JP2012124379A - パッケージの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】狭ピッチなリードを有するパッケージを高い歩留まりで製造するための技術を提供することを目的とする。
【解決手段】半導体チップを搭載するためのパッケージの製造方法が提供される。この方法は、支持部、支持部から延びた第1リード、支持部から第1リードに隣接する位置へ延びた第2リード、及び第1リードの先端部と第2リードの先端部とを連結する連結部を含むリードフレームを準備する準備工程と、連結部及び支持部を露出するとともに、第1リードの一部及び第2リードの一部を覆うように、半導体チップを搭載するための樹脂部を形成する形成工程と、形成工程の後に、連結部を除去して第1リードの先端部を第2リードの先端部から分離する分離工程と、形成工程の後に、第1リード及び第2リードから支持部を切り離す切断工程とを有する。第1リードの先端部と第2リードの先端部とはリードフレームの厚さ方向にオフセットを有して配置されている。
【選択図】図1
【解決手段】半導体チップを搭載するためのパッケージの製造方法が提供される。この方法は、支持部、支持部から延びた第1リード、支持部から第1リードに隣接する位置へ延びた第2リード、及び第1リードの先端部と第2リードの先端部とを連結する連結部を含むリードフレームを準備する準備工程と、連結部及び支持部を露出するとともに、第1リードの一部及び第2リードの一部を覆うように、半導体チップを搭載するための樹脂部を形成する形成工程と、形成工程の後に、連結部を除去して第1リードの先端部を第2リードの先端部から分離する分離工程と、形成工程の後に、第1リード及び第2リードから支持部を切り離す切断工程とを有する。第1リードの先端部と第2リードの先端部とはリードフレームの厚さ方向にオフセットを有して配置されている。
【選択図】図1
Description
本発明は半導体チップを搭載するためのパッケージの製造方法に関する。
近年、デジタルカメラや携帯電話等の電化製品の小型化に伴い、これらに搭載される半導体装置も小型化している。また、半導体装置は高機能化に伴って、リードと呼ばれる外部接続用の電極の多ピン化が進んでいる。特許文献1は、半導体装置の小型化と電極の多ピン化とを同時に実現するために、絶縁シートを介して2枚のリードフレームを接着することにより、インナーリードを2層構造としたパッケージを提案する。しかし、2枚のリードフレームを使用するため高コストであり、且つリードフレームを精度よく接着することが難しい。これに対して、特許文献2、3は、外枠から延びたリードの先端が上下にずれたリードフレームを提案する。特許文献2では金属板を機械的に変形させることによりこのリードフレームを形成し、特許文献3では金属板を両面からエッチングすることによりこのリードフレームを形成する。このリードフレームに対してパッケージ本体301となる樹脂部を形成することによって、図3に示すような狭ピッチなリードを有するパッケージ300が製造される。
しかしながら、特許文献2、3で提案されるリードフレームに対して樹脂成形を行う場合、リードの先端が固定されていないため、リードフレームの搬送中や樹脂成形の間にリードの先端同士が接触し、その状態で樹脂が硬化してしまう場合がある。その結果、リード同士がショートしてしまい、パッケージ製造の歩留まりが低下する。そこで、本発明の一側面は、狭ピッチなリードを有するパッケージを高い歩留まりで製造するための技術を提供することを目的とする。
上記課題に鑑みて、本発明の実施形態に係る半導体チップを搭載するためのパッケージの製造方法は、支持部、前記支持部から延びた第1リード、前記支持部から前記第1リードに隣接する位置へ延びた第2リード、及び前記第1リードの先端部と前記第2リードの先端部とを連結する連結部を含むリードフレームを準備する準備工程と、前記連結部及び前記支持部を露出するとともに、前記第1リードの一部及び前記第2リードの一部を覆うように、前記半導体チップを搭載するための樹脂部を形成する形成工程と、前記形成工程の後に、前記連結部を除去して前記第1リードの先端部を前記第2リードの先端部から分離する分離工程と、前記形成工程の後に、前記第1リード及び前記第2リードから前記支持部を切り離す切断工程とを有し、前記第1リードの先端部と前記第2リードの先端部とは前記リードフレームの厚さ方向にオフセットを有して配置されていることを特徴とする。
上記手段により、狭ピッチなリードを有するパッケージを高い歩留まりで製造するための技術が提供される。
添付の図面を参照しつつ、本発明の一実施形態に係る半導体チップを搭載するためのパッケージの製造方法を説明する。本実施形態に係る製造方法によれば、例えば図3に斜視図として示されるパッケージ300が製造される。樹脂からなるパッケージ本体301の内側においてインナーリード302が露出し、パッケージ本体301の外側へアウターリード303が延びている。インナーリード302とアウターリード303とはパッケージ本体301の内部で接続されており、リードを構成する。互いに隣接するインナーリード302は厚さ方向にずれており、それによりインナーリード302のピッチ幅は0となる。すなわち、隣接するインナーリード302の水平方向の間隔は0となる。それぞれのリードはパッケージ本体301によって互いに絶縁されている。
以下、パッケージ300の製造方法の一例を説明する。本実施形態では図3に示されるように形状が四角形であり、その各辺に複数のリードを有するパッケージ300の製造方法を例として説明するが、本発明はこれに限定されない。本発明が適用されるパッケージは例えば一部の辺にのみリードを有してもよいし、四角形以外の形状であってもよい。
