JP2006128211A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 分割予定ラインに沿って強度が低下せしめられているウエーハを、該分割予定ラインに沿って分割するためのウエーハの分割装置において、
   該ウエーハの片面が貼着された保護テープを保持するためのテープ保持手段と、該保護テープを介して該テープ保持手段に保持された該ウエーハを該分割破断ラインに沿って破断するためのウエーハ破断手段とを具備し、該ウエーハ破断手段は該保護テープを介して
   該ウエーハを吸引して該分割ラインに沿って曲げ応力を生成する、ことを特徴とするウエーハの分割装置。
2. 該ウエーハ破断手段は第１の吸引保持部材と第２の吸引保持部材とを含み、該第１の吸引保持部材が該分割予定ラインの片側において該保護テープを介して該ウエーハを吸引し、該第２の吸引保持部材が該分割ラインの他側において該保護テープを介して該ウエーハを吸引する、請求項１記載のウエーハの分割装置。
3. 該第１の吸引保持部材は該保持テープを介して該ウエーハを吸引保持する第１の保持面を有し、該第２の吸引保持部材は該保持テープを介して該ウエーハを吸引保持する第２の吸引保持面を有し、該第１の吸引保持面と該第２の吸引保持面とは相互に対向する側縁に向かって下方にまたは上方に傾斜している、請求項２記載のウエーハの分割装置。
4. 該ウエーハ破断手段は、該第１の吸引保持面と該第２の吸引保持面とが離反及び接近する方向に該第１の吸引保持部材と該第２の吸引保持部材とを相対的に移動するための移動手段を含む、請求項２または３記載のウエーハ分割装置。
5. 該第２の吸引保持部材は該第１の吸引保持部材上に該第１の吸引保持面と該第２の吸引保持面とが離反及び接近する方向に移動自在に装着されており、該移動手段は該第２の吸引保持部材を移動する請求項４記載のウエーハの分割装置。
6. 該分割予定ラインは格子状に配列されており、該移動手段による該第２の吸引保持部材の移動方向に該第１の吸引保持部材を移動するためのインデックス移動手段が配設されている、ことを特徴とする請求項５記載のウエーハの分割装置。
7. 該保護テープは内側開口部を有する環状のフレームに該開口部を覆うように装着され、該ウエーハの該片面は該開口部内において該保護テープに貼着され、該テープ保持手段は該環状フレームを支持するフレーム支持手段から構成されている、請求項１から６までのいずれかに記載のウエーハの分割装置。
8. 該フレーム支持手段は中央部に開口が形成され且つ回動自在に装着された保持テーブルから構成されており、該保持テーブルを回動するための回動手段が配設されている、請求項７記載のウエーハの分割装置。