JP2012078145A - 表面光沢物の検査装置 - Google Patents
表面光沢物の検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012078145A JP2012078145A JP2010222075A JP2010222075A JP2012078145A JP 2012078145 A JP2012078145 A JP 2012078145A JP 2010222075 A JP2010222075 A JP 2010222075A JP 2010222075 A JP2010222075 A JP 2010222075A JP 2012078145 A JP2012078145 A JP 2012078145A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hologram
- light
- inspection
- inspection object
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
【解決手段】表面に光沢のある検査対象物を検査する検査装置であって、検査対象物を保持または搬送する検査対象物保持搬送手段と、検査対象物の表面状態を撮像可能な撮像手段と、検査対象物と撮像手段の間に配置されるホログラムと、ホログラムの撮像手段がわの面に平行光を照射する照明光源と、を有し、ホログラムは、照明光源から平行光を照射されたときに、前記検査対象物がわの面から所定の距離に収束するような収束光を回折光として発生させるものであり、検査対象物の表面に回折光が照射され、正反射した正反射光が収束する位置に撮像手段およびその撮像光学系が配置されていることを特徴とする表面光沢物の検査装置。
【選択図】図1
Description
このため、このような検査装置には多数のセンサやカメラが使用される場合が多い。しかし、多数のセンサやカメラを用いると、装置が複雑になり、装置価格が高くなるという課題があった。
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、収束光を発する照明光源を用いて、1台のカメラが検査できる面積を広げることにより、少ない台数のカメラで、広い面積の検査を行えるようにすることを目的にしている。
表面に光沢のある検査対象物を検査する検査装置であって、
前記検査対象物を保持または搬送する検査対象物保持搬送手段と、
前記検査対象物の表面状態を撮像可能な撮像手段と、
前記検査対象物と前記撮像手段の間に配置されるホログラムと、
前記ホログラムの前記撮像手段がわの面に平行光を照射する照明光源と、を有し、
前記ホログラムは、前記照明光源から平行光を照射されたときに、前記検査対象物がわの面から所定の距離に収束するような収束光を回折光として発生させるものであり、
前記検査対象物の表面に前記回折光が照射され、正反射した正反射光が収束する位置に前記撮像手段およびその撮像光学系が配置されていることを特徴とする表面光沢物の検査装置、としたものである。
前記ホログラムとして、前記ラインカメラの撮像画素の並び方向と同じ方向に長いものを用い、
前記照明光源が照射する平行光は、ホログラムの面に対して斜め方向から入射していることを特徴とする、請求項1〜2のいずれかに記載の表面光沢物の検査装置、である。
以上のようにして、本発明の第一の実施形態の検査装置に用いているような、平行光を入射したときに回折光として収束光を射出するようなホログラム2が得られる。
上述のような機能を有するホログラム2としては、表面レリーフ型ホログラムや体積型ホログラムを利用することが出来る。
このため、光源の波長が広い範囲であると、カメラに入らない無駄な光が増えることになる。また、光の拡散性が増すことで、表面の凸凹状態に対する検出特性も悪くなりやすい。
それで、図6に概略的に示すように、なるべく狭い波長範囲のみで発光するような光源を用いるほうが適している。このような狭い波長幅で発光する光源としては、例えば単色のLED光源などがある。
例えば、20cm径の照明光源を用いた場合、80度の角度から照明すると、長手方向では約1.15mの範囲を照明できるので、それに合わせたホログラムを用意しておけば、広い範囲の収束光を得ることができる。
なお、この形であれば、広い幅の収束光が、場所をとらない照明装置で実現できるという利点もある。
このようにして、カメラで見たときのAGフィルムが適当な明るさ(出力最大値の半分くらい)になるようにカメラの感度を調整し、テストしたところ、幅方向で、約30cmの範囲の画像を取得することができた。
一方、異物がのっているなどで盛上ったり、傷がついたりした部分は、暗い影として観察されたので、欠陥として識別することができた。
このため、検査装置をシンプルで安価なものにすることができ、さらには製品の価格を安価にできる。
2・・・ホログラム
3・・・カメラ
4・・・照明光
5・・・回折光
6・・・検体
7・・・反射光
8・・・レーザー光
9・・・拡散板
10・・・マスク
11・・・開口部
12・・・物体光
13・・・感光材料
14・・・参照光
15・・・再生光
16・・・回折光
17・・・撮像波長での回折光
18・・・別波長での回折光
19・・・LED
20・・・凸レンズ
21・・・フィルム(検体)
Claims (5)
- 表面に光沢のある検査対象物を検査する検査装置であって、
前記検査対象物を保持または搬送する検査対象物保持搬送手段と、
前記検査対象物の表面状態を撮像可能な撮像手段と、
前記検査対象物と前記撮像手段の間に配置されるホログラムと、
前記ホログラムの前記撮像手段がわの面に平行光を照射する照明光源と、を有し、
前記ホログラムは、前記照明光源から平行光を照射されたときに、前記検査対象物がわの面から所定の距離に収束するような収束光を回折光として発生させるものであり、
前記検査対象物の表面に前記回折光が照射され、正反射した正反射光が収束する位置に前記撮像手段およびその撮像光学系が配置されていることを特徴とする表面光沢物の検査装置。 - 前記照明光源として、所定波長域の狭い波長幅で発光する光源を用いることを特徴とする、請求項1記載の表面光沢物の検査装置。
- 前記撮像手段としてラインカメラを使用し、
前記ホログラムとして、前記ラインカメラの撮像画素の並び方向と同じ方向に長いものを用い、
前記照明光源が照射する平行光は、ホログラムの面に対して斜め方向から入射していることを特徴とする、請求項1〜2のいずれかに記載の表面光沢物の検査装置。 - 前記ホログラムとして表面レリーフ型ホログラムを用いていることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の表面光沢物の検査装置。
