JP2012074684A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る半導体装置は、第1の方向に平行に延在する第1素子分離溝部とそれに交差する方向に延在する第2素子分離溝部とが交互に連なってなる素子分離溝に第1絶縁膜を埋め込んで形成された素子分離領域を複数備え、素子分離領域間に第1素子形成部と第2素子形成部とが交互に連なってなる素子形成領域を複数備え、各第1素子形成部は所定数の第1半導体ピラーを備え、各第2素子形成部は第2半導体ピラーを備え、各素子形成領域はピラーの下部に不純物拡散層からなる第1のビット線を備え、ピラーの上部に上部不純物拡散層を備え、各素子形成領域の第2半導体ピラーの上部不純物拡散層に電気的に接続する第1のビット線より低抵抗の第2のビット線を備え、ピラーの下部側壁に第2絶縁膜を介して第2の方向に延在するワード線を備えることを特徴とする。
【選択図】図14B
Description
、トランジスタの形成される領域(活性領域)が減少している。プレナー型トランジスタ
では、活性領域の大きさが減少するにつれて、チャネル長やチャネル幅が減少し、短チャ
ネル効果等の問題が発生している。
そこで、プレナー型トランジスタに代わり、微細化された領域でもチャネル長及びチャ
ネル幅を確保できる縦型トランジスタを備えた半導体装置が提案されている(特許文献1、2)。
以下の実施形態では、実施例を併せて説明するが、具体的に示した材料や寸法等の条件は例示に過ぎない。
まず、図1A〜図1Cに示す本発明を適用した半導体装置の一例である半導体記憶装置(DRAM)の構造について説明する。
なお、図1Aはこの半導体装置100を示す平面レイアウト図、図1Bは図1Aで示す半導体装置100の切断線A−A’による断面図、図1Cは図1Aで示す半導体装置100の切断線B−B’による断面図である。
図2は、図1A〜図1Cに示す半導体装置100のメモリセル部の一例の回路図を示したものである。
この縦型トランジスタTrは、ゲート絶縁膜7を介して一対の埋め込みワード線(ゲ
ート電極)Wが半導体ピラー1bの両側面と対向する、いわゆるダブルゲート構造を有している。したがって、本実施例において、縦型トランジスタを構成する半導体ピラー1bはY方向に対面する二つの側面を素子分離絶縁膜4で囲まれ、X方向に対面する二つの側面をゲート絶縁膜7を介して埋め込みワード線Wで囲まれる構成となっている。また、水平活性領域50aに形成されている4つの半導体ピラー用の埋め込みゲート電極(ワード線)Wは、埋め込みビット線B1と、キャパシタ27に接続される上部不純物拡散領域5とを導通させるスイッチングトランジスタのゲート電極として機能するものである。一方、傾斜活性領域50bに形成されている一つの半導体ピラー用の埋め込みゲート電極(ワード線)WBは、埋め込みビット線B1と、半導体基板1の上面に設けられる第2のビット線とを導通させるスイッチングトランジスタのゲート電極として機能するものである。
なお、本実施形態ではゲート電極(ワード線)W及びゲート電極(ワード線)WBは、2層(8,9)からなるが、図中の引き出し線は便宜的に符号8で示す層から引き出しているものもある。
なお、キャパシタ27については、図示した構造以外でもよく、その構造について特に限定されるものではない。
各メモリセルは、縦型トランジスタTrとキャパシタ27とを備えている。キャパシタ27は縦型トランジスタTrを介して不純物拡散層からなるビット線(第1のビット線)B1に接続され、縦型トランジスタはワード線Wにより駆動される。第2のビット線B2は4個のメモリセルごとに1つのビット線用スイッチングTrを介して不純物拡散層からなるビット線(第1のビット線)B1と接続されている。各ワード線Wをオン状態にすると各ビット線にキャパシタ27から蓄積電荷が流れ、各ビット線の終端に接続された差動アンプにより1、0の判定を行う構成とされている。
