JP2012122814A - ガスセンサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板10上に設けられた一対の電極12a,12bおよび13a,13bの間に、導電性高分子膜20が形成されてなり、導電性高分子膜20にガス成分が付着した際の抵抗値変化を測定して、該ガス成分の濃度を検出するガスセンサであって、導電性高分子膜20が、ガス成分の付着により抵抗値が変化するアニオン性高分子感ガス膜32と、アニオン性高分子感ガス膜32の電荷を打ち消すカチオン性高分子膜31との、第1の交互積層膜41を有してなるガスセンサ100とする。
【選択図】図1
Description
)を有している。
12a,12b,13a,13b 電極
10 基板
11 シリコン酸化膜
20 導電性高分子膜
31 カチオン性高分子膜
32 アニオン性高分子感ガス膜
41 第1の交互積層膜
U1〜U5 積層単位
33 アニオン性高分子耐湿膜
42 第2の交互積層膜
V1〜V3 積層単位
Claims (19)
- 基板上に設けられた一対の電極の間に、導電性高分子膜が形成されてなり、
前記導電性高分子膜にガス成分が付着した際の抵抗値変化を測定して、該ガス成分の濃度を検出するガスセンサであって、
前記導電性高分子膜が、
前記ガス成分の付着により抵抗値が変化するアニオン性高分子感ガス膜と、前記アニオン性高分子感ガス膜の電荷を打ち消すカチオン性高分子膜との、第1の交互積層膜を有してなることを特徴とするガスセンサ。 - 前記第1の交互積層膜において、
前記アニオン性高分子感ガス膜と前記カチオン性高分子膜が、それぞれ、複数層配置されてなることを特徴とする請求項1に記載のガスセンサ。 - 前記第1の交互積層膜において、
前記アニオン性高分子感ガス膜の配置数が、10層以下であることを特徴とする請求項2に記載のガスセンサ。 - 前記導電性高分子膜が、
前記抵抗値変化の湿度依存性を抑制するためのアニオン性高分子耐湿膜と、前記カチオン性高分子膜との、第2の交互積層膜を有してなり、
前記第2の交互積層膜が、前記第1の交互積層膜と積層されてなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のガスセンサ。 - 前記第2の交互積層膜が、前記電極と前記第1の交互積層膜の間に挿入されてなることを特徴とする請求項4に記載のガスセンサ。
- 前記第2の交互積層膜において、
前記アニオン性高分子耐湿膜と前記カチオン性高分子膜が、それぞれ、複数層配置されてなることを特徴とする請求項4または5に記載のガスセンサ。 - 前記アニオン性高分子耐湿膜の配置数が、5層以下であることを特徴とする請求項6に記載のガスセンサ。
- 前記第2の交互積層膜における前記アニオン性高分子耐湿膜の配置数が、前記第1の交互積層膜における前記アニオン性高分子感ガス膜の配置数以上であることを特徴とする請求項4乃至7のいずれか一項に記載のガスセンサ。
- 前記アニオン性高分子耐湿膜が、ポリスチレンスルホン酸ナトリウム膜(PSS膜)であることを特徴とする請求項4乃至8のいずれか一項に記載のガスセンサ。
- 前記カチオン性高分子膜が、前記電極に接する最下層に配置されてなることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか一項に記載のガスセンサ。
- 前記アニオン性高分子感ガス膜が、前記電極と反対側の最上層に配置されてなることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか一項に記載のガスセンサ。
- 前記アニオン性高分子感ガス膜が、テトラキススルホフェニルポルフィリン膜(TSPP膜)、金属錯体TSPP膜、ペルオキソ二硫酸アンモニウム膜およびアニリン膜のいずれかであることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか一項に記載のガスセンサ。
- 金属錯体TSPP膜が、コバルト錯体TSPP膜(Co錯体TSPP膜)であることを特徴とする請求項12に記載のガスセンサ。
- 前記カチオン性高分子膜が、ポリジアリルジメチルアンモニウムクロライド膜(PDDA膜)であることを特徴とする請求項1乃至13のいずれか一項に記載のガスセンサ。
- 前記一対の電極が、単結晶シリコン、多結晶シリコン、タンタル(Ta)、タングステン(W)およびモリブデン(Mo)のいずれかであることを特徴とする請求項1乃至14のいずれか一項に記載のガスセンサ。
- 前記一対の電極が、それぞれ櫛歯状であり、互いの櫛歯が噛み合って対向するように配置されてなることを特徴とする請求項1乃至15のいずれか一項に記載のガスセンサ。
- 前記一対の電極において、
前記櫛歯の間隔が、0.5μm以上、300μm以下であることを特徴とする請求項16に記載のガスセンサ。 - 前記ガスセンサが、室内のにおい成分を検出する、においセンサであることを特徴とする請求項1乃至17のいずれか一項に記載のガスセンサ。
- 前記においセンサが、車室内に設置する、車載用であることを特徴とする請求項18に記載のガスセンサ。
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