JP2012066193A - 液滴吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】従来の液滴吐出装置では、描画品位を維持することが困難である。
【解決手段】機能液５３を吐出する吐出ヘッド３３と、機能液５３を貯留する第２タンク１１７と、第２タンク１１７内の機能液５３を吐出ヘッド３３に導く第２供給管１１９と、第２タンク１１７内の機能液５３を第２タンク１１７外に排出する第１排出管１２１と、を有し、第２タンク１１７は、第２タンク１１７内の機能液５３を第２供給管１１９に供給する供給口と、第２タンク１１７内の機能液５３を第１排出管１２１に排出する第１排出口と、を有しており、第１排出口は、供給口よりも、鉛直方向で上方に位置している、ことを特徴とする液滴吐出装置。
【選択図】図６

Description

本発明は、液滴吐出装置等に関する。

従来から、液状体を液滴として吐出することができる吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置が知られている。このような液滴吐出装置では、吐出ヘッドから液滴を吐出させることによって、種々の媒体に液状体で様々なパターンを描画することができる。
このような液滴吐出装置では、液状体を貯留するタンクと、タンクから液状体の供給を受ける吐出ヘッドとを有する構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１０−１３１７３号公報

液状体を貯留するタンクから液状体を吐出ヘッドに供給する構成では、タンクに貯留されている液状体が、時間の経過によって変化（以下、経時変化と呼ぶ）することがある。
このような経時変化としては、例えば、液状体の組成成分の一部が分離したり、化学変化によって新たな組成成分が発生したりすることが考えられる。分離した組成成分や、新たな組成成分は、液滴吐出装置では、描画品位を損なう異物となることがある。
従って、従来の液滴吐出装置では、描画品位を維持することが困難であるという課題がある。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現され得る。

［適用例１］液状体を吐出する吐出ヘッドと、前記液状体を貯留するタンクと、前記タンク内の前記液状体を前記吐出ヘッドに導く導液路と、前記タンク内の前記液状体を前記タンク外に排出する排出路と、を有し、前記タンクは、前記タンク内の前記液状体を前記導液路に供給する供給口と、前記タンク内の前記液状体を前記排出路に排出する排出口と、を有しており、前記排出口は、前記供給口よりも、鉛直方向で上方に位置している、ことを特徴とする液滴吐出装置。

この適用例の液滴吐出装置は、吐出ヘッドと、タンクと、導液路と、排出路と、を有する。タンクは、供給口と、排出口と、を有している。
吐出ヘッドは、液状体を吐出する。
タンクは、液状体を貯留する。
導液路は、タンク内の液状体を吐出ヘッドに導く。
排出路は、タンク内の液状体をタンク外に排出する。
供給口は、タンク内の液状体を導液路に供給する。
排出口は、タンク内の液状体を排出路に排出する。
この液滴吐出装置では、排出口は、供給口よりも、鉛直方向で上方に位置している。この構成により、タンク内の液状体の上層に浮遊する異物を、排出口を介して排出路からタンク外に排出しやすくすることができる。この結果、描画品位を維持しやすくすることができる。

［適用例２］上記の液滴吐出装置であって、前記タンクが可撓性を有する、ことを特徴とする液滴吐出装置。

この適用例では、タンクが可撓性を有するので、タンク内の液状体の増減に起因するタンク内の圧力の変動を低く抑えやすくすることができる。この結果、タンクと吐出ヘッドとの間の水頭圧を維持しやすくすることができる。

［適用例３］上記の液滴吐出装置であって、前記タンクは、前記タンク内の前記液状体を前記タンク外に排出する第２排出口を有しており、前記第２排出口は、前記供給口よりも、鉛直方向で下方に位置している、ことを特徴とする液滴吐出装置。

この適用例では、タンクは、第２排出口を有している。第２排出口は、タンク内の液状体をタンク外に排出する。
この液滴吐出装置では、第２排出口が、供給口よりも、鉛直方向で下方に位置しているので、タンク内の液状体の下層に沈降する異物を、第２排出口からタンク外に排出しやすくすることができる。この結果、描画品位を一層維持しやすくすることができる。