次に、本発明を適用した半導体装置の製造方法について図3〜図17を参照して説明す
る。
なお、以下の説明では、上記半導体装置100と同等の部位については、説明を省略すると共に、図面において同じ符号を付すものとする。
図3Aは平面図を示し、図3Bは図3AのB−B’断面を示している。図4Aおよび図4Bも同じ関係となっている。
本発明を適用した半導体装置100の製造方法では、先ず、図3Aおよび図3Bに示すように、半導体基板1を用意し、この半導体基板1上に絶縁膜2を成膜した後、この絶縁膜2にフォトリソグラフィ法とドライエッチング法によって、全体としてX方向(第1の方向)に延在する複数の開口を有する素子分離領域パターンを形成する。素子分離領域パターンはスネークパターンとする。パターニングした絶縁膜マスク2をマスクとして、ドライエッチング法を用いて半導体基板1にスネークパターンとなる素子分離溝4a(すなわち、各素子分離溝4aは、X方向に平行に延在する第1素子分離溝部4aaと、X方向に交差する方向に延在する第2素子分離溝部4abとが交互に連なってなる)を形成する。この素子分離溝4aの形成によって、隣接する素子分離溝4aの間に半導体プレート1aが形成される。半導体プレート1aは素子形成領域50を構成する。一つの素子形成領域50は、X方向に延在する水平活性領域50aとX方向から傾斜した傾斜活性領域50bとの組み合わせを単位活性領域50cとしている。一つの素子形成領域50において、隣接する単位活性領域50cは、Y方向(X方向に直交する方向)に上下逆転した形状でX方向に繰り返し接続配置されている。したがって、一つの素子形成領域50は、傾斜活性領域50bの中心点を結んだ線(A−A’線に相当)を中心にしてX方向の一定間隔ごとに、水平活性領域50aが反対側に位置している構成となっている。したがって、素子形成領域50は素子分離領域パターンと同じスネークパターンを有することとなる。逆にいえば、素子形成領域50をスネークパターンで構成するために、素子分離領域パターンをスネークパターンとして形成している。本実施例では素子形成領域50をスネークパターンで形成することが必要である。
次に、熱処理により、図4Bに示すように、素子分離溝4aの底部に注入された不純物を半導体プレート1aの中心側へ拡散させて不純物拡散領域3の幅を拡げる。これにより、半導体プレート1aの下方に二つの拡散層からなるビット線(第1のビット線)B1を形成する。第1のビット線B1はスネークパターンを有する半導体プレート1aの形状になぞって形成されるので同じスネークパターンを有することとなる。
具体的には例えば、不純物としてリンを注入してn型拡散領域5を形成する。
図5A、図5Cは平面図、図5Bは図5AのA−A’断面図である。
次に、図5Aおよび図5Bに示すように、絶縁膜6を全面に成膜し、その絶縁膜6にフォトリソグラフィ法とドライエッチング法によってY方向(第2の方向)に直線で延在する複数の開口を有するワード線形成用溝パターンを形成する。パターニングした絶縁膜マスク6をマスクとして、半導体プレート1aと第1絶縁膜4とに連通したY方向(第2の方向)に延在するワード線形成用溝8aをドライエッチング法を用いて形成する。このワード線形成用溝8aの形成により、半導体プレート1aはX方向(第1の方向)で分離されて、半導体ピラー1bが形成される。ワード線形成用溝8aは、第1のビット線B1を深さ方向に貫通しない深さで形成する。ここで、第1のビット線を貫通する深さで形成してしまうとスネークパターンで延在している第1のビット線が分断され、連続性が失われることとなる。
図6Aは平面図、図6Bは図6AのA−A’断面図である。
