JP2012085456A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2012085456A5
JP2012085456A5 JP2010230299A JP2010230299A JP2012085456A5 JP 2012085456 A5 JP2012085456 A5 JP 2012085456A5 JP 2010230299 A JP2010230299 A JP 2010230299A JP 2010230299 A JP2010230299 A JP 2010230299A JP 2012085456 A5 JP2012085456 A5 JP 2012085456A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric
base
layer
generator according
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2010230299A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP5707839B2 (ja
JP2012085456A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2010230299A priority Critical patent/JP5707839B2/ja
Priority claimed from JP2010230299A external-priority patent/JP5707839B2/ja
Priority to US13/238,778 priority patent/US8575824B2/en
Publication of JP2012085456A publication Critical patent/JP2012085456A/ja
Priority to US14/037,934 priority patent/US20140232242A1/en
Publication of JP2012085456A5 publication Critical patent/JP2012085456A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5707839B2 publication Critical patent/JP5707839B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2010230299A 2010-10-13 2010-10-13 圧電型発電機および圧電型発電機の製造方法 Expired - Fee Related JP5707839B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010230299A JP5707839B2 (ja) 2010-10-13 2010-10-13 圧電型発電機および圧電型発電機の製造方法
US13/238,778 US8575824B2 (en) 2010-10-13 2011-09-21 Piezoelectric generator, sensor node, and method of manufacturing piezoelectric generator
US14/037,934 US20140232242A1 (en) 2010-10-13 2013-09-26 Piezoelectric generator, sensor node, and method of manufacturing piezoelectric generator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010230299A JP5707839B2 (ja) 2010-10-13 2010-10-13 圧電型発電機および圧電型発電機の製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2012085456A JP2012085456A (ja) 2012-04-26
JP2012085456A5 true JP2012085456A5 (enExample) 2013-11-28
JP5707839B2 JP5707839B2 (ja) 2015-04-30

Family

ID=45933531

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010230299A Expired - Fee Related JP5707839B2 (ja) 2010-10-13 2010-10-13 圧電型発電機および圧電型発電機の製造方法

Country Status (2)

Country Link
US (2) US8575824B2 (enExample)
JP (1) JP5707839B2 (enExample)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8680751B2 (en) * 2010-12-02 2014-03-25 Georgia Tech Research Corporation Hybrid nanogenerator for harvesting chemical and mechanical energy
JP2013051236A (ja) * 2011-08-30 2013-03-14 Seiko Epson Corp 圧電素子ユニット、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置
JP6094075B2 (ja) * 2012-07-10 2017-03-15 Tdk株式会社 圧電素子及び圧電素子の製造方法
JPWO2014013638A1 (ja) * 2012-07-20 2016-06-30 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 発電モジュールおよびそれを用いた空調管理システム
WO2014016985A1 (ja) * 2012-07-24 2014-01-30 パナソニック株式会社 フローセンサおよびそれを用いた空調管理システム
KR101714713B1 (ko) * 2015-09-23 2017-03-09 숭실대학교산학협력단 센서 결합형 액추에이터 햅틱 소자와 그 제작방법
JP7108645B2 (ja) * 2020-01-27 2022-07-28 株式会社鷺宮製作所 計測システムおよび診断システム

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4287447A (en) * 1980-01-17 1981-09-01 Motorola, Inc. Crystal holder for different sizes of crystal
JPS6210911A (ja) * 1985-07-08 1987-01-19 Murata Mfg Co Ltd チツプ形電子部品
JPS6422776A (en) * 1987-07-20 1989-01-25 Hitachi Ltd Re-levelling device for elevator
JP3170965B2 (ja) 1993-08-04 2001-05-28 セイコーエプソン株式会社 発電機および携帯用機器
JP3840698B2 (ja) * 1996-07-03 2006-11-01 セイコーエプソン株式会社 圧電振動子
JP2993459B2 (ja) 1997-03-25 1999-12-20 セイコーエプソン株式会社 発電機および携帯用機器
JPH1118445A (ja) * 1997-06-19 1999-01-22 Daewoo Electron Co Ltd 圧電型発電機及びその製造方法
JPH11214947A (ja) * 1998-01-21 1999-08-06 Toyo Commun Equip Co Ltd 圧電デバイスのパッケージ構造
US6252336B1 (en) * 1999-11-08 2001-06-26 Cts Corporation Combined piezoelectric silent alarm/battery charger
JP4806850B2 (ja) * 2001-01-24 2011-11-02 パナソニック株式会社 アクチュエータ
JP2003078373A (ja) * 2001-08-31 2003-03-14 Kinseki Ltd 圧電振動子の製造方法
JP3995918B2 (ja) * 2001-10-29 2007-10-24 セイコーインスツル株式会社 表面実装型圧電振動子
JP3611840B2 (ja) * 2003-02-28 2005-01-19 太平洋セメント株式会社 圧電装置
WO2005104138A1 (en) * 2004-04-14 2005-11-03 Veeco Instruments Inc. Method and apparatus for obtaining quantitative measurements using a probe based instrument
JP2007267550A (ja) * 2006-03-29 2007-10-11 Kyocera Corp 圧電アクチュエータおよびその分極方法
JP5216210B2 (ja) * 2006-12-28 2013-06-19 日本電波工業株式会社 水晶振動片および水晶振動デバイス
WO2008121429A2 (en) * 2007-01-29 2008-10-09 Drexel University Energy harvesting device
US8400046B2 (en) * 2007-11-13 2013-03-19 Kohei Hayamizu Power generation unit
JP2010136542A (ja) 2008-12-05 2010-06-17 Seiko Epson Corp 圧電型発電機およびその製造方法
JP4849151B2 (ja) 2009-04-15 2012-01-11 セイコーエプソン株式会社 圧電型発電機
JP2010263431A (ja) * 2009-05-07 2010-11-18 Epson Toyocom Corp 弾性表面波デバイス
JP5533135B2 (ja) * 2010-03-30 2014-06-25 富士通株式会社 パッケージ、圧電振動子及び圧電発振器
JP2011004598A (ja) 2010-09-03 2011-01-06 Seiko Epson Corp 圧電型発電機および圧電型発電機を用いた電子機器

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2012085456A5 (enExample)
Saadon et al. A review of vibration-based MEMS piezoelectric energy harvesters
JP2013068616A5 (enExample)
WO2015088708A3 (en) Flexible micromachined transducer device and method for fabricating same
JP2013158909A5 (enExample)
JP2013539254A5 (enExample)
WO2009112968A3 (en) Operation of patterned ultrasonic transducers
WO2008155856A1 (ja) ハニカム構造体、及び、ハニカム構造体の製造方法
JP2015537439A5 (enExample)
JP2016513278A5 (enExample)
JP2015116696A5 (enExample)
JP2015034124A5 (enExample)
JP2014531526A5 (enExample)
JP2014168055A5 (enExample)
JP2010187197A5 (enExample)
CN103201868A (zh) 具有双层基底元件的机电转换器和这种机电转换器的制造方法
JP2009293252A5 (enExample)
JP2013111807A5 (enExample)
JP2017157773A5 (ja) 電気機械変換素子、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置及び電気機械変換素子の製造方法
EP2439844A3 (en) Bulk acoustic wave resonator, bulk acoustic wave filter and their corresponding methods of manufacture.
EP2502747A3 (en) Inkjet head and method of manufacturing the same
JP2012131224A5 (enExample)
JP2010533260A5 (enExample)
JP2011223489A5 (enExample)
EP2287934A3 (en) Columnar structure film and method of forming same, piezoelectric element, liquid ejection apparatus and piezoelectric ultrasonic oscillator