JP2012093113A - 静電容量式加速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】計測対象の加速度に応じて静電容量が変化するセンサ部11と、センサ部11に蓄積された静電容量を電圧に変換するオペアンプ23と、オペアンプ23により変換された電圧を増幅する増幅部13と、増幅部13により増幅された電圧の低周波数成分を通過させて出力値を生成するLPF部40とを備え、オペアンプ23は、静電容量を電圧に変換するオペアンプ23を含み、当該オペアンプ23の帰還部26に並列して静電容量蓄積部30を設けた。
【選択図】図6
Description
2 金属ブラケット
11 センサ部
12 変換回路
13 増幅回路
14 LPF
20 変換回路
21 コンデンサ
22 スイッチ
23 オペアンプ
24 スイッチ
25 コンデンサ
26 帰還部
30 静電容量蓄積部
40 LPF部
51a 第1ヒューズ
51b 第2ヒューズ
52、62 コントローラ
Claims (5)
- 計測対象の加速度に応じて静電容量が変化するセンサ部と、
前記センサ部に蓄積された静電容量を電圧に変換する電圧変換部と、
前記電圧変換部により変換された電圧を増幅する増幅部と、
前記増幅部により増幅された電圧の低周波数成分を通過させて出力値を生成するLPF部とを備え、
前記電圧変換部は、前記静電容量を電圧に変換するオペアンプを含み、当該オペアンプの帰還部に並列して静電容量蓄積部を設けたこと
を特徴とする静電容量式加速度センサ。 - 前記静電容量蓄積部は、それぞれが前記帰還部に対して並列に配置された複数のコンデンサを含み、当該各コンデンサの前記帰還部に対する接続関係を切り替える切り替え手段を含むことを特徴とする請求項1に記載の静電容量式加速度センサ。
- 前記オペアンプの帰還部と前記静電容量蓄積部とによって前記電圧変換部により変換された電圧の低周波数成分を通過させるLPFを構成したことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の静電容量式加速度センサ。
- 前記切り替え手段は、前記静電容量蓄積部の前記帰還部に対する接続関係を短絡又は開放するヒューズを含み、当該ヒューズを電気的に開放して当該各コンデンサの前記帰還部に対する接続関係を切り替えることを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の静電容量式加速度センサ。
- 前記切り替え手段は、前記静電容量蓄積部の前記帰還部に対する接続関係を短絡又は開放する半導体スイッチを含み、当該半導体スイッチの導通状態を制御して当該各コンデンサの前記帰還部に対する接続関係を切り替えることを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の静電容量式加速度センサ。
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