次に、図6Bに示すように、ワード線形成用溝8a内にゲート絶縁膜(第2絶縁膜)7を形成する。さらに、図6Aおよび図6Bに示すように、ワード線形成用溝(第2の溝部)8aの側壁すなわち、半導体ピラー1bのY方向(第2の方向)に平行な側面にゲート酸化膜7を介して、埋め込みワード線(ワード線)Wを形成する。本実施形態では、この埋め込みワード線(ワード線)Wは半導体ピラー1bのY方向(第2の方向)に平行な2つの側面に対して形成されて対となる、いわゆるダブルゲート構造を有するものである。
これにより、水平活性領域50aに形成された各々のキャパシタ半導体ピラー(第1半導体ピラー)1baにはDRAMのワード線となる埋め込みワード線Wが形成される。埋め込みワード線Wは、Y方向に配置された複数のキャパシタ半導体ピラー1baからなるスイッチング用縦型トランジスタのゲート電極として機能する。また、同時に、傾斜活性領域50bに形成されY方向に配置された複数のビット線半導体ピラー(第2半導体ピラー)1bbには第1および第2ビット線を導通させるスイッチング用縦型トランジスタを駆動させるための埋め込みゲート電極WBが形成される。
図7Aは平面図、図7Bは図7AのA−A’断面図である。
次に、図7Aおよび図7Bに示すように、埋め込みワード線W(タングステン膜9及び窒化チタン膜8)上に、埋め込み絶縁膜(第3絶縁膜)10、埋め込み絶縁膜11を形成する。
図8Aは平面図、図8Bは図8AのC−C’断面図である。
次に、図8Aおよび図8Bに示すように、埋め込み絶縁膜10に、Y方向(第2の方向)に並ぶ一列の複数のビット線半導体ピラー1bbの上面(第1の上面)を列ごとに一括で露出させる直線状の第2のビット線コンタクト用開口12aを、X方向(第1の方向)に所定数の半導体ピラーの列ごとに複数形成する。図8Aに示すように、一括で開けたこの第2のビット線コンタクト用開口12aにはビット線半導体ピラー(第2半導体ピラー)1bbの上面(第1の上面)と素子分離領域40の一部とが露出することになる。露出したビット線半導体ピラー1bbの上面(第1の上面)で第2のビット線とコンタクトすることになる。
図9Aは平面図、図9Bは図9AのC−C’断面図である。
次に、図9Aおよび図9Bに示すように、上面が露出したビット線半導体ピラー1bbの上面(第1の上面)に電気的に接続するように、全面に導電膜13、14を形成し、さらに絶縁膜(第4絶縁膜)15を積層形成する。その後、フォトリソグラフィ法およびドライエッチング法により、絶縁膜15、導電膜14および13を順次エッチングし、X方向(第1の方向)に直線で延在する第2のビット線B2を形成する。
なお、図示していないが、ポリシリコン膜13とタングステン膜14との間に、窒化タングステンやタングステンシリサイド等からなるバリア層を形成する。
次に、図10〜図15を用いて、キャパシタコンタクトプラグの形成工程について説明する。
まず、図10Aおよび図10Bに示すように、第2のビット線B2及びその上の絶縁膜(第4絶縁膜)15に、サイドウォール絶縁膜16,ライナー絶縁膜17,絶縁膜(第5絶縁膜)19を形成する。
次に、図11Aおよび図11Bに示すように、Y方向に配置されている複数のビット線半導体ピラー1bbの鉛直上方の絶縁膜(第5絶縁膜)19上に、Y方向に直線で延在する図示しないマスク膜を形成する。その後、マスク膜をマスクとして、絶縁膜(第5絶縁膜)19及び埋め込み絶縁膜(第3絶縁膜)10をドライエッチング法によりエッチングする。これにより、複数のビット線半導体ピラー(第2半導体ピラー)1bbの鉛直上方に位置し、Y方向に延在する衝立状のシリコン酸化膜からなる分離補助絶縁膜20が形成される。また、同時にキャパシタ半導体ピラー(第1半導体ピラー)1baの上面が露出する。本実施例では、絶縁膜(第5絶縁膜)19をシリコン酸化膜で構成し、第2のビット線B2上の絶縁膜(第4絶縁膜)15をシリコン窒化膜で構成している。したがって、分離補助絶縁膜20を形成するドライエッチングにおいてエッチング中に絶縁膜(第4絶縁膜)15の表面が露出するが、エッチング条件を調整することによって絶縁膜15を残存させることができる。
次に、図12Aおよび図12Bに示すように、凹部20aを埋設するように容量コンタクトプラグ用導電膜を全面に成膜する。その後、絶縁膜(第4絶縁膜)15の上面が露出するまで容量コンタクトプラグ用導電膜をドライエッチング法によりエッチバックする。これにより、容量コンタクトプラグ用導電膜は、絶縁膜(第4絶縁膜)15によって、Y方向(第2の方向)において分離される。また、Y方向に延在する分離補助絶縁膜20によりX方向において分離されている。すなわち、容量コンタクトプラグは、X方向に延在する第2のビット線B2および絶縁膜15と、Y方向に延在する分離補助絶縁膜20とで区画された凹部20a全体を埋設する容量コンタクトプラグ21となっている。
次に、図13Aおよび図13Bに示すように、図12で示した工程においてY方向(第2の方向)で分離された容量コンタクトプラグ21を、X方向(第1の方向)でキャパシタ半導体ピラー(第1半導体ピラー)1ba毎に分離するのに用いるマスクを形成するための積層絶縁膜(第6絶縁膜)を全面に形成する。積層絶縁膜(第6絶縁膜)を用いてかかるマスクを形成するため、隣接する絶縁膜に対してエッチング選択性を有するような積層膜を用いる。例えば、エッチング速度が異なる2種類の絶縁膜を交互に積層して形成する積層膜を用いる。
次に、図14Aおよび図14Bに示すように、上面が露出している中間層23をドライエッチング法によりエッチバックする。このドライエッチング法においては、シリコン酸化膜よりもシリコン窒化膜のエッチング速度が速いエッチング条件を用いる。例えば、CH2F2/Ar/O2の混合ガスプラズマを用いることができる。したがって、シリコン酸化膜からなるサイドウォール24Aおよび24Bはマスクとして機能し、その下には中間層となるシリコン窒化膜23が残存する。これにより、第1凹部22a内には、Y方向に延在する3つの溝、24a、24b、24cが形成される。3つの溝24a、24b、24cの各々の幅は50nmとなっている。また、同時にシリコン窒化膜23が残存した部分以外の部分には最下層となる第1シリコン酸化膜22の上面が露出する。
次に、図15Aおよび図15Bに示すように、シリコン酸化膜からなる最下層の絶縁膜22で構成されるマスク部22d、22e、22f、22gからなるマスク膜をマスクとしてポリシリコン膜からなる容量コンタクトプラグ21をドライエッチングする。これにより、4つのキャパシタ半導体ピラー1baに接続し、各々独立した容量コンタクトプラグ25が形成される。
次に、図16Aおよび図16Bに示すように、全面に絶縁膜26を形成する。
具体的には例えば、CVD法によりシリコン窒化膜26を30nm成膜する。
したがって、本発明によれば、2より大きいn個のキャパシタ半導体ピラーが存在する場合、X方向に区画する分離補助絶縁膜上に、各々エッチング速度が異なる絶縁膜を(n−1)層だけ交互に積層成膜することによりn個の凹部を形成して最終的に最下層絶縁膜にn個のマスク部を形成することができる。
上記実施形態では各積層絶縁膜の膜厚を50nmで一定としたが、膜厚を調整することによって、マスク部のX方向の寸法を変化させることができる。また、上記実施形態ではキャパシタ半導体ピラー上に接続する容量コンタクトプラグを例として説明したが、半導体ピラーに代えて、ポリシリコンで構成されるコンタクトプラグであっても良い。
1a 半導体プレート
1b 半導体ピラー
1ba 第1半導体ピラー
1bb 第2半導体ピラー
4 素子分離絶縁膜(第1絶縁膜)
4a 素子分離溝
4aa 第1素子分離溝部
5 上部不純物拡散領域
7 ゲート絶縁膜(第2絶縁膜)
8 窒化チタン膜(ワード線)
8a ワード線形成用溝(第2の溝部)
9 タングステン膜(ワード線)
10 埋め込み絶縁膜(第3絶縁膜)
13 ポリシリコン膜(第2のビット線)
14 タングステン膜(第2のビット線)
15 シリコン窒化膜(第4絶縁膜)
19 シリコン酸化膜(第5絶縁膜)
20 分離補助パターン
21 ポリシリコン膜(導電膜)
22 第1シリコン酸化膜(第6絶縁膜)
23 シリコン窒化膜(第6絶縁膜)
24 第2シリコン酸化膜(第6絶縁膜)
25 キャパシタコンタクトプラグ
27 下部電極(キャパシタ)
40 素子分離領域
50 素子形成領域
50a 水平活性領域(第1素子形成部)
50b 傾斜活性領域(第2素子形成部)
50c 単位活性領域
100 半導体装置
B1 第1のビット線
B2 第2のビット線
W ワード線
Claims (12)
- 半導体基板の主面に、前記第1の方向に平行に延在する第1素子分離溝部と前記第1の方向に交差する方向に延在する第2素子分離溝部とが交互に連なってなる素子分離溝に、第1絶縁膜を埋め込んで形成された素子分離領域を複数備え、これら素子分離領域間に、前記第1の素子分離溝部に沿って延在する第1素子形成部と前記第2の素子分離溝部に沿って延在する第2素子形成部とが交互に連なってなる素子形成領域を複数備え、
各第1素子形成部は、前記第1の方向に沿って離間して並ぶ所定数の第1半導体ピラーを備え、
各第2素子形成部は、第2半導体ピラーを備え、
各素子形成領域は、前記第1半導体ピラー及び前記第2半導体ピラーの下部に、その素子形成領域が備える第1半導体ピラー及び第2半導体ピラー間で接続された、不純物拡散層からなる第1のビット線を備え、
前記第1半導体ピラー及び前記第2半導体ピラーの上部には上部不純物拡散層を備え、
各素子形成領域の前記第2半導体ピラーの上部の上部不純物拡散層に電気的に接続すると共に、前記第1の方向に延在する、前記第1のビット線より低抵抗の第2のビット線を備え、
前記第1半導体ピラー及び前記第2半導体ピラーの下部側壁に、第2絶縁膜を介して前記第2の方向に延在するワード線を備えた、ことを特徴とする半導体装置。 - 前記第1のビット線は、前記第2の方向に離間して配置する一対の部分からなることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記ワード線は、前記第1の方向に離間して配置する一対の部分からなることを特徴とする請求項1又は2のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記第1のビット線は前記半導体基板に不純物を拡散させてなることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記第2のビット線は金属層を含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記第1半導体ピラーの上部の上部不純物拡散層に電気的に接続するコンタクトプラグを介して接続されたキャパシタを備えたことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 半導体基板の主面に、絶縁膜マスクを用いて、前記第1の方向に平行に延在する第1素子分離溝部と、前記第1の方向に交差する方向に延在する第2素子分離溝部とが交互に連なってなる素子分離溝を前記第2の方向に離間して並ぶように複数形成すると共に、これによって隣接する素子分離溝間に、前記第1の素子分離溝部に沿って延在する第1素子形成部と、前記第2の素子分離溝部に沿って延在する第2素子形成部とが交互に連なってなる半導体プレートを複数形成する工程と、
前記素子分離溝の底部に不純物イオンを注入して、前記半導体プレートの下部にその延在する方向に沿って不純物拡散層からなる第1のビット線を形成する工程と、
前記素子分離溝に第1絶縁膜を埋め込んで素子分離領域を形成する工程と、
前記絶縁膜マスクを介して不純物イオンを注入して前記半導体プレートの上部に上部不純物拡散層を形成する工程と、