［適用例４］上記の液滴吐出装置であって、前記タンクは、前記タンクの外部から前記タンクの内部に前記液状体を受け入れる受入口を有しており、前記受入口は、鉛直方向において、前記排出口と前記第２排出口との間に位置している、ことを特徴とする液滴吐出装置。

この適用例では、タンクは、受入口を有している。受入口は、タンクの外部からタンクの内部に液状体を受け入れる。
この液滴吐出装置では、受入口が、鉛直方向において、排出口と第２排出口との間に位置しているので、タンク内の液状体の上層に浮遊する異物や、タンク内の液状体の下層に沈降する異物を、導液路に供給させにくくすることができる。この結果、描画品位を一層維持しやすくすることができる。

本実施形態における液滴吐出装置の概略の構成を示す斜視図。 本実施形態におけるキャリッジを図１中のＡ視方向に見たときの正面図。 本実施形態における吐出ヘッドの底面図。 図２中のＢ−Ｂ線における断面図。 図１中のＣ−Ｃ線における断面図。 本実施形態における供給装置の概略の構成を示す図。 本実施形態における第２タンクを示す断面図。

図面を参照しながら、実施形態について説明する。なお、各図面において、それぞれの構成を認識可能な程度の大きさにするために、構成や部材の縮尺が異なっていることがある。

本実施形態における液滴吐出装置１は、概略の構成を示す斜視図である図１に示すように、ワーク搬送装置３と、キャリッジ７と、キャッピング装置９と、キャリッジ搬送装置１１と、を有している。
キャリッジ７には、ヘッドユニット１３が設けられている。
液滴吐出装置１では、ヘッドユニット１３と基板などのワークＷとの平面視での相対位置を変化させつつ、ヘッドユニット１３から液状体を液滴として吐出させることによって、ワークＷに液状体で所望のパターンを描画することができる。なお、図中のＹ方向はワークＷの移動方向を示し、Ｘ方向は平面視でＹ方向とは直交する方向を示している。また、Ｘ方向及びＹ方向によって規定されるＸＹ平面と直交する方向は、Ｚ方向として規定される。

このような液滴吐出装置１は、例えば、液晶表示パネル等に用いられるカラーフィルターの製造や、有機ＥＬ装置の製造などに適用され得る。
赤、緑及び青の３色のフィルターエレメントを有するカラーフィルターの場合、液滴吐出装置１は、例えば、基板に赤、緑及び青の各着色層を形成する工程で好適に使用され得る。この場合、ヘッドユニット１３から各着色層に対応する各液状体を、ワークＷに液滴として吐出させることによって、ワークＷに赤、緑及び青のそれぞれのフィルターエレメントのパターンが描画される。
また、有機ＥＬ装置の製造では、例えば、赤、緑及び青の画素ごとに、各色に対応する機能層（有機層）を形成する工程で好適に使用され得る。この場合、ヘッドユニット１３から各色の機能層に対応する各液状体を、ワークＷに液滴として吐出させることによって、ワークＷに赤、緑及び青のそれぞれの機能層のパターンが描画される。

ここで、液滴吐出装置１の各構成について、詳細を説明する。
ワーク搬送装置３は、図１に示すように、定盤２１と、ガイドレール２３ａと、ガイドレール２３ｂと、ワークテーブル２５と、を有している。
定盤２１は、例えば石などの熱膨張係数が小さい材料で構成されており、Ｙ方向に沿って延びるように据えられている。ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂは、定盤２１の上面２１ａ上に配設されている。ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂは、それぞれ、Ｙ方向に沿って延在している。ガイドレール２３ａとガイドレール２３ｂとは、互いにＸ方向に隙間をあけた状態で並んでいる。

