JP2012117644A - 粗微動位置決め装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】微動機構の作動時に、圧電アクチュエータ14の伸縮によりねじ軸5が微小に軸方向移動すると、ねじ軸5に軸方向移動を伝達可能に連結した駆動モータ10が、モータブラケット17を介して基台2に案内されながらねじ軸5とともに移動する。これにより、駆動モータ10のモータ軸10aに作用する軸方向の負荷が抑制される。
【選択図】図1
Description
特許文献1の装置の粗動機構は、基台に回転自在に支持されているねじ軸と、このねじ軸に螺合して移動テーブルに固定されたナットと、基台に固定された駆動モータとを備え、駆動モータのモータ軸に、カップリング及び微動機構を介してねじ軸の一端が結合されており、駆動モータの回転駆動力が、カップリング及び微動機構を介してねじ軸の回転として伝達されることで、移動テーブルを大きな移動量でねじ軸の軸線方向に移動させる。
また、微動機構は、圧電アクチュエータの伸縮によりねじ軸を軸方向に移動させることで、移動テーブルをナノメータレベルで微小移動させる機構である。
ここで、カップリング及びモータ軸に作用する軸方向の負荷を吸収する機構を、カップリングや基台のモータ固定部に設けると、ねじ軸及び駆動モータの間の剛性が低下してしまうので、粗動機構の作動時の位置決め精度が低下するという問題がある。
そこで、本発明は、上記従来例の未解決の課題に着目してなされたものであり、微動機構の作動時における直動方向の負荷を抑制しながら粗動機構の作動時における位置決め精度を向上させることができる粗微動位置決め装置を提供することを目的としている。
また、請求項2記載の発明は、請求項1記載の粗微動位置決め装置において、前記モータガイド手段は、前記基台に、前記前記粗微動伝達軸の軸方向に沿って形成した直動案内部と、前記駆動モータの筐体に一体化され、前記直動案内部に係合する被案内部を設けたモータブラケットとで構成されている。
さらに、請求項4記載の発明は、請求項3記載の粗微動位置決め装置において、前記ナットの外周にロックナットが外嵌し、このロックナットと前記粗微動伝達軸の一方の端部が同軸に固定されているとともに、前記粗微動伝達軸の外周に設けた内輪係止部と前記ロックナットとの間に前記一対のアンギュラ軸受の内輪が挟持され、当該一対のアンギュラ軸受の内輪が前記粗微動伝達軸の外周に一体化されている。
図1は、本発明に係る粗微動位置決め装置の1実施形態を示す側面図である。
本実施形態の粗微動位置決め装置1は、基台2に軸受ハウジング3が固定されており、軸受ハウジング3に配置したナット4と、ナット4に螺合したねじ軸5とからなるねじ機構を用いて粗動動作及び微動動作を行う。
軸受ハウジング3の内部には、DF(正面)組合せで配置した一対のアンギュラ軸受6,7を介して粗微動伝達軸8が回転自在に、且つ軸方向に微小移動可能に配置されている。
粗微動伝達軸8の一端側には第1軸穴8aが形成され、他端側に第2軸穴8bが形成されており、粗微動伝達軸8の他端外周には雄ねじ8cが形成されている。
粗微動伝達軸8の第1軸穴8aには駆動モータ10のモータ軸10aが挿入され、粗微動伝達軸8及びモータ軸10aは、結合ボルト11を介して同軸に直結されている。
そして、ロックナット12は、軸受ハウジング3の他端側に形成した開口部3aに挿入され、雌ねじ12aが粗微動伝達軸8の雄ねじ8cに螺合されている。これにより、ロックナット12と粗微動伝達軸8の外周に設けた内輪係止部8dとの間で内輪6a,7a、スペーサ9が締め付けられ、アンギュラ軸受6,7の内輪6a,7aは、粗微動伝達軸8の軸方向への移動が拘束されている。
一方、軸受ハウジング3の内部には、粗微動伝達軸8を挿通した状態で軸受ハウジング3の一端側開口部を閉塞している蓋部材13とアンギュラ軸受6の外輪6bとの間に、圧電アクチュエータ14及び間座15が配置されている。
間座15は略円筒形状の部材であり、一端に圧電アクチュエータ14が当接し、他端がアンギュラ軸受6の外輪6bに当接しており、圧電アクチュエータ14の変位(軸方向の伸縮)は、間座15を介してアンギュラ軸受6の外輪6bに伝達されるようになっている。
駆動モータ10の本体ケースには、基台2に向けて延在するモータブラケット17が固定されており、このモータブラケット17に、基台2の直動案内部16に係合して基台2の長手方向に摺動可能な案内部18が形成されている。これにより、粗微動伝達軸8にモータ軸10aが直結している駆動モータ10は、互いに係合した基台の直動案内部16及びモータブラケット17の案内部18により軸方向移動が案内されている。
本実施形態の粗動機構は、駆動モータ10の回転力が駆動力8、ロックナット12及びナット4を介してねじ軸5に伝達されると、基台の直動案内部16に係合したねじ軸ブラケット20により回転が規制されているねじ軸5が、ねじ軸ブラケット20に案内されながら軸方向に所定ストロークだけ駆動し、ねじ軸5の粗動位置決めが行われる。