まず、図1を用いて1つの実施形態における第1工程(準備工程)を説明する。図1(a)は本工程において準備されるリードフレーム100の平面図である。一般に、一枚のリードフレームから複数のパッケージが製造されるが、図1(a)では1つのパッケージ300を製造するために必要となる部分に注目する。以下、説明のために紙面手前側をリードフレーム100の表面(第1面)と呼び、その反対側(第1面の反対側)を裏面(第2面)と呼ぶ。図1(a)において、リードフレーム100の表面から裏面、あるいはリードフレーム100の裏面から表面に向かう方向をリードフレームの厚さ方向とする。図1(b)は図1(a)の点線部分110を拡大して斜視図で表したものである。図1(b)の上側がリードフレーム100の表面であり、下側がリードフレーム100の裏面である。図1(c)は図1(b)の一部を除去した図である。図1(b)および図1(c)では見易さのためにリードフレーム100の側面にハッチングを付している。
リードフレーム100では、外枠である支持部101から内側に向かって複数のリード102が延びている。リード102の後端部107(すなわちリード102のうち支持部101に近い部分)がパッケージ300のアウターリード303となる。また、リード102の先端部103(すなわちリードのうち支持部101から遠い部分)がパッケージ300のインナーリード302となる。リード102の中央部分はダムバー106によって相互に連結される。支持部101から延びたリード102はダムバー106までは一定のピッチを保ち、ダムバー106を過ぎると徐々にピッチが狭くなり、先端部103ではピッチは0となる。図1に示されるリードフレーム100ではリード102のピッチが0となる場合を説明するが、ピッチが正の値となってもかまわない。
図1(b)に示されるように、支持部101の同じ辺から延びる複数のリード102の先端部103のそれぞれは、リードフレーム100の厚さ方向に交互にずれている。つまり、複数のリード102の先端部103のそれぞれは、ある所定の間隔(オフセット)を有して配置されている。本実施形態では、リードフレーム100の裏面側(下側)に位置するリード102を第1リード102aと呼び、リードフレーム100の表面側(上側)に位置するリード102を第2リード102bと呼ぶ。さらに、第1リード102aの先端部103を参照符号103aで表し、第2リード102bの先端部103を参照符号103bで表す。第1リード102aと第2リード102bとが交互に並ぶ。先端部103が交互にずれるようにするために、例えば第1リード102aはダムバー106から水平方向に延び、第2リード102bはダムバー106付近で上方向に折れ曲がる。ここで、互いに隣接する第1リード102aと第2リード102bとは連結部104で連結されている。図1(c)に示されるように、連結部104は第1リード102aの先端部103aの第1面側の部分と第2リード102bの先端部103bの側面の部分とを連結する。
続いて、リードフレーム100を準備する方法の例を説明する。まず、リードフレーム100の材料となる金属板の一部を除去してリード102およびダムバー106を形成する。この段階ではリード102の先端部はまた段差を有していない。そして、例えば金属板を金型で挟み込んで剪断力を加えることによって段差を形成する。
金型で挟み込むかわりに、金属板の両面からエッチングを行なうことで段差を形成してもよい。まず、第2リード102bに対応する部分の表面側をマスクで覆い、金属板の表面からエッチングを行なって第1リード102aを形成する。次に、第1リード102aの裏面側をマスクで覆い、金属板の裏面からエッチングを行なって第2リード102bを形成する。エッチングを用いることによって、先端部103のピッチを0にすることができる。エッチングはドライエッチングであってもよいし、ウェットエッチングであってもよい。リード102の形成と段差の形成とは別の工程で行ってもよいし、同時に行ってもよい。同時に行うことで、インナーリード302とアウターリード303との位置ズレを防止することができるとともに、工数を削減できる。
連結部104の厚さ105はリードフレーム100を形成するための金属板の厚さに応じて適宜設定される。例えば、連結部104の厚さ105が10μm以上200μm以下の範囲に含まれるようにリードフレーム100を形成する。厚さ105を10μm以上とすることで、リードフレーム100の搬送等の取り扱いの際に連結部104が破断されてしまう可能性を低減しうる。また、厚さ105を200μm以下とすることで、後述される連結部104を除去する工程の時間を短縮しうる。
次に、図2を用いて本実施形態における第2工程(形成工程)、第3工程(分離工程)および第4工程(切断工程)を説明する。図2(a)はリードフレーム100に対して樹脂部200が形成された状態の平面図であり、図2(b)は点線部分210を拡大して斜視図で表したものである。図2(b)は図1(b)に対応した部分を表す。第2工程では、第1工程で準備されたリードフレーム100の連結部104および支持部101を露出するとともに、リード102(すなわち第1リード102aおよび第2リード102b)の一部を覆うように樹脂成形により樹脂部200を生成する。また、ダムバー106も樹脂部200から露出する。この樹脂部200がパッケージ本体301となり、樹脂部200の中央部分201に半導体チップが搭載される。また、リード102ののうち樹脂部200で覆われた部分がインナーリード302とアウターリード303とを接続する部分になる。本実施形態では連結部104のうちリードフレーム100の表面側が樹脂部200から露出している。本実施形態では樹脂部200を形成する際にリード102の先端部103同士が連結部104によって相互に連結されて固定されているため、リード102の先端部103がショートした状態で樹脂部200が形成される恐れはない。この第2工程は例えばリードフレーム100を金型に固定して金型の間に樹脂を流し込むことで実施される。