前記第2の方向に延在するワード線形成用溝を前記第1の方向に離間して並ぶように複数形成し、これによって前記半導体プレートを分離して、各第1素子形成部に所定数の半導体ピラー(第1半導体ピラー)を形成すると共に各第2素子形成部に半導体ピラー(第2半導体ピラー)を形成する工程と、
前記ワード線形成用溝の下部側壁に第2絶縁膜を介してワード線を形成する工程と、
前記ワード線形成用溝内の内壁及び前記ワード線上を覆うように全面に、第3絶縁膜を形成する工程と、
前記第2半導体ピラー上の前記第3絶縁膜を除去して、その上面を露出させる工程と、
前記第1の方向において隣接する前記第2半導体ピラーの露出された上部不純物拡散層に電気的に接続するように、前記第1の方向に延在する前記第1のビット線より低抵抗の第2のビット線を、前記第2の方向に離間して並ぶように複数形成する工程と、
前記第2のビット線上に第4絶縁膜を形成する工程と、
前記第4絶縁膜を埋め込むように、全面に第5絶縁膜を堆積する工程と、
前記第2半導体ピラーの上方を覆うように前記第2の方向に延在する帯状部が前記第1の方向に離間して複数並ぶマスクを用いて、前記絶縁膜(第5絶縁膜)及び前記第3絶縁膜をエッチングして、前記第2半導体ピラーの上方に前記第2の方向に延在する第5絶縁膜からなる複数の帯状部が並ぶ分離補助絶縁膜を形成すると共に、前記第1半導体ピラーの上面を一括して露出させる工程と、
全面にコンタクトプラグ用導電膜を堆積した後、前記第4絶縁膜の上面より低い上面を有するように前記コンタクトプラグ用導電膜をエッチバックする工程と、
全面に、エッチング速度が異なる絶縁膜が隣接するように積層してなる第6絶縁膜を形成する工程であって、前記導電膜の上面及び前記第4絶縁膜の上面を底面としかつ前記分離補助絶縁膜の側壁を側面として前記第2の方向に延在する凹部内に、前記第6絶縁膜を構成する絶縁膜がそれぞれ順に凹部を形成する工程と、
前記第6絶縁膜を構成する絶縁膜を最上膜から順に、隣接する絶縁膜に対してエッチング選択性を有する条件でエッチングして、前記第6絶縁膜を構成する絶縁膜からなるマスク部を有するマスク膜を形成する工程と、
前記マスク膜を用いてエッチングを行って、前記コンタクトプラグ用導電膜を各第1半導体ピラーごとのコンタクトプラグに分離する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第1半導体ピラーの所定数がn個であり、前記第6絶縁膜を構成する絶縁膜が(n−1)層であることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1のビット線を形成する際に前記素子分離溝の底部に注入した不純物を前記半導体プレートの下部へ拡散させ、その後、前記素子分離溝をさらに掘り込むと共にその素子分離溝に前記第1絶縁膜を埋め込んで素子分離領域を形成する工程を行うことにより、前記第1のビット線を前記第2の方向に離間して配置する一対の部分からなるものとする、ことを特徴とする請求項7又は8のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2半導体ピラー上の前記第3絶縁膜を除去してその上面を露出させた後に、その上面から不純物を注入することを特徴とする請求項7〜9のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第6絶縁膜がシリコン酸化膜とシリコン窒化膜を交互に積層してなることを特徴とする請求項7〜10のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記コンタクトプラグに接続するキャパシタを形成する工程を有することを特徴とする請求項7〜11のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
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