本実施形態の微動機構は、圧電駆動手段(不図示)から印加される電圧に応じて圧電アクチュエータ14が変位すると、圧電アクチュエータ14の変位が、間座15を介して一対のアンギュラ軸受6,7の外輪6b,7bに、微小の軸方向移動として伝達される。
この際、粗微動伝達軸8にモータ軸10aを介して直結している駆動モータ10は、モータブラケット17の案内部18が基台2の直動案内部16に案内されながら、粗微動伝達軸8とともに微小に移動する。
次に、本実施形態の粗微動位置決め装置1の作用効果について説明する。
本実施形態の粗微動位置決め装置1は、微動機構の作動時に、圧電アクチュエータ14の伸縮によりねじ軸5が微小に軸方向移動すると、ねじ軸5に軸方向移動を伝達可能に連結した駆動モータ10が、モータブラケット17を介して基台2に案内されながらねじ軸5とともに移動するので、駆動モータ10のモータ軸10aに作用する軸方向の負荷を抑制することができる。
したがって、本実施形態の粗微動位置決め装置1は、微動機構の作動時における軸方向(直動方向)の負荷を抑制し、粗動機構の作動時における位置決め精度を向上させることができる。
Claims (4)
- 基台上に転がり軸受を介して回転自在に支持され、且つ軸方向に微小移動可能に配置した粗微動伝達軸と、
この粗微動伝達軸の一方の端部に同軸に固定したナットと、
このナットに螺合したねじ軸と、
このねじ軸を回転不能、且つ軸方向移動自在に支持しているねじ軸支持手段と、
前記ねじ軸を大きな移動量で軸方向に移動させる粗動機構と、
前記ねじ軸を微小な移動量で軸方向に移動させる微動機構とを備え、
前記粗動機構は、前記粗微動伝達軸の他方の端部にモータ軸が同軸に直結している駆動モータと、この駆動モータを前記粗微動伝達軸の軸方向に移動自在に支持するモータガイド手段とを備え、
前記微動機構は、印加電圧に応じて伸縮する圧電アクチュエータと、この圧電アクチュエータの伸縮方向の端部に当接する前記転がり軸受の外輪とを備え、前記圧電アクチュエータが変位すると、前記外輪の軸方向の微小移動により前記粗微動伝達軸の外周に一体化した前記転がり軸受の内輪が前記外輪と同一の軸方向に微小移動するようにしたことを特徴とする粗微動位置決め装置。 - 前記モータガイド手段は、前記基台に、前記前記粗微動伝達軸の軸方向に沿って形成した直動案内部と、前記駆動モータの筐体に一体化され、前記直動案内部に係合する被案内部を設けたモータブラケットとで構成されていることを特徴とする請求項1記載の粗微動位置決め装置。
- 前記転がり軸受は、前記粗微動伝達軸の軸方向に隣接して配置した一対のアンギュラ軸受であることを特徴とする請求項1又は2記載の粗微動位置決め装置。
- 前記ナットの外周にロックナットが外嵌し、このロックナットと前記粗微動伝達軸の一方の端部が同軸に固定されているとともに、前記粗微動伝達軸の外周に設けた内輪係止部と前記ロックナットとの間に前記一対のアンギュラ軸受の内輪が挟持され、当該一対のアンギュラ軸受の内輪が前記粗微動伝達軸の外周に一体化されていることを特徴とする請求項3記載の粗微動位置決め装置。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62159853A (ja) * | 1986-01-09 | 1987-07-15 | Hiroshi Teramachi | ボ−ルねじユニツト |
JP2005299773A (ja) * | 2004-04-09 | 2005-10-27 | Seiko Instruments Inc | 送りねじユニット及びステージ装置 |
JP2007198909A (ja) * | 2006-01-26 | 2007-08-09 | Nsk Ltd | 粗微動位置決め装置 |
JP2009211024A (ja) * | 2008-02-06 | 2009-09-17 | Nsk Ltd | アクチュエータおよびマニピュレータ |
JP2010179891A (ja) * | 2009-02-09 | 2010-08-19 | Jtekt Corp | 電動パワーステアリング装置 |
-
2010
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62159853A (ja) * | 1986-01-09 | 1987-07-15 | Hiroshi Teramachi | ボ−ルねじユニツト |
JP2005299773A (ja) * | 2004-04-09 | 2005-10-27 | Seiko Instruments Inc | 送りねじユニット及びステージ装置 |
JP2007198909A (ja) * | 2006-01-26 | 2007-08-09 | Nsk Ltd | 粗微動位置決め装置 |
JP2009211024A (ja) * | 2008-02-06 | 2009-09-17 | Nsk Ltd | アクチュエータおよびマニピュレータ |
JP2010179891A (ja) * | 2009-02-09 | 2010-08-19 | Jtekt Corp | 電動パワーステアリング装置 |
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