JP2012059851A - 圧電体薄膜の加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】組成式(K1-xNax)NbO3(0.4≦x≦0.7)で表されるアルカリニオブ酸化物系ペロブスカイト構造の圧電体薄膜を備える積層体に、前記圧電体薄膜側からArを含むガスを用いてドライエッチングを行い、前記ドライエッチングにおいて放出されるイオンプラズマ中のNa発光ピーク強度の変化を検出してエッチング速度を変更する。
【選択図】図1
Description
非鉛圧電体薄膜を用いてアクチュエータやセンサを作製する場合は、微細加工プロセスにより非鉛圧電体薄膜を梁や音叉の形状に加工する必要がある。これまで、この非鉛圧電体薄膜をエッチングする際には、反応ガスとしてCl系の反応ガスを用いることが提案されている。(非特許文献1参照)
このNa発光ピーク強度の変化を圧電体薄膜のエッチングの進行度の検出、終点検出に使用することにより、圧電体薄膜に対して精度の良い微細加工が可能となることを見出し、本発明をするに至った。
図1において、全体を示す符号1は、この実施の形態に係る圧電体薄膜ウェハの一構成例を模式的に示している。この圧電体薄膜ウェハ1は、シリコン(Si)基板2を備える。そのSi基板2の上面には、下部電極層3が形成されている。その下部電極層3は、一例として白金(Pt)薄膜からなる(以下、Pt下部電極層3ともいう)。そのPt下部電極層3が形成されたSi基板2上には、組成式(K1-xNax)NbO3(0.4≦x≦0.7)で表されるペロブスカイト構造の圧電体薄膜4(以下、KNN圧電体薄膜ともいう)が形成される。Si基板2の表面には、図示しない酸化膜(SiO2)を形成し、Si基板2とPt下部電極層3との密着性を向上させてもよい。
まず、Si基板2上にPt下部電極層3を形成する。Pt下部電極層3は、一例として、RFマグネトロンスパッタリング法を用い形成される。Pt下部電極層3は、(111)面に優先配向するよう、成膜条件を制御して形成するとよい。Pt下部電極層3を形成するにあたり、Si基板2とPt下部電極層3との密着性を高めるために、Si基板2とPt下部電極層3との間に図示しないチタン(Ti)密着層を形成しても良い。Ti密着層の膜厚は1nm〜30nmの範囲とするのがよい。Pt下部電極層3は、圧電薄膜素子が所望の特性を実現するため、所定の表面粗さに抑えることが好ましい。
圧電体薄膜ウェハ1の一部を構成するKNN圧電体薄膜4の微細加工を行うにあたり、図2(a)のように、KNN圧電体薄膜4の上にマスクパターンを形成する。RFマグネトロンスパッタリング法により、KNN圧電体薄膜4の上にTi膜を形成し、次に、フォトレジストを塗布し、露光及び現像を行い、Ti膜上にフォトレジストパターンを形成する。そして、フッ酸と硝酸の混合液を用いてTi膜をエッチングする。その後、アセトン洗浄を行い、フォトレジストパターンを除去することで、パターン形成されたTi層5(以下、Tiパターンともいう)がKNN圧電体薄膜4上に形成される。
このTiパターン5は、非鉛系の圧電体薄膜ウェハ1の微細加工における適切なマスク材料として用いられる。この実施の形態に係るニオブ酸化物系圧電体薄膜に対しても、所定のエッチング選択比を有しており、Arイオンエッチングにおけるマスク厚さの増加によるパターン精度の悪化を防止することができる。
この実施の形態に係る圧電体薄膜ウェハ1を用い、センサやアクチュエータ、フィルタを作製する場合は、ドライエッチングによりKNN圧電体薄膜4を梁や音叉、櫛などの所望の形状に加工する。
ここでは、圧電体薄膜ウェハ1上にTiパターン5を直線状に形成し、圧電体薄膜4に対し微細加工を施した圧電体薄膜ウェハ1を用いて説明する。
基板は、熱酸化膜付きのSi基板2((100)面方位、厚さ0.525mm、熱酸化膜厚さ200nm、サイズ4インチウェハ)を用いた。RFマグネトロンスパッタリング法を用いて、Si基板2上にPt下部電極層3(Pt、膜厚210nm)を形成するにあたり、Si基板2とPt下部電極層3との間に図示しないTi密着層(10nm)をスパッタにより形成した。