ワークテーブル２５は、ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂを挟んで定盤２１の上面２１ａに対向した状態で設けられている。ワークテーブル２５は、定盤２１から浮いた状態でガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂ上に載置されている。ワークテーブル２５は、ワークＷが載置される面である載置面２５ａを有している。載置面２５ａは、定盤２１側とは反対側（上側）に向けられている。ワークテーブル２５は、ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂによってＹ方向に沿って案内され、定盤２１上をＹ方向に沿って往復移動可能に構成されている。
ワークテーブル２５は、図示しない移動機構及び動力源によって、Ｙ方向に往復動可能に構成されている。移動機構としては、例えば、ボールねじやリニアガイドなどを利用した機構が採用され得る。また、本実施形態では、ワークテーブル２５をＹ方向に沿って移動させるための動力源として、図示しないワーク搬送モーターが採用されている。ワーク搬送モーターとしては、ステッピングモーター、サーボモーター、リニアモーターなどの種々のモーターが採用され得る。
ワーク搬送モーターからの動力は、移動機構を介してワークテーブル２５に伝達される。これにより、ワークテーブル２５は、ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂに沿って、すなわちＹ方向に沿って往復移動することができる。つまり、ワーク搬送装置３は、ワークテーブル２５の載置面２５ａに載置されたワークＷを、Ｙ方向に沿って往復移動させることができる。

ヘッドユニット１３は、キャリッジ７を図１中のＡ視方向に見たときの正面図である図２に示すように、ヘッドプレート３１と、吐出ヘッド３３と、を有している。
吐出ヘッド３３は、底面図である図３に示すように、ノズル面３５を有している。ノズル面３５には、複数のノズル３７が形成されている。なお、図３では、ノズル３７をわかりやすく示すため、ノズル３７が誇張され、且つノズル３７の個数が減じられている。
吐出ヘッド３３において、複数のノズル３７は、Ｙ方向に沿って配列する４本のノズル列３９を構成している。４本のノズル列３９は、Ｘ方向に互いに隙間をあけた状態で並んでいる。各ノズル列３９において、複数のノズル３７は、Ｙ方向に沿って所定のノズル間隔Ｐで形成されている。
以下において、４本のノズル列３９のそれぞれが識別される場合に、ノズル列３９ａ、ノズル列３９ｂ、ノズル列３９ｃ及びノズル列３９ｄという表記が用いられる。
吐出ヘッド３３において、ノズル列３９ａとノズル列３９ｂとは、互いにＹ方向にＰ／２の距離だけずれている。ノズル列３９ｃ及びノズル列３９ｄも、互いにＹ方向にＰ／２の距離だけずれている。

吐出ヘッド３３は、図２中のＢ−Ｂ線における断面図である図４に示すように、ノズルプレート４６と、キャビティープレート４７と、振動板４８と、複数の圧電素子４９と、を有している。
ノズルプレート４６は、ノズル面３５を有している。複数のノズル３７は、ノズルプレート４６に設けられている。
キャビティープレート４７は、ノズルプレート４６のノズル面３５とは反対側の面に設けられている。キャビティープレート４７には、複数のキャビティー５１が形成されている。各キャビティー５１は、各ノズル３７に対応して設けられており、対応する各ノズル３７に連通している。各キャビティー５１には、図示しないタンクから機能液５３が供給される。

振動板４８は、キャビティープレート４７のノズルプレート４６側とは反対側の面に設けられている。振動板４８は、Ｚ方向に振動（縦振動）することによって、キャビティー５１内の容積を拡大したり、縮小したりする。
複数の圧電素子４９は、それぞれ、振動板４８のキャビティープレート４７側とは反対側の面に設けられている。各圧電素子４９は、各キャビティー５１に対応して設けられており、振動板４８を挟んで各キャビティー５１に対向している。各圧電素子４９は、駆動信号に基づいて、伸長する。これにより、振動板４８がキャビティー５１内の容積を縮小する。このとき、キャビティー５１内の機能液５３に圧力が付与される。その結果、ノズル３７から、機能液５３が液滴５５として吐出される。吐出ヘッド３３による液滴５５の吐出法は、インクジェット法の１つである。インクジェット法は、塗布法の１つである。

