JP2012132715A - 放射線遮蔽板、放射線撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】開口部Apの側壁は、遮蔽板75を平面視した場合において開口部Apが四角形状を有するように当該四角形の各辺に対応する4つの面を有している。しかも、開口部Apの側壁が有する面のうち少なくとも一つの面Sal、Sbl、Sbr、Scr等は、遮蔽板75の一方主面75aに対して斜めに傾いている。その結果、開口部Apの側壁で反射されて、遮蔽板75の他方主面75b側に設けられた放射線検出手段に向かう放射線の発生を抑えることが可能となる。
【選択図】図6
Description
駆動テーブル3が配置されている。このXY駆動テーブル3は、その表面に基板Wを支持しつつ、XY駆動機構31からの駆動力を受けてXY面内を移動可能に構成されている。したがって、XY駆動テーブル3は、ハウジング11のY軸方向正側(図1右側)の搬入口111まで移動して基板Wを受け取ったり、部品検査のためにハウジング11の略中央に基板Wを位置決めしたり(図1に示す状態)、ハウジング11のY軸方向負側(図1左側)の搬出口112まで検査済み基板Wを運んだりといった動作を行なうことができる。
Rx+90°+Rc+Rx=180°
が成立し、これを変形すると、
Rc=90°−2×Rx …式1
となる。ここで、角度Rcは、X線LIの入射角であり、角度Rxは、一方向傾斜面SとZ軸とが成す角度である。ここで、角度Rcは0°よりは大きい角度であるので、これを式1に適用すると、次式、
Rc=90°−2×Rx>0° …式2
が得られ、さらにこれを変形して、
45°>Rx …式3
となる。つまり、この式3が、被反射X線が他方主面75b側にぎりぎり向かわない条件での角度Rx(限界角)となる。逆に言うと、角度Rxを45°以上とすることで、一方向傾斜面Sに入射するX線を、一方主面75a側に確実に反射することが可能となる。すなわち、上記実施形態のように、一方向傾斜面Sと遮蔽板75の一方主面75aとが成す角度(=90°+Rx)を135度以上で且つ180度未満であるように構成することで、一方向傾斜面Sに入射するX線を、一方主面75a側に確実に反射することが可能となる。
7…X線撮像装置
71…X線放射部
711…X線源
73…X線検出部
75…X線遮蔽板
75a…一方主面
75b…他方主面
77…XY駆動機構
V1…第1のベクトル
V2…第2のベクトル
Claims (10)
- 一方主面から当該一方主面と反対の他方主面へ貫通する開口部が設けられるとともに、前記開口部以外の部分で放射線を遮蔽する遮蔽板と、
前記遮蔽板の前記一方主面側に設けられて、放射線を発生する放射線源と、
前記遮蔽板の前記他方主面側に設けられて、前記放射線源から射出された後に前記開口部を通過して被検体を透過した放射線を検出する放射線検出手段と
を備え、
前記開口部の側壁は、前記遮蔽板を平面視した場合において前記開口部が多角形の形状を有するように当該多角形の各辺に対応する複数の面を有し、
前記開口部の側壁が有する前記複数の面のうち少なくとも一つは、前記遮蔽板の前記一方主面に対して斜めに傾いていることを特徴とする放射線撮像装置。 - 前記遮蔽板の前記一方主面に対して斜めに傾いている面は、前記遮蔽板の前記一方主面側を向いている請求項1に記載の放射線撮像装置。
- 前記遮蔽板の前記一方主面に対して斜めに傾いている面と前記遮蔽板の前記一方主面とが成す角度は135度以上で且つ180度未満である請求項2に記載の放射線撮像装置。
- 前記遮蔽板を平面視した場合において前記開口部がみせる前記多角形を、前記遮蔽板の前記一方主面を含む仮想平面に正射影した図形の幾何重心を前記開口部の中心と定義したとき、前記開口部の中心と前記放射線源が前記遮蔽板の前記一方主面の法線方向に対して平行に並ぶ請求項2または3に記載の放射線撮像装置であって、
前記開口部の側壁が有する前記複数の面のそれぞれが、前記遮蔽板の前記一方主面に対して斜めに傾いて、前記遮蔽板の前記一方主面側を向いている放射線撮像装置。 - 前記遮蔽板を平面視した場合において前記開口部がみせる前記多角形を、前記遮蔽板の前記一方主面を含む仮想平面に正射影した図形の幾何重心を前記開口部の中心と定義したとき、前記開口部の中心と前記放射線源が前記遮蔽板の前記一方主面の法線方向に対して傾いて並ぶ請求項2または3に記載の放射線撮像装置であって、
前記放射線源から前記開口部の中心に向かうベクトルを第1のベクトルと定義し、前記遮蔽板の前記一方主面を含む仮想平面に前記第1のベクトルを正射影したベクトルを第2のベクトルと定義したとき、
前記開口部の側壁が有する前記複数の面のうち前記第2のベクトルに平行な面が、前記遮蔽板の前記一方主面に対して斜めに傾いて、前記遮蔽板の前記一方主面側を向いている放射線撮像装置。 - 前記開口部の側壁が有する前記複数の面のうち、前記第2のベクトルに対して平行でなくて且つ前記第2のベクトルの方向の逆側を向く面が、前記遮蔽板の前記一方主面に対して斜めに傾いて、前記遮蔽板の前記他方主面側を向いている請求項5に記載の放射線撮像装置。
- 前記遮蔽板を平面視した場合において前記開口部がみせる前記多角形を、前記遮蔽板の前記一方主面を含む仮想平面に正射影した図形の幾何重心を前記開口部の中心と定義したとき、複数の前記開口部が前記遮蔽板に設けられるとともに、前記複数の開口部のうち一の開口部の中心と前記放射線源が前記遮蔽板の前記一方主面の法線方向に対して平行に並ぶ一方、前記複数の開口部のうち前記一の開口部とは別の他の開口部の中心と前記放射線源が前記遮蔽板の前記一方主面の法線方向に対して傾いて並ぶ請求項2または3に記載の放射線撮像装置であって、
前記一の開口部の側壁が有する前記複数の面のそれぞれが、前記遮蔽板の前記一方主面に対して斜めに傾いて、前記遮蔽板の前記一方主面側を向いている一方、
前記放射線源から前記他の開口部の中心に向かうベクトルを第1のベクトルと定義し、前記遮蔽板の前記一方主面を含む仮想平面に前記第1のベクトルを正射影したベクトルを第2のベクトルと定義したとき、
前記他の開口部の側壁が有する前記複数の面のうち前記第2のベクトルに平行な面が、前記遮蔽板の前記一方主面に対して斜めに傾いて、前記遮蔽板の前記一方主面側を向いている放射線撮像装置。 - 前記遮蔽板の前記一方主面に対して斜めに傾いている面は、前記遮蔽板の前記他方主面側を向いている請求項1に記載の放射線撮像装置。
- 前記遮蔽板を平面視した場合において前記開口部がみせる前記多角形を、前記遮蔽板の前記一方主面を含む仮想平面に正射影した図形の幾何重心を前記開口部の中心と定義したとき、前記開口部の中心と前記放射線源が前記遮蔽板の前記一方主面の法線方向に対して傾いて並ぶ請求項8に記載の放射線撮像装置であって、
前記放射線源から前記開口部の中心に向かうベクトルを第1のベクトルと定義し、前記遮蔽板の前記一方主面を含む仮想平面に前記第1のベクトルを正射影したベクトルを第2のベクトルと定義したとき、
前記開口部の側壁が有する前記複数の面のうち、前記第2のベクトルに対して平行でなくて且つ前記第2のベクトルの方向の逆側を向く面が、前記遮蔽板の前記一方主面に対して斜めに傾いて、前記遮蔽板の前記他方主面側を向いている放射線撮像装置。 - 一方主面から当該一方主面と反対の他方主面へ貫通する開口部が設けられるとともに、前記開口部以外の部分で放射線を遮蔽する板状部材を備え、
前記開口部の側壁は、前記板状部材を平面視した場合において前記開口部が多角形の形状を有するように当該多角形の各辺に対応する複数の面を有し、
前記開口部の側壁が有する前記複数の面のうち少なくとも一つは、前記板状部材の前記一方主面に対して斜めに傾いていることを特徴とする放射線遮蔽板。
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- 2010-12-20 JP JP2010283308A patent/JP2012132715A/ja active Pending
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