JP2012094584A - 半導体装置用基板及び半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】多層配線層57と、多層配線層57の最上層上に設けられ、多層配線層57のうち電源層53に第1のビア51によって接続される第1の電源パッド31aと、多層配線57のうちグランド層54に第2のビア52によって接続される第1の接地パッド31bとからなる第1のコンデンサパッド31と、多層配線層57の最上層上に設けられ、第1の電源パッド31aと第1の配線41により接続される第2の電源パッド32aと、第1の接地パッド31bと第2の配線42により接続される第2の接地パッド32bとからなる第2のコンデンサパッド32とを有する半導体装置用基板30による。
【選択図】図12
Description
図11は、本実施形態に係る半導体装置用基板30の平面図である。
そして、その半導体素子40の内部配線等が原因で、電源電極71と接地電極72との間には、半導体素子40の内部の容量成分C2や、第3のESL3と第3のESR3が付加される。
以下に、本実施形態の変形例について説明する。
上記では、図16〜図18に示したように、矩形状の素子搭載領域35の全ての辺の横にコンデンサ39を搭載した。
本例では、図26に示すような平面レイアウトで上記した第1〜第3のコンデンサパッド31〜33を設ける。
本実施形態では、第1実施形態と比較して第1〜第3のコンデンサパッド31〜33の配置の仕方が異なり、それ以外は第1実施形態と同様である。
図30は、本実施形態に係る半導体装置用基板30が備える第1、第2のコンデンサパッド31、32の拡大平面図である。なお、図30において、第1実施形態で説明したのと同じ要素には第1実施形態と同じ符号を付し、以下ではその説明を省略する。
図31は、本実施形態に係る半導体装置用基板30が備える第1、第2のコンデンサパッド31、32の拡大平面図である。なお、図31において、第1実施形態で説明したのと同じ要素には第1実施形態と同じ符号を付し、以下ではその説明を省略する。
図33は、本実施形態に係る半導体装置用基板30が備える第1、第2のコンデンサパッド31、32の拡大平面図である。なお、図33において、第1実施形態で説明したのと同じ要素には第1実施形態と同じ符号を付し、以下ではその説明を省略する。
本実施形態では、第1実施形態で説明した半導体装置用基板30を備えた半導体装置の製造方法について説明する。
第1実施形態では、図14に示したように、多層配線層57の最上層に各パッド31b〜33bを形成した。
前記多層配線層の最上層又は最下層の上に設けられ、前記多層配線層のうち電源層に第1のビアによって接続される第1の電源パッドと、前記多層配線層のうちグランド層に第2のビアによって接続される第1の接地パッドとからなる第1のコンデンサパッドと、
前記多層配線層の最上層又は最下層の上に設けられ、前記第1の電源パッドと第1の配線により接続される第2の電源パッドと、前記第1の接地パッドと第2の配線により接続される第2の接地パッドとからなる第2のコンデンサパッドと、
を有することを特徴とする半導体装置用基板。
を有することを特徴とする付記1記載の半導体装置用基板。
前記第2の配線の長さと前記第4の配線の長さは等しい、
ことを特徴とする付記5記載の半導体装置用基板。
を有することを特徴とする付記1に記載の半導体装置用基板。
前記第2の配線と前記第4の配線のそれぞれの配線幅が異なることを特徴とする付記7に記載の半導体装置用基板。
前記第2の配線と前記第4の配線のそれぞれの配線長が異なることを特徴とする付記7に記載の半導体装置用基板。
前記第2のビアは、前記第1の接地パッドの下に複数設けられることを特徴とする付記1〜10のいずれかに記載の半導体装置用基板。
前記第2のビアは前記第1の接地パッドの横に設けられることを特徴とする付記1〜10のいずれかに記載の半導体装置用基板。
前記多層配線層の最上層上に設けられ、前記多層配線層のうち電源層に第1のビアによって接続される第1の電源パッドと、前記多層配線層のうちグランド層に第2のビアによって接続される第1の接地パッドとからなる第1のコンデンサパッドと、
前記多層配線層の最上層上に設けられ、前記第1の電源パッドと第1の配線により接続される第2の電源パッドと、前記第1の接地パッドと第2の配線により接続される第2の接地パッドとからなる第2のコンデンサパッドと、
を有する半導体装置用基板と、
前記第1のコンデンサパッドまたは前記第2のコンデンサパッドのいずれかに接続されたコンデンサと、
前記半導体装置用基板上に配設された半導体素子と、
を含むことを特徴とする半導体装置。
前記多層配線層の最上層上に設けられ、前記第2の電源パッドと第3の配線により接続される第3の電源パッドと、前記第2の接地パッドと第4の配線により接続される第3の接地パッドとからなる第3のコンデンサパッド
を有することを特徴とする付記15〜18のいずれかに記載の半導体装置。