上記の構成を有する吐出ヘッド３３は、図２に示すように、ノズル面３５がヘッドプレート３１から突出した状態で、ヘッドプレート３１に支持されている。
キャリッジ７は、図２に示すように、ヘッドユニット１３を支持している。ここで、ヘッドユニット１３は、ノズル面３５がＺ方向の下方に向けられた状態でキャリッジ７に支持されている。
上記により、ワークＷには、吐出ヘッド３３から機能液５３が塗布され得る。
なお、本実施形態では、縦振動型の圧電素子４９が採用されているが、機能液５３に圧力を付与するための加圧手段は、これに限定されず、例えば、下電極と圧電体層と上電極とを積層形成した撓み変形型の圧電素子も採用され得る。また、加圧手段としては、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなども採用され得る。さらに、発熱体を用いてノズル内に泡を発生させ、その泡によって機能液に圧力を付与する構成も採用され得る。

キャッピング装置９は、吐出ヘッド３３に蓋をする装置である。液滴吐出装置１では、吐出ヘッド３３のノズル３７から、液状体（機能液５３）の液体成分が蒸発することがある。一般的に、液状体における液体成分が蒸発すると、液状体の粘度が高くなる。吐出ヘッド３３内の液状体における液体成分がノズル３７から蒸発すると、ノズル３７が目詰まりすることがある。キャッピング装置９は、吐出ヘッド３３に蓋をすることで、液状体における液体成分がノズル３７から蒸発することを低く抑える。これにより、ノズル３７に目詰まりが発生することを低く抑えることができる。

キャッピング装置９は、図１中のＣ−Ｃ線における断面図である図５に示すように、支持台７１と、キャップ部７３と、チューブ７５と、バルブ７６と、吸引ポンプ７７と、を有している。キャップ部７３は、筐体７９と、ばね８１と、枠８３と、パッキン８５と、ストッパー８７と、を有している。
キャップ部７３は、支持台７１に載置されている。支持台７１は、キャップ部７３の筐体７９を支持している。
ばね８１は、筐体７９内に収容されており、筐体７９の底部７９ａに支持されている。
枠８３は、筐体７９内に収容されており、ばね８１を介して筐体７９に支持されている。

ばね８１は、筐体７９の底部７９ａと枠８３の底面８３ａとの間に挟持されており、枠８３の底面８３ａを上方に向けて付勢している。
パッキン８５は、ゴムやエラストマなどの弾性体で構成され、断面がＺ方向の下方に向かって凹となる形状を有している。パッキン８５は、枠８３内に収容されている。パッキン８５が吐出ヘッド３３の周縁部に当接すると、パッキン８５の凹形状と吐出ヘッド３３とに囲まれた領域に空間８９が形成される。パッキン８５は、空間８９の気密性を高める機能を有している。
ストッパー８７は、筐体７９の上面に設けられ、ばね８１によって付勢されている枠８３が筐体７９外に突出してしまうことを規制している。

チューブ７５は、一端側がバルブ７６に接続され、他端がパッキン８５に接続されている。バルブ７６のパッキン８５側とは反対側には、吸引ポンプ７７が設けられている。吸引ポンプ７７は、バルブ７６を介してチューブ７５によって、支持台７１内から、筐体７９、枠８３及びパッキン８５を経て空間８９に連通している。吸引ポンプ７７としては、エジェクタポンプなどの流体作動式ポンプや、機械式ポンプ、回転式ポンプ等の種々の真空ポンプが採用され得る。
ここで、キャッピング装置９では、バルブ７６を開いた状態で吸引ポンプ７７を作動させることによって、吐出ヘッド３３のノズル３７から液状体を吐出ヘッド３３の外に吸引することができる。ノズル３７から液状体を吐出ヘッド３３の外に吸引する動作は、吸引動作と呼ばれる。吸引動作は、吐出ヘッド３３のノズル３７から液状体を強制的に排出させるときに実施される。

吸引動作は、例えば、ノズル３７における液滴５５を吐出する性能（以下、吐出性能と呼ぶ）を回復させるときなどに実施される。例えば、ノズル３７内の液状体の粘度が高くなってしまったときなどに、吐出された液滴５５の飛行経路が曲がったり、液滴５５の吐出が阻害されたりすることがある。吸引動作を実施することによって、これらのような吐出性能の低下を回復させることができる。