まず、KNN圧電体薄膜4の上に、Ti膜をRFマグネトロンスパッタリング法により約1.2μm成膜した。次に、OFPR−800などのフォトレジストを塗布し、露光及び現像を行い、Ti膜上にフォトレジストパターンを形成した。その後、フッ酸と硝酸の混合液(HF:HNO3:H2O=1:1:50)を用いてTi膜をエッチングした。アセトン洗浄によりフォトレジストパターンを除去することにより、図2(a)のようにTiパターン5をKNN圧電体薄膜4上に形成した。本実施例では、Tiパターン5は、圧電体薄膜4の表面に、直線状に、幅2.5mm、ピッチ5.0mmで形成した。
具体的には、基台上にKNN膜を形成し、さらにKNN膜の一部にTiマスクを形成した試料を作製し、Arガス、又はArを含むガスを用いたドライエッチングを施した。所定時間エッチングした後、残留したTiパターンフッ酸と硝酸の混合液を用いて除去し、段差を測定する。そして、段差量(エッチング量)の測定からKNNとTiのエッチング選択比を求めた。求めた「圧電体薄膜/マスク厚」のエッチング選択比は、最大で3程度であり、KNN圧電体薄膜を加工する場合は、「圧電体薄膜/マスク厚」比を3程度とすることが好適であることが分かった。
Tiパターン5を形成したKNN圧電体薄膜4上に、Arを含むガスを用いたドライエッチングにより微細加工を行う。この工程において、イオンプラズマ中のNa発光ピーク強度の時間変化を観測することで、下部電極層3において制御性よく加工を停止する。ドライエッチング装置としては、ICP−RIE装置(サムコ製RIE−102L)を用いた。ガスとしては、Ar、もしくは、ArとCHF3、C2F6、CF4、SF6、C4F8などのフッ素系反応ガスとの混合ガスを用いることができる。
上記ドライエッチング工程において、イオンプラズマ中のNa発光ピーク強度(以下、Naピーク強度ともいう)の時間変化の観測を行った。そのNaピーク強度は、スペクトルメータ(OceanOptics製USB2000)を用いて測定した。ドライエッチングは、RF出力400W、チャンバー内圧力33.3Pa(0.25Torr)、ガス総流量100sccmの条件とした。KNN圧電体薄膜4には、膜厚2830nmのものを用いた。
RF出力400W、チャンバー内圧力33.3Pa(0.25Torr)、ガス総流量100sccmとして、ガス組成と混合比とを変えてKNN圧電体薄膜4の微細加工を行った。KNN圧電体薄膜のエッチングの終点検出には、上記イオンプラズマ中のNaピーク強度の時間変化により検出する方法を用いた。
図5には、上記実施例における微細加工後の圧電体薄膜ウェハの断面SEM像が示されている。Arを含むガスを用いてKNN圧電体薄膜4にドライエッチングを行い、イオンプラズマ中のNa発光ピーク強度の変化を検知し、エッチング速度の調整を行うことで、Pt下部電極層3において制御性よく加工を停止でき、高精度な微細加工を実現できることが分かる。
KNN素子部6の上部に上部電極層8としてPt層を形成し、長さ20mm、幅2.5mmの短冊型素子12を切り出した。この上部電極層8は、図2(b)の素子分離された圧電体薄膜ウェハ1から、Tiパターン5を除去した後、各KNN素子部6の上部(KNN圧電体薄膜4の上部)に形成した。なお、上部電極は、上記した通り、エッチングによる微細加工後に形成してもよいが、工程の簡略化のためエッチング前の圧電体薄膜上に形成してもよい。この場合、上部電極層上にTiパターン5を形成し、その後、エッチングを行う。
例えば、KNN圧電体薄膜層4の膜厚を1μm未満としたときは、KNN圧電体薄膜層4の面内の一部に削りムラ(削れ過ぎや削れ残り)が見られる場合がある。具体的には、実施例8のエッチングでは、その反応が1μm未満の厚さのKNN圧電体薄膜層4に対して速すぎる。そこで、C4F8ガスの混合量を増やし、エッチング速度を制御することで、膜厚の薄い圧電体薄膜に対しても良好な加工を実現することができる。
また、圧電体薄膜4の厚さが200nm〜500nm未満である場合は、Arガスとフッ素系反応ガスの割合が1:1の混合ガスを用いて反応性イオンエッチングを行うことで、良好な制御性でエッチングを行うことが可能となる。
このように、エッチングガスの流量を制御することで、Na発光ピーク強度の時間変化の検知やエッチングの制御性の改善が可能となり、圧電体薄膜4の厚さが1μm未満であっても、初期の目的とする微細加工が得られる。
(ゾルゲル法により形成したKNN圧電体薄膜の加工)
