JP2012119315A5 - - Google Patents

Claims (20)

1. 電子顕微鏡検査のサンプル担体（３１０）を保持するためのマウント（１００、２００）であって、
   当該マウント（１００、２００）は、
   中央領域に貫通する開口部（１０３）を有する基板（１０１）と、
   該開口部（１０３）の周囲に少なくとも部分的に延在するサンプル担体（３１０）の支持表面（１０７）と、
   基板（１０１）に備えられた支持表面（１０７）で、サンプル担体（３１０）を摩擦的な係合によって保持するための保持装置（１０４ａ、１０４ｂ）と、
   を含み、
   前記保持装置（１０４ａ、１０４ｂ）は、サンプル担体（３１０）を摩擦的な係合によって保持するための、少なくとも２つの相互に独立的なクリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）を含み、
   前記クリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）が、基板（１０１）から該開口部（１０３）へ向かって延在すること、
   前記クリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）が、互いに間隔を空けて離れた電子顕微鏡検査のサンプル担体（３１０）の端部領域（３１３ａ、３１３ｂ）でサンプル担体（３１０）を支持表面（１０７）に保持することができること、
   を特徴とするマウント。
2. 保持装置が、厳密には２つのクリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）を含むことを特徴とする請求項１に記載のマウント。
3. 前記クリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）が、互いに対向して配設されることを特徴とする請求項２に記載のマウント。
4. 前記クリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）が帯状に構成され、基板（１０１）と実質的に平行に配設されることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のマウント。
5. 前記クリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）がバネ部材として構成されることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載のマウント。
6. 各クリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）が、基板（１０１）へ固定される第１の末端（１０５ａ、１０５ｂ）と、該開口部（１０３）に向けられて、支持表面（１０７）にサンプル担体（３１０）を摩擦的な係合によって保持する第２の末端（１０６ａ、１０６ｂ）とを含むことを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載のマウント。
7. 該開口部（１０３）において、前記クリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）の第２の末端（１０６ａ、１０６ｂ）が、支持表面（１０７）の端の位置に揃っていることを特徴とする請求項６に記載のマウント。
8. 基板（１０１）に配設されるカバープレート（１０２）が、中央領域に、サンプル担体（３１０）及び前記クリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）へのアクセスを可能にする中央開口領域（１０９）を含むことを特徴とする請求項１〜７の何れか１項に記載のマウント。
9. 各クリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）の第１の末端（１０５ａ、１０５ｂ）が、基板（１０１）とカバープレート（１０２）との間に固定されていることを特徴とする請求項８に記載のマウント。
10. 中間プレートが基板（１０１）とカバープレート（１０２）との間に配設され、クリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）が中間プレートの構成要素であることを特徴とする請求項８に記載のマウント。
11. カバープレート（１０２）の前記中央開口領域（１０９）が、偏心状態でサンプル担体（３１０）を載置することが可能な大きさを有すること、
    すなわち、先ず、マウント（１００、２００）内でサンプル担体（３１０）を保持することが可能な位置（３１２）の横側にサンプル担体（３１０）を載置することができ、次に、マウント（１００、２００）内でサンプル担体（３１０）を保持することが可能な位置（３１２）へ載置されたサンプル担体（３１０）を横方向移動させることができること、
    を特徴とする請求項８〜１０の何れか１項に記載のマウント
12. 基板（１０１）を貫通して延在する開口部（１２０ａ、１２０ｂ）が各クリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）の下に配設されることを特徴とする請求項１〜１１の何れか１項に記載のマウント。
13. マウント（１００）が回転対称的な構造を有する外側の端部輪郭（１１０）を含み、４回回転対称に相当することを特徴とする請求項１〜１２の何れか１項に記載のマウント。
14. マウント（２００）が実質的に丸い外側の端部輪郭（２１０）を有することを特徴とする請求項１〜１２の何れか１項に記載のマウント。
15. 電子顕微鏡の標本保持装置（４００、５００）に受容可能なように構成されることを特徴とする請求項１〜１４の何れか１項に記載のマウント。
16. 電子顕微鏡検査のサンプル担体を搭載したマウント（１００、２００）を載置するための載置装置（３００）であって、
    当該載置装置（３００）は、請求項１〜１５の何れか１項に記載のマウント（１００、２００）と、該マウント（１００、２００）を載置することが可能な載置補助要素（３０１）とを含み、
    前記載置補助要素（３０１）は、当接部材（３０５ａ、３０５ｂ）を含み、
    前記当接部材（３０５ａ、３０５ｂ）が、該マウント（１００、２００）の基板（１０１）における各クリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）の下に配設された開口部（１２０ａ、１２０ｂ）を通過すること、
    前記当接部材（３０５ａ、３０５ｂ）が、該マウント（１００、２００）のクリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）の保持力に対抗して、基板（１０１）から離れる方向へクリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）を移動させること、
    を特徴とする載置装置。
17. 請求項１６に記載の載置装置（３００）によって電子顕微鏡検査のサンプル担体（３１０）を搭載したマウント（１００、２００）を載置する方法であって、
    ａ）載置補助要素（３０１）にマウント（１００、２００）を載置するステップと、
    ｂ）載置補助要素（３０１）の当接部材（３０５ａ、３０５ｂ）がクリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）を、基板（１０１）から離れる方向であって上昇した位置へ移動させるステップと、
    ｃ）マウント（１００、２００）の支持表面（１０７）にサンプル担体（３１０）を載置するステップと、
    ｄ）マウント（１００、２００）を載置補助要素（３１０）から取り出して、クリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）が元の位置へ戻ることによって、サンプル担体（３１０）を摩擦的な係合様式で支持表面（１０７）において保持するステップと、
    を含む方法。
18. 電子顕微鏡の標本保持装置（４００、５００）であって、
    分離可能なように受容可能な請求項１〜１５の何れか１項に記載のマウント（１００、２００）を含む標本保持装置。
19. ゴニオメータの形状であることを特徴とする請求項１８に記載の標本保持装置。
20. マウントが、サンプル担体の平面における少なくとも１本の軸を中心としてチルト運動が可能なように載置されることを特徴とする請求項１８又は１９に記載の標本保持装置。