前記多層配線層の最上層上に設けられ、前記多層配線層のうち電源層に第1のビアによって接続される第1の電源パッドと、前記多層配線層のうちグランド層に第2のビアによって接続される第1の接地パッドとからなる第1のコンデンサパッドと、
前記多層配線層の最上層上に設けられ、前記第1の電源パッドと第1の配線により接続される第2の電源パッドと、前記第1の接地パッドと第2の配線により接続される第2の接地パッドとからなる第2のコンデンサパッドと、
前記多層配線層の最上層上に設けられ、前記第2の電源パッドと第3の配線により接続される第3の電源パッドと、前記第2の接地パッドと第4の配線により接続される第3の接地パッドとからなる第3のコンデンサパッドと
を有する半導体装置用基板と、
前記第1のコンデンサパッド、又は前記第2のコンデンサパッド、又は前記第3のコンデンサパッドのいずれかに接続されたコンデンサと、
前記半導体装置用基板上に配設された半導体素子と、
を含むことを特徴とする半導体装置。
Claims (10)
- 多層配線層と、
前記多層配線層の最上層又は最下層の上に設けられ、前記多層配線層のうち電源層に第1のビアによって接続される第1の電源パッドと、前記多層配線層のうちグランド層に第2のビアによって接続される第1の接地パッドとからなる第1のコンデンサパッドと、
前記多層配線層の最上層又は最下層の上に設けられ、前記第1の電源パッドと第1の配線により接続される第2の電源パッドと、前記第1の接地パッドと第2の配線により接続される第2の接地パッドとからなる第2のコンデンサパッドと、
を有することを特徴とする半導体装置用基板。 - 前記第1の配線の長さと前記第2の配線の長さは等しいことを特徴とする請求項1記載の半導体装置用基板。
- 前記第1のコンデンサパッドは、半導体素子が搭載される位置の周囲に複数個設けられることを特徴とする請求項1記載の半導体装置用基板。
- 前記第2のコンデンサパッドは、前記複数の第1のコンデンサパッドそれぞれに対して設けられることを特徴とする請求項3記載の半導体装置用基板。
- 前記多層配線層の最上層又は最下層の上に設けられ、前記第2の電源パッドと第3の配線により接続される第3の電源パッドと、前記第2の接地パッドと第4の配線により接続される第3の接地パッドとからなる第3のコンデンサパッドと、
を有することを特徴とする請求項1記載の半導体装置用基板。 - 前記第1の配線の長さと前記第3の配線の長さは等しく、
前記第2の配線の長さと前記第4の配線の長さは等しいことを特徴とする請求項5記載の半導体装置用基板。 - 前記第1の配線と前記第2の配線との間隔は、前記第1の電源パッドと前記第1の接地パッドとの間隔よりも狭いことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置用基板。
- 多層配線層と、
前記多層配線層の最上層上に設けられ、前記多層配線層のうち電源層に第1のビアによって接続される第1の電源パッドと、前記多層配線層のうちグランド層に第2のビアによって接続される第1の接地パッドとからなる第1のコンデンサパッドと、
前記多層配線層の最上層上に設けられ、前記第1の電源パッドと第1の配線により接続される第2の電源パッドと、前記第1の接地パッドと第2の配線により接続される第2の接地パッドとからなる第2のコンデンサパッドと、
を有する半導体装置用基板と、
前記第1のコンデンサパッドまたは前記第2のコンデンサパッドのいずれかに接続されたコンデンサと、
前記半導体装置用基板上に配設された半導体素子と、
を含むことを特徴とする半導体装置。 - 前記半導体装置用基板は、
前記多層配線層の最上層上に設けられ、前記第2の電源パッドと第3の配線により接続される第3の電源パッドと、前記第2の接地パッドと第4の配線により接続される第3の接地パッドとからなる第3のコンデンサパッド
を有することを特徴とする請求項8に記載の半導体装置。 - 多層配線層と、
前記多層配線層の最上層上に設けられ、前記多層配線層のうち電源層に第1のビアによって接続される第1の電源パッドと、前記多層配線層のうちグランド層に第2のビアによって接続される第1の接地パッドとからなる第1のコンデンサパッドと、
前記多層配線層の最上層上に設けられ、前記第1の電源パッドと第1の配線により接続される第2の電源パッドと、前記第1の接地パッドと第2の配線により接続される第2の接地パッドとからなる第2のコンデンサパッドと、
前記多層配線層の最上層上に設けられ、前記第2の電源パッドと第3の配線により接続される第3の電源パッドと、前記第2の接地パッドと第4の配線により接続される第3の接地パッドとからなる第3のコンデンサパッドと
を有する半導体装置用基板と、
前記第1のコンデンサパッド、又は前記第2のコンデンサパッド、又は前記第3のコンデンサパッドのいずれかに接続されたコンデンサと、
前記半導体装置用基板上に配設された半導体素子と、
を含むことを特徴とする半導体装置。
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