ゾルゲル法やMOD法により圧電体層を形成する場合には、所望の組成式となるよう材料の組成比を調製した前駆体溶液を用いて塗布層を形成し、塗布層を結晶化することで圧電体層を形成する。例えば、Naを含む有機金属化合物としてナトリウムエトキシド、カリウムを含む有機金属化合物としてカリウムエトキシド、ニオブを含む有機金属化合物としてニオブエトキシドを用い、これらを所望のモル比となるよう混合し、さらにアルコールなどの有機溶媒を用いて溶解、分散して、前駆体溶液を作製する。
具体的には、まず、KNN圧電体薄膜を形成するための前駆体溶液を用意する。次に、NbドープのSrTiO3基板上にスピンコート法により前駆体溶液を塗布し、ホットプレート上で乾燥、仮焼結した後、700℃でアニール処理を施し、結晶化させる。このような成膜工程を、必要とする膜厚が得られるまで繰り返し行い、4μm厚さのKNN圧電体薄膜を有する圧電体薄膜ウェハを形成した。
(AD法により形成したKNN圧電体薄膜の加工)
次に、エアロゾルデポジション法(AD法)により形成したKNN圧電体薄膜の加工を検討した。主原料として、所望のKNN圧電体薄膜の組成と同じ組成比の原料粉末を用意し、ヘリウムガスを搬送ガスとして成膜を行う。また、副原料としてエアロゾルデポジション法で成膜されやすい誘電体の結晶粉体を混合してもよい。この場合、Al2O3などの副原料の混合を、主原料に対し重量比で3〜10%の範囲で行うことで、膜密度を高めることができる。
具体的には、主原料であるニオブ酸カリウムナトリウム結晶粉末「K:Na:Nb:O=7.5:6.5:16:70(原子数%)」に対し、Al2O3を副原料として混合した材料を用い、He搬送ガスを用いて、下部電極が形成された基板に吹き付けを行った。このときの基板温度を500℃として、10μm厚さのKNN圧電体薄膜を成膜した。なお、基板には、MgO基板を用い、下部電極層には、500nm厚さのPt層を用いた。
このAD法により形成したKNN圧電体薄膜に対し、マスクとしてW(タングステン)を3.0μm厚さ形成し、本発明の加工方法を行ったところ、上記スパッタにより成膜した圧電体薄膜と同様に、Pt層においてエッチングを選択的に停止することができた。また、得られた圧電体薄膜の傾斜部のテーパ角θも、上記実施例と同様の範囲に形成され、また、バイアス電力、炉内圧力の調整によりテーパ角θの制御も可能であった。
2 基板
3 下部電極層
4 圧電体薄膜層
5 Tiパターン
6 素子部
7 傾斜部
Claims (7)
- 組成式(K1-xNax)NbO3(0.4≦x≦0.7)で表されるアルカリニオブ酸化物系ペロブスカイト構造の圧電体薄膜を備える積層体に、
前記圧電体薄膜側からArを含むガスを用いてドライエッチングを行い、
前記ドライエッチングにおいて放出されるイオンプラズマ中のNa発光ピーク強度の変化を検出してエッチング速度を変更することを特徴とする圧電体薄膜の加工方法。 - 前記Na発光ピーク強度の減衰、及び時間変化を検出して、前記エッチング速度を変更する請求項1に記載の圧電体薄膜の加工方法。
- 前記積層体は、基板上に前記圧電体薄膜を形成して構成される請求項1又は2に記載の圧電体薄膜の加工方法。
- 前記エッチング速度の変更は、前記基板と前記圧電体薄膜との間に形成された下地層においてエッチングを停止することを含む請求項1〜3のいずれかに記載の圧電体薄膜の加工方法。
- 前記下地層はPt層を含む請求項4に記載の圧電体薄膜の加工方法。
- 前記ドライエッチングは、前記Arを含むガスにフッ素系反応ガスを混合したガスを用いて行う反応性イオンエッチングを含む請求項5に記載の圧電体薄膜の加工方法。
- 基板上に下部電極を有し、前記下部電極上に組成式(K1-xNax)NbO3(0.4≦x≦0.7)で表されるアルカリニオブ酸化物系ペロブスカイト構造の圧電体薄膜を有する圧電体薄膜の加工方法において、
前記圧電体薄膜にArを含むガスを用いたドライエッチングを行い、
前記ドライエッチング中に発生するイオンプラズマの586nmから590nmのNa発光スペクトルの発光ピーク強度の減衰変化を観測して下部電極において加工を停止し、前記圧電体薄膜のエッチング断面を前記基板の面に向けて漸次拡大するテーパ状に加工することを特徴とする圧電体薄膜の加工方法。
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