のパターンはこれに限らない。円弧や波状の帯が配列した模様や、鋸歯状の帯が配列した模様や等各種の模様を用いることができる。そして、所望の弾性係数の分布を有する積層フィルムを形成することができる。

（変形例２）
前記実施形態１の積層フィルム１００や前記実施形態３の積層フィルム３８０では、等間隔に第１接着剤膜１３０を配置したが、積層フィルム４２０のように第１接着剤膜１３０や第２接着剤膜１４０の間隔を変えても良い。積層フィルムの弾性係数分布を徐々に変化させることができる。

（変形例３）
前記実施形態１の積層フィルム１００では第１接着剤膜１３０と第２接着剤膜１４０とが反復パターンを形成したが、反復パターンでなくとも良い。所望のヤング率の分布となるように第１接着剤膜１３０と第２接着剤膜１４０とのパターンを形成しても良い。積層フィルムの弾性係数分布の自由度を高くすることができる。

（変形例４）
前記実施形態１の積層フィルム１００では第１接着剤２５０にウレタン系接着剤、第２接着剤２６０にエポキシ系接着剤を採用したが、この接着剤の組合せに限らない。例えば、第１接着剤２５０にはウレタン系、シリコーンゴム系、ポリアミド系の接着剤のいずれかを用いて、第２接着剤２６０にはエポキシ系、アクリル系、シリコーン系の接着剤のいずれかを用いる組合せを採用しても良い。接着剤のヤング率、塗布のしやすさ、接着力等の特性を考慮して選択してもよい。

（変形例５）
前記実施形態１の積層フィルム１００では第１フィルム１１０と第２フィルム１２０との間に２種類の接着剤膜を配置した。接着剤膜の種類数は３種類以上でも良い。さらに、ヤング率の調整をし易くすることができる。

（変形例６）
前記実施形態４の積層フィルム４６０は接着剤膜の層が２層であったが、層の数は３層以上でも良い。積層フィルムの弾性係数の要望に合わせて設定することができる。

（変形例７）
前記実施形態２の積層フィルム３５０は第１接着剤膜１３０と第２接着剤膜１４０とが格子模様であったが、これに限らない。前記実施形態３の積層フィルム３８０のように、第１接着剤膜１３０と第２接着剤膜１４０とを縞模様としてもよい。前記実施形態３の積層フィルム４２０では、第１接着剤膜１３０と第２接着剤膜１４０とを同心円状の模様としても良い。さらに、円弧や波状の帯が配列した模様や、鋸歯状の帯が配列した模様や等各種の模様を用いることができる。そして、所望の弾性係数の分布を有する積層フィルムを形成することができる。

（変形例８）
前記実施形態２の積層フィルム３５０は接着剤膜の層が１層であったが、前記実施形態４の積層フィルム４６０のように接着剤膜の層が２層であっても良い。さらに、層の数は３層以上でも良い。積層フィルムの弾性係数の要望に合わせて設定することができる。

１００，３５０，３８０，４２０，４４０，４６０…積層フィルム、１１０…第１フィルム、１２０…第２フィルム、１３０…第１接着剤膜、１４０…第２接着剤膜、２５０…第１接着剤、２６０…第２接着剤、３００…インクジェットヘッド、３１０…キャビティー、３２０…ノズルプレート、３２０ａ…ノズル、３４０…インク。

Claims (9)

1. 第１フィルムと、第２フィルムと、
   前記第１フィルムと前記第２フィルムとに挟まれた第１接着剤膜と、
   前記第１フィルムと前記第２フィルムとに挟まれた第２接着剤膜と、を有し、
   前記第２接着剤膜は前記第１接着剤膜とヤング率が異なる膜であり、
   前記第１接着剤膜と前記第２接着剤膜とが同一面上に配置されたことを特徴とする積層フィルム。
2. 請求項１に記載の積層フィルムであって、
   前記第１接着剤膜と前記第２接着剤膜とが反復パターンを構成することを特徴とする積層フィルム。
3. 請求項２に記載の積層フィルムであって、
   前記反復パターンが格子縞模様であることを特徴とする積層フィルム。
4. 請求項２に記載の積層フィルムであって、
   前記反復パターンが縞模様であることを特徴とする積層フィルム。
5. 請求項３に記載の積層フィルムであって、
   第３フィルムをさらに有し、前記第２フィルムと前記第３フィルムとの間に第１接着剤膜と第２接着剤膜とを配置することを特徴とする積層フィルム。
6. 請求項１に記載の積層フィルムであって、
   前記積層フィルムはインクと接触して用いられ、
   前記第２接着剤膜は前記インクに対して耐性を有し、
   前記第１接着剤膜は前記第２接着剤膜に比べて柔軟性を有することを特徴とする積層フィルム。
7. 第１フィルム上に固化後のヤング率が異なる複数種類の接着剤を同一平面上にパターニングする接着剤塗布工程と、
   前記第１フィルムと第２フィルムとを前記複数種類の接着剤を介して接着する貼合せ工程と、を有することを特徴とする積層フィルムの製造方法。
8. 請求項７に記載の積層フィルムの製造方法であって、
   前記接着剤塗布工程において、接着剤を液滴にして吐出しパターニングすることを特徴とする積層フィルムの製造方法。
9. 液体を吐出するノズルを有するノズルプレートと、
   前記ノズルと連通する流路を備えたキャビティーと、を有するインクジェットヘッドであって、
   前記流路は、凹部が形成された前記キャビティーの一の面に請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の積層フィルムを接合することにより形成されることを特徴とするインクジェットヘッド。

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