キャリッジ搬送装置１１は、図１に示すように、架台１０１と、ガイドレール１０３と、を有している。
架台１０１は、Ｘ方向に延在しており、ワーク搬送装置３をＸ方向にまたいでいる。架台１０１は、ワークテーブル２５の定盤２１側とは反対側で、ワーク搬送装置３に対向している。架台１０１は、一対の支柱１０７によって支持されている。一対の支柱１０７は、定盤２１を挟んでＸ方向に互いに対峙する位置に設けられている。
なお、以下においては、一対の支柱１０７のそれぞれを識別する場合に、支柱１０７ａ及び支柱１０７ｂという表記が用いられる。支柱１０７ａ及び支柱１０７ｂは、それぞれ、ワークテーブル２５よりもＺ方向の上方に突出している。これにより、架台１０１とワークテーブル２５との間には、隙間が保たれている。

ガイドレール１０３は、架台１０１の定盤２１側に設けられている。ガイドレール１０３は、Ｘ方向に沿って延在しており、架台１０１のＸ方向における幅にわたって設けられている。
前述したキャリッジ７は、ガイドレール１０３に支持されている。キャリッジ７がガイドレール１０３に支持された状態において、吐出ヘッド３３のノズル面３５は、Ｚ方向においてワークテーブル２５側に向いている。キャリッジ７は、ガイドレール１０３によってＸ方向に沿って案内され、Ｘ方向に往復動可能な状態でガイドレール１０３に支持されている。なお、平面視で、キャリッジ７がワークテーブル２５に重なっている状態において、ノズル面３５とワークテーブル２５の載置面２５ａとは、互いに隙間を保った状態で対向する。

キャリッジ７は、図示しない移動機構及び動力源によって、Ｘ方向に往復動可能に構成されている。移動機構としては、例えば、ボールねじやリニアガイドなどを利用した機構が採用され得る。また、本実施形態では、キャリッジ７をＸ方向に沿って移動させるための動力源として、図示しないキャリッジ搬送モーターが採用されている。キャリッジ搬送モーターとしては、ステッピングモーター、サーボモーター、リニアモーターなどの種々のモーターが採用され得る。
キャリッジ搬送モーターからの動力は、移動機構を介してキャリッジ７に伝達される。これにより、キャリッジ７は、ガイドレール１０３に沿って、すなわちＸ方向に沿って往復移動することができる。つまり、キャリッジ搬送装置１１は、キャリッジ７に支持されたヘッドユニット１３を、Ｘ方向に沿って往復移動させることができる。
上記の構成を有する液滴吐出装置１では、吐出ヘッド３３をワークＷに対向させた状態で、吐出ヘッド３３とワークＷとを相対的に往復移動させながら、吐出ヘッド３３から液滴５５を吐出させることによって、ワークＷへのパターンの描画が行われる。

ここで、液滴吐出装置１は、図６に示すように、供給装置１１１を有している。供給装置１１１は、機能液５３を吐出ヘッド３３に供給する装置である。
供給装置１１１は、第１タンク１１３と、第１供給管１１５と、第２タンク１１７と、第２供給管１１９と、第１排出管１２１と、第２排出管１２３と、第１バルブ１２５と、第２バルブ１２７と、第３バルブ１２９と、を有している。
第１タンク１１３及び第２タンク１１７は、それぞれ、機能液５３を貯留する容器である。
第１供給管１１５は、第１タンク１１３内から第２タンク１１７内に通じている。第１タンク１１３内の機能液５３は、第１供給管１１５を介して第２タンク１１７内に供給される。第１供給管１１５は、図７に示すように、受入口１３１で第２タンク１１７につながっている。このため、機能液５３は、第１供給管１１５を経て受入口１３１から第２タンク１１７内に供給される。

