JP2012073275A - 光学的表面特性の検査装置および検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、表面の光学的特性を検査するための装置に関するものであり、所与の一つ目の立体角で検査表面に光を照射する、少なくとも一つの主照射装置を備え、表面に照射され、そこから反射して戻ってきた光を補足するための少なくとも一つの主検出装置を備え、このとき主検出装置は位置分解して光を検出することができ、所与の二つ目の立体角で表面に対して配置されており、少なくとも一つの副照射装置または副検出装置を備え、これは所与の三つ目の立体角で光を検査表面に照射するか、または表面に照射されてここから反射して戻ってきた光を検出する。
【選択図】図1
Description
方向で放射された光を検出するのが望ましいことを意味している。
4 光センサ
7 カメラ、主光検出器
8 開口部
12 空洞
13 副光検出器
14 副光検出器
15 主照射装置
16 副光検出器
17 副光検出器
18 副光検出器
19 副照射装置
22 ケーシングセクション
Claims (26)
- 光学的表面特性を検査する装置において、
所定の立体角で光を検査表面(3)に照射する、少なくとも一つの照射装置(15、19、6)を備え、
前記検査表面に照射され、前記検査表面から反射した光を捕捉するための、一つの位置分解を行う検出器(7)を備え、その際、前記位置分解を行う検出器(7)は位置分解して光を検出できるとともに、所定の立体角で前記検査表面(3)に対して配置されており、
少なくとも一つの統合を行う検出器(4;13、14、16、17、18)を備え、前記検出器は、前記検査表面(3)に照射され、前記検査表面から反射した光を、所定の立体角で検出し、光の強度およびスペクトル特性を検査することが可能であり、
立体角は、それぞれ第1部分立体角αおよび第2部分立体角βから成る組(α;β)であると理解され、前記立体角においては、前記第1部分立体角αは、カーテシアン座標系の原点から始まる半直線により規定される空間方向の、正のz軸に対するx/z平面上の投影角を表しており、前記第2部分立体角βは、カーテシアン座標系の原点から始まる半直線により規定される空間方向の、正のz軸に対するy/z平面上の投影角を表しており、前記座標系は、前記検査表面(3)が少なくとも部分的にx/y平面に位置するように向けられていることを特徴とする光学的表面特性を検査する装置。 - 前記少なくとも一つの照射装置(15、19、6)の内少なくとも一つの照射装置が、拡散光または指向性を持たない光を、さまざまな立体角で前記検査表面(3)に照射することを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 前記少なくとも一つの照射装置(15、19、6)の内少なくとも一つの照射装置が、指向性を持つ光を照射することを特徴とする、請求項1または請求項2に記載の装置。
- 前記少なくとも一つの照射装置(15、19、6)の内少なくとも一つの照射装置が、拡散光または指向性を持たない光を照射し、前記少なくとも一つの照射装置(15、19、6)の内少なくとも一つの照射装置が、指向性を持つ光を照射することを特徴とする、請求項1または2に記載の装置。
- 拡散光または指向性を持たない光を照射する前記少なくとも一つの照射装置(15、19、6)の内少なくとも一つの前記照射装置と、指向性を持つ光を照射する前記少なくとも一つの照射装置(15、19、6)の内少なくとも一つの前記照射装置とが、任意の選択によって、同時または時間的にずらして光を照射できることを特徴とする、請求項4に記載の装置。
- 前記少なくとも一つの照射装置(15、19、6)の内少なくとも一つの照射装置が、発光スペクトルの異なる複数の光源を備えることを特徴とする、請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の装置。
- 前記位置分解を行う検出器(7)が、色分解して光を検出できる、平面状の画像捕捉要素を備えることを特徴とする、請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の装置。
- 前記少なくとも一つの照射装置(15、19、6)ならびに前記検出器(7;4;13、14、16、17、18)が、光を透過しない一つの共通のケーシング(21)に収められており、前記ケーシングは開口部(8)を備えており、前記開口部を通って前記光が前記検査表面(3)に導かれることを特徴とする、請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の装置。
- 前記位置分解を行う検出器(7)が、(0°;0°)の立体角で前記検査表面(3)の上方に配置されていることを特徴とする、請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の装置。
