JP2012104771A - ドライフィルムレジストの薄膜化処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ドライフィルムレジストが貼り付けられた基板5の該ドライフィルムレジストを処理液で処理する工程、その後に、表面の不要なドライフィルムレジスト分を除去液を用いて除去する工程とからなるドライフィルムレジストの薄膜化処理方法において、除去する工程が除去液を繰り返し使用するものであり、除去液中に消泡剤が含まれるドライフィルムレジストの薄膜化処理方法。
【選択図】図1
Description
両面銅張積層板(面積510mm×340mm、銅箔厚み12μm、基材厚み0.2mm、三菱ガス化学(株)製、商品名:CCL−E170)にドライフィルムレジスト(旭化成イーマテリアルズ(株)製、商品名:サンフォート(登録商標)AQ−4038、厚み40μm)を貼り付けた。次に、キャリアフィルムを剥離した後、DFRの厚みが平均10μmになるまで薄膜化処理を行った。処理液の組成としては、炭酸ナトリウムを10質量%含む水溶液を用い、除去液の組成としては、炭酸ナトリウムを添加してpH8.0に調整した水溶液を用いた。この際、予め、連続使用する除去液100Lに対して、表1記載の種類及び添加量で消泡剤を除去液に投入しておき、上記薄膜化処理を10回分行い、全ての薄膜化処理が終了した時点での除去液浴槽の泡立ち、除去液浴槽の汚れ状況、処理したワークの表面状況の観察を行い、どの消泡剤が最も適しているかを総合的に判断した。処理液の温度は20℃、ディップ方式で処理した。除去液の温度は20℃、スプレー圧力は0.15MPa、除去液の流量はDFR1cm2当たり0.3L/minの条件で行い、除去液のpHの調整は、必要に応じて1質量%の硫酸を添加して、pH7.5〜8.5の範囲になるように随時調整した。10回分の薄膜化処理を行うために要した時間は、いずれの場合も45分であった。
全てのワークの薄膜化処理後、除去液浴槽の水面から計測し、どの程度の高さまで泡が立っているかを測定した。
全てのワークの薄膜化処理後、除去液浴槽の壁への消泡剤成分の付着状況、スカム(溶解したレジスト由来と思われる異物)の付着の有無などを総合的に判断し、評価した。評価基準としては以下の通りであり、製品として使用可能な条件は△以上であった。
◎:除去液浴槽の壁への消泡剤成分、スカムなどの付着が全くなく、非常に良好。
○:除去液浴槽の壁への消泡剤成分、スカムなどの付着がない。
△:除去液浴槽の壁への消泡剤成分、スカムなどの付着が少しあるが、実用可能である。
×:除去液浴槽の壁への消泡剤成分、スカムなどの付着が多く、実用上問題である。
薄膜化処理後、蛍光灯の明かりのもと、試料を蛍光灯直下2mの場所に配置し、試料を水平状態から45度傾けた状態でDFR表面を観察し、目視にて、DFR表面に見える消泡剤成分やスカムの付着有無、処理ムラなどがないかを判定した。評価基準としては以下の通りであり、製品として使用可能な条件は△以上であった。
◎:消泡剤成分やスカム、処理ムラなどが全くなく、非常に良好。
○:消泡剤成分やスカム、処理ムラなどがない。
△:消泡剤成分やスカム、処理ムラなどが少しあるが、実用可能である。
×:消泡剤成分やスカム、処理ムラなどが多く、実用上問題である。
2 工程(2)ユニット
3 工程(3)ユニット
4 工程(4)ユニット
5 ドライフィルムレジスト(DFR)が貼り付けられた基板
6 搬入口
7 ディップ槽
8 搬送用ロール
9 ユニット1用処理液供給用ポンプ
10 処理液(除去液)回収管
11 処理液貯蔵タンク
12 バルブ
13 連結口
14 ミセル除去用のスプレーノズル
15 除去液貯蔵タンク
16 除去液供給用ポンプ
17 バルブ
18 廃液管
19 水洗用のスプレーノズル
20 排水処理管
21 ターボブロワ
22 吸引管
23 吐出管
24 空気噴射ノズル
25 搬出口
26 水供給管
Claims (2)
- ドライフィルムレジストが貼り付けられた基板の該ドライフィルムレジストを処理液で処理する工程、その後に、除去液を用いて表面の不要なドライフィルムレジスト分を除去する工程とからなるドライフィルムレジストの薄膜化処理方法において、除去する工程が除去液を繰り返し使用するものであり、除去液中に消泡剤が含まれることを特徴とするドライフィルムレジストの薄膜化処理方法。
- 該消泡剤が鉱物油を含んでおり、鉱物油の含有量が20質量%以下である請求項1記載のドライフィルムレジストの薄膜化処理方法。
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