第２供給管１１９は、図６に示すように、第２タンク１１７内から吐出ヘッド３３に通じている。第２タンク１１７内の機能液５３は、第２供給管１１９を介して吐出ヘッド３３に供給される。第２供給管１１９は、図７に示すように、供給口１３３で第２タンク１１７につながっている。このため、機能液５３は、供給口１３３から第２供給管１１９を介して吐出ヘッド３３に送出される。
第１排出管１２１は、図６に示すように、第２タンク１１７内から吸引ポンプ７７に通じている。本実施形態では、吸引ポンプ７７を作動させることによって、第２タンク１１７内の機能液５３を、第１排出管１２１を介して第２タンク１１７外に排出することができる。なお、第１排出管１２１は、図７に示すように、第１排出口１３５で第２タンク１１７につながっている。
第２排出管１２３は、図６に示すように、第２タンク１１７内から吸引ポンプ７７に通じている。本実施形態では、吸引ポンプ７７を作動させることによって、第２タンク１１７内の機能液５３を、第２排出管１２３を介して第２タンク１１７外に排出することができる。なお、第２排出管１２３は、図７に示すように、第２排出口１３７で第２タンク１１７につながっている。

第１バルブ１２５は、図６に示すように、第１タンク１１３と第２タンク１１７との間に設けられている。第１バルブ１２５は、第１供給管１１５の流路を開閉する。第１バルブ１２５が開状態のときに、第１タンク１１３内と第２タンク１１７内とが互いに連通する。
なお、第１タンク１１３内は、第１タンク１１３外の圧力（本実施形態では、大気圧）よりも高い圧力に保たれている。このため、第１バルブ１２５が開状態のときに、第１タンク１１３内の機能液５３が、第１供給管１１５を介して第２タンク１１７内に供給される。

本実施形態では、第２タンク１１７と吐出ヘッド３３との間の水頭圧が、所定範囲内に保たれている。このため、第２タンク１１７内の機能液５３の量の多少にかかわらず、吐出ヘッド３３内の機能液５３の圧力を、所定範囲内に保ちやすくすることができる。この結果、吐出ヘッド３３における液滴５５の吐出性能を保ちやすくすることができる。また、本実施形態では、第２タンク１１７が可撓性を有している。このため、第２タンク１１７内の機能液５３の増減に起因する第２タンク１１７内の圧力の変動を低く抑えやすくすることができる。この結果、第２タンク１１７と吐出ヘッド３３との間の水頭圧を維持しやすくすることができる。このような可撓性を有する第２タンク１１７としては、例えば、フィルム製のパックなどの形態が挙げられる。

本実施形態では、第２タンク１１７内の機能液５３の量が所定範囲内に制御される。第２タンク１１７内の機能液５３の量が所定範囲を下回ると、第１バルブ１２５が開状態に制御される。これにより、機能液５３が第２タンク１１７内に供給される。
他方で、第２タンク１１７内の機能液５３の量が所定範囲を上回ると、第１バルブ１２５が閉状態に制御される。これにより、第２タンク１１７内への機能液５３の供給が停止する。
上記の構成を有する供給装置１１１により、第１タンク１１３内の機能液５３が、安定して吐出ヘッド３３に供給される。

ところで、機能液５３を貯留する第２タンク１１７から機能液５３を吐出ヘッド３３に供給する構成では、第２タンク１１７に貯留されている機能液５３が、経時変化することがある。経時変化としては、例えば、機能液５３の組成成分の一部が分離したり、化学変化によって新たな組成成分が発生したりすることが考えられる。分離した組成成分や、新たな組成成分は、液滴吐出装置１では、描画品位を損なう異物となることがある。
本実施形態では、供給装置１１１が第１排出管１２１と第２排出管１２３とを有しているので、第２タンク１１７内に発生した異物を、第１排出管１２１や第２排出管１２３を介して排出することができる。

ここで、第１排出管１２１が第２タンク１１７につながっている第１排出口１３５は、図７に示すように、鉛直方向で供給口１３３よりも上方に位置している。これにより、第２タンク１１７内の機能液５３の上層に浮遊する異物を、第１排出口１３５を介して第１排出管１２１から第２タンク１１７外に排出しやすくすることができる。
また、第２排出管１２３が第２タンク１１７につながっている第２排出口１３７は、鉛直方向で供給口１３３よりも下方に位置している。これにより、第２タンク１１７内の機能液５３の下層に沈降する異物を、第２排出口１３７を介して第２排出管１２３から第２タンク１１７外に排出しやすくすることができる。