続いて、第3工程で、連結部104を除去することによって、第1リード102aの先端部103aと第2リード102bの先端部103bとを分離する。言い換えると、第1リード102aの先端部103aを第2リード102bの先端部103bから分離する。連結部104が除去された状態が図2(c)に斜視図として示される。図2(c)は図2(b)と同じ部分を拡大した図である。また、図2(c)は図3の点線部分310の拡大図でもある。連結部104の除去は例えば連結部104をリードフレーム100の表面側からエッチングすることによって行いうる。第3工程ではリード102は樹脂部200によって固定されているため、連結部104を除去することによってリード102の先端部103同士がショートする恐れはない。
第3工程におけるエッチングはリードフレーム100のうち連結部104以外をマスクで覆ってからエッチングを行ってもよいし、リードフレーム100全体を一括して表面側からエッチングしてもよい。リードフレーム100全体を一括してエッチングする場合には、第2リード102bの先端部103bがエッチングにより除去されてしまわないように、先端部103bの上(すわなちリードフレーム100の表面側)に保護部108を形成しておくとよい。リードフレーム100全体を一括してエッチングすることにより、マスクを形成する必要がなくなるので工数を削減できる。連結部104が除去されて第1リード102aの先端部103aと第2リード102bの先端部103bとが分離された後にエッチングを停止する。
続いて、第4工程で、リード102から支持部101を切り離すとともに、ダムバー106を切断する。これによって、それぞれのリード102が絶縁される。また、必要に応じてアウターリード303の曲げ加工を行う。以上の工程によって、図3に示されるパッケージ300が完成する。
本実施形態によるパッケージ300の製造方法によれば、インナーリード302がリードフレームの厚さ方向に上下二段に形成されているため、リード102のピッチを狭くすることができ、小型なパッケージ300に多数のリード102を搭載することが可能となる。さらに、リード102の先端を連結した状態で樹脂成形を行い、その後にリード102の先端を分離するため、インナーリード302のショートを防止することができ、高い歩留まりでパッケージ300を製造することが可能となる。
上述の説明ではインナーリード302のピッチを0とするため、第1リード102aの先端部103aの上面と第2リード102bの先端部103bの側面とを連結した。しかし、第1リード102aの先端部103aの側面と第2リード102bの先端部103bの側面とを連結してもよい。この場合にはピッチが0にならないが、それでもなお狭ピッチが実現される。
本実施形態では第3工程の後に第4工程を行ったが、その順番は限定されない。また、第3工程における連結部104の除去方法及び連結部104の形状は適宜変更可能である。
Claims (4)
- 半導体チップを搭載するためのパッケージの製造方法であって、
支持部、前記支持部から延びた第1リード、前記支持部から前記第1リードに隣接する位置へ延びた第2リード、及び前記第1リードの先端部と前記第2リードの先端部とを連結する連結部を含むリードフレームを準備する準備工程と、
前記連結部及び前記支持部を露出するとともに、前記第1リードの一部及び前記第2リードの一部を覆うように、前記半導体チップを搭載するための樹脂部を形成する形成工程と、
前記形成工程の後に、前記連結部を除去して前記第1リードの先端部を前記第2リードの先端部から分離する分離工程と、
前記形成工程の後に、前記第1リード及び前記第2リードから前記支持部を切り離す切断工程と
を有し、
前記第1リードの先端部と前記第2リードの先端部とは前記リードフレームの厚さ方向にオフセットを有して配置されていることを特徴とする製造方法。 - 前記リードフレームは第1面と前記第1面の反対側の第2面とを有し、
前記連結部は前記第1リードの先端部の前記第1面側の部分と前記第2リードの先端部の側面の部分とを連結することを特徴とする請求項1に記載の製造方法。 - 前記分離工程は、前記連結部を前記第1面側からエッチングすることによって前記連結部を除去する工程を含むことを特徴とする請求項2に記載の製造方法。
- 前記分離工程は、前記リードフレームのうち前記樹脂部から露出した部分を前記第1面側から一括してエッチングすることによって前記連結部を除去する工程を含むことを特徴とする請求項3に記載の製造方法。
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JP2010274916A JP2012124379A (ja) | 2010-12-09 | 2010-12-09 | パッケージの製造方法 |
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KR101833312B1 (ko) * | 2013-05-06 | 2018-03-02 | 해성디에스 주식회사 | 리드 프레임 제조 방법 |
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2010
- 2010-12-09 JP JP2010274916A patent/JP2012124379A/ja not_active Withdrawn
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