- 前記照射装置(15、19、6)の内少なくとも一つの照射装置が、(−45°;β)、(−15°;β)、(75°;β)の角度を含むグループから選ばれる立体角で前記検査表面(3)に対して配置されていることを特徴とする、請求項1から請求項9のいずれか一項に記載の装置。
- 前記照射装置(15、19、6)の内少なくとも一つの照射装置が、数値的に(70°;β)より大きい角度の立体角で前記検査表面(3)に対して配置されていることを特徴とする、請求項1から請求項10のいずれか一項に記載の装置。
- 前記検出器(7;4;13、14、16、17、18)の内少なくとも一つの検出器が、数値的に(70°;β)より大きい角度の立体角で前記検査表面(3)に対して配置されていることを特徴とする、請求項1から請求項11のいずれか一項に記載の装置。
- 前記統合を行う検出器(4;13、14、16、17、18)の内少なくとも二つの検出器が、(−75°;β)、(−15°;β)、(25°;β)、(45°;β)、(75°;β)、(110°;β)の角度を含むグループから選ばれる一つの立体角で前記検査表面(3)に対して配置されていることを特徴とする、請求項1から請求項12のいずれか一項に記載の装置。
- 前記照射装置(15、19、6)の内少なくとも一つの照射装置が前記検査表面に対して配置されているときの立体角の第1部分立体角αと、前記位置分解を行う検出器(7)が配置されているときの立体角の第1部分立体角αとの差が100°より大きいことを特徴とする、請求項1から請求項13のいずれか一項に記載の装置。
- 前記照射装置(15、19、6)の内少なくとも一つの照射装置が前記検査表面に対して配置されているときの立体角の第1部分立体角αと、前記位置分解を行う検出器(7)が配置されているときの立体角の第1部分立体角αとの差が50°より小さいことを特徴とする、請求項1から請求項14のいずれか一項に記載の装置。
- 前記照射装置の内一つの照射装置(19)が前記検査表面に対して配置されているときの立体角の第1部分立体角αと、前記位置分解を行う検出器(7)が配置されているときの立体角の第1部分立体角αとの差が100°より大きく、かつ、前記照射装置の内もう一つの照射装置(15)が前記検査表面に対して配置されているときの立体角の第1部分立体角αと、前記位置分解を行う検出器(7)が配置されているときの立体角の第1部分立体角αとの差が50°より小さいことを特徴とする請求項14または15に記載の装置。
- 円弧に沿って配置されている少なくとも二つの照射装置(15、19、6)が設けられていることを特徴とする、請求項1から請求項16のいずれか一項に記載の装置。
- 前記検出器(7;4;13、14、16、17、18)の内複数の検出器が円弧に沿って配置されていることを特徴とする、請求項1から請求項17のいずれか一項に記載の装置。
- 前記照射装置(15、9、6)と、前記検出器(7;4;13、14、16、17、18)とが、共通の円弧に沿って配置されていることを特徴とする、請求項1から請求項18のいずれか一項に記載の装置。
- 前記少なくとも一つの照射装置(15、19、6)の内少なくとも一つの照射装置が配置されているときの立体角が可変であることを特徴とする、請求項1から請求項19のいずれか一項に記載の装置。
- 前記検出器(7;4;13、14、16、17、18)の内少なくとも一つの検出器が配置されているときの立体角が可変であることを特徴とする、請求項1から請求項20のいずれか一項に記載の装置。
- 前記位置分解を行う検出器(7)と前記統合を行う検出器(4;13、14、16、17、18)とが、同一の所定の立体角で光を検出できるような手段が設けられていることを特徴とする、請求項1から請求項21のいずれか一項に記載の装置。
- 互いの所定の立体角の差が一定の値である複数の照射装置が設けられていることを特徴とする、請求項1から請求項22のいずれか一項に記載の装置。
- 請求項1から請求項23のいずれか一項に記載の装置を使用した表面の光学的特性の検査方法において、
光を所定の立体角で前記検査表面(3)に照射するステップと、
前記検査表面(3)から反射して戻ってきた光を、位置分解を行う検出器(7)を使って所定の立体角で検出し、前記位置分解を行う検出器(7)は、光を位置分解して検出することができるステップと、
前記検査表面から反射して戻ってきた光を、統合を行う検出器(4;13、14、16、17、18)を使って所定の立体角で検出し、前記統合を行う検出器は、光の強度および/またはスペクトル特性の検査を行うことができるステップと、
を持つことを特徴とする表面の光学的特性の検査方法。 - 前記位置分解を行う検出器(7)と、前記統合を行う検出器(4)とが、同一の所定の立体角で光を検出することを特徴とする、請求項24に記載の方法。
- 光が前記検査表面(3)に、さまざまな立体角で照射されることを特徴とする請求項24または請求項25に記載の方法。
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