第１排出管１２１において、図６に示すように、第２タンク１１７と吸引ポンプ７７との間には、第２バルブ１２７が設けられている。
また、第２排出管１２３において、第２タンク１１７と吸引ポンプ７７との間には、第３バルブ１２９が設けられている。
そして、第１排出管１２１から機能液５３を第２タンク１１７外に排出するには、バルブ７６及び第３バルブ１２９を閉じ、且つ第２バルブ１２７を開いた状態で、吸引ポンプ７７を作動させる。これにより、第１排出管１２１から機能液５３を第２タンク１１７外に排出することができる。

他方で、第２排出管１２３から機能液５３を第２タンク１１７外に排出するには、バルブ７６及び第２バルブ１２７を閉じ、且つ第３バルブ１２９を開いた状態で、吸引ポンプ７７を作動させる。これにより、第２排出管１２３から機能液５３を第２タンク１１７外に排出することができる。
なお、第２バルブ１２７及び第３バルブ１２９を閉じ、且つバルブ７６を開いた状態で、吸引ポンプ７７を作動させることによって、吸引動作を実施することができる。

また、本実施形態では、受入口１３１が、図７に示すように、鉛直方向で第１排出口１３５と第２排出口１３７との間に位置している。
つまり、受入口１３１は、鉛直方向で第１排出口１３５よりも下方に位置している。このため、第２タンク１１７内の機能液５３の上層に浮遊する異物が、受入口１３１から第２タンク１１７内に噴出する機能液５３によって、供給口１３３に押し出されることを低く抑えることができる。

また、受入口１３１は、鉛直方向で第２排出口１３７よりも上方に位置している。このため、第２タンク１１７内の機能液５３の下層に沈降する異物が、受入口１３１から第２タンク１１７内に噴出する機能液５３によって、供給口１３３に押し出されることを低く抑えることができる。
上記の構成により、第２タンク１１７内に発生した異物が吐出ヘッド３３に到達することを低く抑えることができる。この結果、液滴吐出装置１における描画品位を維持しやすくすることができる。

本実施形態において、第２タンク１１７がタンクに対応し、第２供給管１１９が導液路に対応し、第１排出管１２１が排出路に対応し、第１排出口１３５が排出口に対応し、第２排出口１３７が第２排出口に対応している。

１…液滴吐出装置、１３…ヘッドユニット、３３…吐出ヘッド、５３…機能液、５５…液滴、７３…キャップ部、７５…チューブ、７６…バルブ、７７…吸引ポンプ、１１１…供給装置、１１３…第１タンク、１１５…第１供給管、１１７…第２タンク、１１９…第２供給管、１２１…第１排出管、１２３…第２排出管、１２５…第１バルブ、１２７…第２バルブ、１２９…第３バルブ、１３１…受入口、１３３…供給口、１３５…第１排出口、１３７…第２排出口、Ｗ…ワーク。

Claims (4)

1. 液状体を吐出する吐出ヘッドと、
   前記液状体を貯留するタンクと、
   前記タンク内の前記液状体を前記吐出ヘッドに導く導液路と、
   前記タンク内の前記液状体を前記タンク外に排出する排出路と、を有し、
   前記タンクは、
   前記タンク内の前記液状体を前記導液路に供給する供給口と、
   前記タンク内の前記液状体を前記排出路に排出する排出口と、を有しており、
   前記排出口は、前記供給口よりも、鉛直方向で上方に位置している、
   ことを特徴とする液滴吐出装置。
2. 前記タンクが可撓性を有する、
   ことを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
3. 前記タンクは、前記タンク内の前記液状体を前記タンク外に排出する第２排出口を有しており、
   前記第２排出口は、前記供給口よりも、鉛直方向で下方に位置している、
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴吐出装置。
4. 前記タンクは、前記タンクの外部から前記タンクの内部に前記液状体を受け入れる受入口を有しており、
   前記受入口は、鉛直方向において、前記排出口と前記第２排出口との間に位置している、
   ことを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。

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