- 前記ホログラムとして体積型ホログラムを用いていることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の表面光沢物の検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010222075A JP5740894B2 (ja) | 2010-09-30 | 2010-09-30 | 表面光沢物の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010222075A JP5740894B2 (ja) | 2010-09-30 | 2010-09-30 | 表面光沢物の検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012078145A true JP2012078145A (ja) | 2012-04-19 |
JP5740894B2 JP5740894B2 (ja) | 2015-07-01 |
Family
ID=46238574
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010222075A Expired - Fee Related JP5740894B2 (ja) | 2010-09-30 | 2010-09-30 | 表面光沢物の検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5740894B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0545115A (ja) * | 1991-08-12 | 1993-02-23 | Fuji Photo Optical Co Ltd | ホログラム干渉計 |
JPH07332946A (ja) * | 1994-06-07 | 1995-12-22 | Fuji Photo Optical Co Ltd | シリンドリカル光学素子測定用ホログラム干渉計装置 |
JP2000097864A (ja) * | 1998-09-21 | 2000-04-07 | Olympus Optical Co Ltd | 外観検査用投光装置 |
-
2010
- 2010-09-30 JP JP2010222075A patent/JP5740894B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0545115A (ja) * | 1991-08-12 | 1993-02-23 | Fuji Photo Optical Co Ltd | ホログラム干渉計 |
JPH07332946A (ja) * | 1994-06-07 | 1995-12-22 | Fuji Photo Optical Co Ltd | シリンドリカル光学素子測定用ホログラム干渉計装置 |
JP2000097864A (ja) * | 1998-09-21 | 2000-04-07 | Olympus Optical Co Ltd | 外観検査用投光装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5740894B2 (ja) | 2015-07-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5175842B2 (ja) | 透明基板の欠陥の特性評価のための装置及び方法 | |
TW200839227A (en) | Automatic inspection system for flat panel substrate | |
JP2009092407A5 (ja) | ||
JP7183155B2 (ja) | 透明基板上の欠陥部検査方法および装置 | |
JP2019523865A5 (ja) | 基板検査方法、装置及びシステム | |
CN104412079A (zh) | 表面特征映射 | |
JP2011085520A (ja) | 欠陥判別装置、欠陥判別方法及びシート状物 | |
JP7183156B2 (ja) | 透明基板上の欠陥部の検査方法および装置並びに入射光の出射方法 | |
JP2008157788A (ja) | 表面検査方法及び表面検査装置 | |
JP2009092426A (ja) | 表面検査方法及び表面検査装置 | |
JP2014240766A (ja) | 表面検査方法および表面検査装置 | |
JP2010281772A (ja) | シート状透明体の凹凸を主とした欠陥検査方法 | |
JP2009109263A (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
JP2005003691A5 (ja) | ||
JP5740894B2 (ja) | 表面光沢物の検査装置 | |
JP2013246059A (ja) | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 | |
JP6381865B2 (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
JP2018040761A (ja) | 被検査物の外観検査装置 | |
JP2005274173A (ja) | ウエハー基板、液晶ディスプレイ用透明ガラス等の被検査物の表面上の異物・表面検査方法およびその装置 | |
JP2004144565A (ja) | ホログラムの欠陥検出装置および欠陥検出方法 | |
JP7448808B2 (ja) | 表面検査装置及び表面検査方法 | |
JP2012068211A (ja) | シート部材の歪み検査装置及びシート部材の歪み検査方法 | |
JP4903658B2 (ja) | 表面検査方法及び表面検査装置 | |
JP2005043229A (ja) | 透明板欠陥検査装置 | |
JP4534827B2 (ja) | フィルムの欠陥検出方法および欠陥検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130823 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140924 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141120 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150331 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150413 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5740894 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |