JP2012078153A - 光学式変位センサの調整方法、および光学式変位センサの製造方法 - Google Patents
光学式変位センサの調整方法、および光学式変位センサの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012078153A JP2012078153A JP2010222238A JP2010222238A JP2012078153A JP 2012078153 A JP2012078153 A JP 2012078153A JP 2010222238 A JP2010222238 A JP 2010222238A JP 2010222238 A JP2010222238 A JP 2010222238A JP 2012078153 A JP2012078153 A JP 2012078153A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- light receiving
- lens
- displacement sensor
- receiving lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/06—Systems determining position data of a target
- G01S17/46—Indirect determination of position data
- G01S17/48—Active triangulation systems, i.e. using the transmission and reflection of electromagnetic waves other than radio waves
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/026—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring distance between sensor and object
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C3/00—Measuring distances in line of sight; Optical rangefinders
- G01C3/02—Details
- G01C3/06—Use of electric means to obtain final indication
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/497—Means for monitoring or calibrating
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/497—Means for monitoring or calibrating
- G01S7/4972—Alignment of sensor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】所定の光学系を有する光学式変位センサ10において、所定の光学系をシャインプルーフの条件を満たすように調整する。所定の光学系は、測定対象物16に対して光を照射する投光モジュール9と、投光モジュール9からの光による測定対象物16からの反射光を受光する受光素子13と、測定対象物16と受光素子13との間に位置して、反射光を受光素子13に結像する受光レンズ14とを備え、調整方法は、受光レンズ14のみを、受光レンズ14の光軸方向(Z1方向)、および受光レンズ14の光軸方向に垂直な方向(X1方向)に移動させることにより調整する。
【選択図】図7
Description
Claims (5)
- 所定の光学系を有する光学式変位センサの調整方法であって、
前記所定の光学系は、測定対象物に対して光を照射する投光モジュールと、前記投光モジュールからの光による前記測定対象物からの反射光を受光する受光素子と、前記測定対象物と前記受光素子との間に位置して、前記反射光を前記受光素子に結像する受光レンズとを備え、
前記調整方法は、前記受光レンズのみを、前記受光レンズの光軸方向、および前記受光レンズの光軸方向に垂直な方向に移動させることにより調整する、光学式変位センサの調整方法。 - 前記調整方法は、前記所定の光学系をシャインプルーフの条件を満たすように調整する、請求項1に記載の光学式変位センサの調整方法。
- 前記投光モジュール、前記受光素子、および前記受光レンズは、前記光学式変位センサの筐体を構成する基準面上に配置されており、
前記調整方法は、前記受光レンズを、前記基準面上をスライドさせて移動させることにより調整する、請求項1または2に記載の光学式変位センサの調整方法。 - 前記投光モジュールは、光を照射する光源と、前記光源からの光を所定の形状に調整する投光レンズとを含み、
前記調整方法は、前記投光レンズを、前記投光レンズの光軸方向、前記投光レンズの光軸方向に垂直な方向であり前記基準面に平行な方向、および前記投光レンズの光軸方向に垂直な方向であり前記基準面に垂直な方向に移動させることにより調整する、請求項3に記載の光学式変位センサの調整方法。 - 測定対象物に対して光を照射する投光モジュールと、前記投光モジュールからの光による前記測定対象物からの反射光を受光する受光素子と、前記測定対象物と前記受光素子との間に位置して、前記反射光を前記受光素子に結像する受光レンズとを備える光学式変位センサの製造方法であって、
前記投光モジュール、および前記受光素子を、前記光学式変位センサの筐体を構成する基準面に固定する第一の取り付け工程と、
前記基準面を基準として、前記受光レンズを、前記受光レンズの光軸方向、および前記受光レンズの光軸方向に垂直な方向に移動させる受光レンズ移動工程と、
前記受光レンズ移動工程において移動させた位置に、前記受光レンズを前記基準面に固定する第二の取り付け工程とを備える、光学式変位センサの製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010222238A JP5418458B2 (ja) | 2010-09-30 | 2010-09-30 | 光学式変位センサの調整方法、光学式変位センサの製造方法、および光学式変位センサ |
CN201180015365.6A CN102834692B (zh) | 2010-09-30 | 2011-03-24 | 光学位移传感器的调整方法及光学位移传感器的制造方法 |
PCT/JP2011/057137 WO2012042944A1 (ja) | 2010-09-30 | 2011-03-24 | 光学式変位センサの調整方法、および光学式変位センサの製造方法 |
EP11828506.3A EP2538172B1 (en) | 2010-09-30 | 2011-03-24 | Method for adjusting optical displacement sensor and method for manufacturing optical displacement sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010222238A JP5418458B2 (ja) | 2010-09-30 | 2010-09-30 | 光学式変位センサの調整方法、光学式変位センサの製造方法、および光学式変位センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012078153A true JP2012078153A (ja) | 2012-04-19 |
JP5418458B2 JP5418458B2 (ja) | 2014-02-19 |
Family
ID=45892427
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010222238A Active JP5418458B2 (ja) | 2010-09-30 | 2010-09-30 | 光学式変位センサの調整方法、光学式変位センサの製造方法、および光学式変位センサ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP2538172B1 (ja) |
JP (1) | JP5418458B2 (ja) |
CN (1) | CN102834692B (ja) |
WO (1) | WO2012042944A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7478084B2 (ja) | 2020-11-20 | 2024-05-02 | 株式会社キーエンス | 光学測定装置 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6142501B2 (ja) | 2012-10-30 | 2017-06-07 | オムロン株式会社 | 光学式センサ |
US10152998B2 (en) * | 2014-04-07 | 2018-12-11 | Seagate Technology Llc | Features maps of articles with polarized light |
JP7147763B2 (ja) | 2017-07-31 | 2022-10-05 | 株式会社ニデック | 眼鏡枠形状測定装置、及びレンズ加工装置 |
CN109444913A (zh) * | 2018-12-28 | 2019-03-08 | 广州市合熠电子科技有限公司 | 一种数字智能型微型激光位移传感器及其测距方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06213657A (ja) * | 1993-01-20 | 1994-08-05 | Omron Corp | 測定距離可変型変位測定装置 |
JPH09257467A (ja) * | 1996-03-22 | 1997-10-03 | Omron Corp | 光学式変位測定装置 |
JP2001280911A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-10-10 | Matsushita Electric Works Ltd | 測距センサ及びその調整方法 |
JP2003004416A (ja) * | 2001-06-26 | 2003-01-08 | Omron Corp | 光学式変位センサ |
JP2004508560A (ja) * | 2000-09-08 | 2004-03-18 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 制御されたシャインプルークの条件によるトロリー線検査 |
JP2008145160A (ja) * | 2006-12-07 | 2008-06-26 | Keyence Corp | 光学式変位センサ及びその調整方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5032023A (en) * | 1990-07-02 | 1991-07-16 | General Electric Company | Optical fiber based sensor for a variable depth range camera |
JP2004117161A (ja) * | 2002-09-26 | 2004-04-15 | Sharp Corp | 光学式変位センサ |
-
2010
- 2010-09-30 JP JP2010222238A patent/JP5418458B2/ja active Active
-
2011
- 2011-03-24 EP EP11828506.3A patent/EP2538172B1/en active Active
- 2011-03-24 CN CN201180015365.6A patent/CN102834692B/zh active Active
- 2011-03-24 WO PCT/JP2011/057137 patent/WO2012042944A1/ja active Application Filing
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06213657A (ja) * | 1993-01-20 | 1994-08-05 | Omron Corp | 測定距離可変型変位測定装置 |
JPH09257467A (ja) * | 1996-03-22 | 1997-10-03 | Omron Corp | 光学式変位測定装置 |
JP2001280911A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-10-10 | Matsushita Electric Works Ltd | 測距センサ及びその調整方法 |
JP2004508560A (ja) * | 2000-09-08 | 2004-03-18 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 制御されたシャインプルークの条件によるトロリー線検査 |
JP2003004416A (ja) * | 2001-06-26 | 2003-01-08 | Omron Corp | 光学式変位センサ |
JP2008145160A (ja) * | 2006-12-07 | 2008-06-26 | Keyence Corp | 光学式変位センサ及びその調整方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7478084B2 (ja) | 2020-11-20 | 2024-05-02 | 株式会社キーエンス | 光学測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2538172A1 (en) | 2012-12-26 |
CN102834692B (zh) | 2015-02-25 |
WO2012042944A1 (ja) | 2012-04-05 |
EP2538172B1 (en) | 2019-09-04 |
JP5418458B2 (ja) | 2014-02-19 |
CN102834692A (zh) | 2012-12-19 |
EP2538172A4 (en) | 2014-12-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9041940B2 (en) | Three-dimensional shape measuring apparatus | |
TWI427265B (zh) | 測量裝置 | |
CN110741278A (zh) | Lidar光学对准系统和方法 | |
JP5418458B2 (ja) | 光学式変位センサの調整方法、光学式変位センサの製造方法、および光学式変位センサ | |
WO2011114571A1 (ja) | 物体検出装置および情報取得装置 | |
WO2012042943A1 (ja) | 投光ビームの調整方法 | |
JP2014179736A (ja) | カメラモジュール | |
JP2011145115A (ja) | 測距装置、測距用モジュール及びこれを用いた撮像装置 | |
JP5816836B2 (ja) | 光学素子保持体及びこれを用いたステレオ画像撮像装置 | |
JP2013124985A (ja) | 複眼式撮像装置および測距装置 | |
JP2013257162A (ja) | 測距装置 | |
JPWO2019159427A1 (ja) | カメラモジュール調整装置及びカメラモジュール調整方法 | |
JP6733895B1 (ja) | カメラモジュール製造装置及びカメラモジュール製造方法 | |
US20130242396A1 (en) | Focus position changing apparatus and confocal optical apparatus using the same | |
JP2020017559A5 (ja) | ||
US20150226543A1 (en) | Optical probe, attachable cover, and shape measuring apparatus | |
JP5218514B2 (ja) | 受光レンズの配置方法、および光学式変位センサ | |
CN110174077B (zh) | 3维测量装置、电子部件安装装置及3维测量方法 | |
WO2012176623A1 (ja) | 物体検出装置および情報取得装置 | |
US9588260B2 (en) | Microlens substrate and imaging apparatus | |
JP2018048860A (ja) | 三次元形状測定装置 | |
JP7035558B2 (ja) | ライダー装置 | |
JP2014048192A (ja) | 物体検出装置および情報取得装置 | |
JP2015148569A (ja) | 光学式プローブ、取付カバー、および形状測定装置 | |
WO2016031435A1 (ja) | 光学情報読み取り装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20130130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130205 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130404 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130611 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130910 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20130918 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131022 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131104 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5418458 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |