JP2012104679A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被露光体4を一定方向に一定速度で搬送する搬送手段1と、被露光体4の搬送方向と交差する方向に一定の配列ピッチで一列に並べられた複数の光スイッチにより、一方向に拡幅されたレーザ光Lを一定の配列ピッチで一列に並んだ複数のレーザビームLbに分割して射出するパターンジェネレータ6と、パターンジェネレータ6から射出し、被露光体4に照射する複数のレーザビームLbを互いに隣接するレーザビームLbの間の領域を同時に往復走査する光走査手段7と、往復走査される複数のレーザビームLbを被露光体上に集光するfθレンズ8と、パターンジェネレータ7の複数の光スイッチのオン・オフ駆動を制御する制御手段3と、を備えたものである。
【選択図】図1
Description
先ず、被露光体4の搬送方向(矢印A方向)の露光ピッチP1、レーザビームLbの走査方向の露光ピッチP2、ガルバノミラー22の駆動周波数(レーザビームLbの走査周波数に相当)Fm、レーザビームLbの走査幅W、レーザ光源17のパワー等の初期設定値、及び露光パターンのCADデータをメモリ28に記憶する。
この第2の実施形態は、第1のfθレンズ8と搬送手段1との間に光走査手段としての音響光学素子(AOD)30を配置したものである。なお、図7において符号31は全反射ミラーである。
この第3の実施形態は、第1のfθレンズ8の物体側焦点位置に光走査手段7として電気光学素子32を配置したものである。この電気光学素子32は、図9に示すように角型ブロック状の電気光学結晶材料33の対向面に該対向面の光軸に平行な軸対して傾斜した辺34を有する三角形の一対の電極35A,35Bを設けた構成を成している。
3…制御手段
6…パターンジェネレータ
7…光走査手段
8…第1のfθレンズ(fθレンズ)
9…光スイッチ
10…スイッチング素子
11a,11b…電極
14…第1の偏光ビームスプリッタ(偏光素子)
15…第2の偏光ビームスプリッタ(偏光素子)
21…第2のfθレンズ(別のfθレンズ)
22…ガルバノミラー
30…音響光学素子(光走査手段)
32…電気光学素子(光走査手段)
33…電気光学結晶材料
35A,35B…電極
Claims (7)
- 被露光体を一定方向に一定速度で搬送する搬送手段と、
前記被露光体の搬送方向と交差する方向に一定の配列ピッチで一列に並べられた複数の光スイッチにより、一方向に拡幅されたレーザ光を一定の配列ピッチで一列に並んだ複数のレーザビームに分割して射出するパターンジェネレータと、
前記パターンジェネレータから射出し、前記被露光体に照射する前記複数のレーザビームを互いに隣接する前記レーザビームの間の領域を同時に往復走査する光走査手段と、
前記往復走査される複数のレーザビームを前記被露光体上に集光するfθレンズと、
前記パターンジェネレータの前記複数の光スイッチのオン・オフ駆動を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする露光装置。 - 前記パターンジェネレータの各光スイッチは、電気光学結晶材料からなる角柱状のスイッチング素子の長軸に平行な対向面に夫々電極を設けると共に、前記スイッチング素子の長軸方向の両端面側に一対の偏光素子をクロスニコルに配置して構成したものであることを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 前記光走査手段は、前記fθレンズと、前記パターンジェネレータと前記fθレンズとの間に該fθレンズとミラー対称に対向配置された別のfθレンズとの間に配置された光偏向ミラーであることを特徴とする請求項1又は2記載の露光装置。
- 前記光偏向ミラーは、ガルバノミラーであることを特徴とする請求項3記載の露光装置。
- 前記光偏向ミラーは、ポリゴンミラーであることを特徴とする請求項3記載の露光装置。
- 前記光走査手段は、前記fθレンズと前記搬送手段との間に配置された音響光学素子であることを特徴とする請求項1又は2記載の露光装置。
- 前記光走査手段は、前記fθレンズと、前記パターンジェネレータと前記fθレンズとの間に該fθレンズとミラー対称に対向配置された別のfθレンズとの間に配置され、角型ブロック状の電気光学結晶材料の対向面に光軸に対して傾斜した辺を有する三角形の電極を設けた電気光学素子であることを特徴とする請求項1又は2記載の露光装置。
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