JP2012059775A - 光起電力装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ発振器11から放射されたレーザビームのビーム形状12を成形することにより、太陽電池セル1に照射する照射レーザビームの形状を楕円16にする工程と、前記照射レーザビームを走査することにより前記太陽電池セル1を局部的に溶融させて切断加工もしくは溝形成加工をおこなう加工工程を備え、前記加工工程において、前記楕円16の長径方向が前記照射レーザビームの走査方向4に平行で、前記楕円16の短径方向が前記照射レーザビームの走査方向4に垂直であり、楕円に成形した照射レーザビームで太陽電池セルを分割するレーザによる切断加工もしくはレーザによる溝形成加工と物理的割断をおこない、再溶着の発生を防ぐ加工をおこなう。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の実施の形態1による光起電力装置の製造方法におけるレーザ照射工程の構成を示す図である。
実施の形態2においては、実施の形態1の図1と同様な構成で楕円ビーム16によるレーザ照射を行って光起電力装置を製造するが、レーザビームを入射する太陽電池セル1の面に特徴を有する。
本実施の形態3においては、実施の形態1の図1と同様な構成で楕円ビーム16によるレーザ照射を行って光起電力装置を製造するが、裏面電極52を形成する領域に特徴を有する。
2 照射レーザビーム
2a 真円の照射レーザビーム
2b 楕円の照射レーザビーム
3 再溶着部分
4 ステージ走査方向
5 レーザビーム照射面
6 太陽電池セルが除去された部分
7 穴
8 溶融して固まった白色部分
9 再溶着のない加工断面
10 溶融した太陽電池セルが飛散する方向
11 レーザ発振器
12 真円ビーム
13 ビーム径調整光学系
14 楕円成形光学系
15 導光ミラー
16 楕円ビーム
17 集光レンズ
18 ステージ固定台
22 受光面
41 基本波パルスレーザ
45 N層
46 P層
47 P層が混ざった再溶着部
51 BSF層
52 裏面電極
Claims (6)
- 太陽電池セルに吸収される波長を有するパルスレーザ発振器から放射されたレーザビームのビーム形状を成形することにより、太陽電池セルに照射する照射レーザビームの形状を楕円にする工程と、
前記照射レーザビームを走査することにより前記太陽電池セルを局部的に溶融させて切断加工もしくは溝形成加工後にその部分を物理的割断して前記太陽電池セルを分割する加工工程を備え、
前記加工工程において、前記楕円の長径方向が前記照射レーザビームの走査方向に平行で、前記楕円の短径方向が前記照射レーザビームの走査方向に垂直である
ことを特徴とする光起電力装置の製造方法。 - 前記楕円の短径に対する長径の比が1:4未満である
ことを特徴とする請求項1に記載の光起電力装置の製造方法。 - 前記レーザ発振器は基本波のパルスレーザ発振器である
ことを特徴とする請求項1または2に記載の光起電力装置の製造方法。 - 前記照射レーザビームを前記太陽電池セルの受光面側から照射する
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか1つに記載の光起電力装置の製造方法。 - 前記太陽電池セルを分割する光起電力装置の製造方法において、
切断部が裏面電極およびBSF層のある構造部分である
ことを特徴とする請求項4に記載の光起電力装置の製造方法。 - 前記太陽電池セルは前記照射レーザビームを照射される表面の面方位が(100)の単結晶シリコンであり、
前記走査方向は結晶方位[110]であり、[010]または[100]に対して45度の角度をなす方向である
ことを特徴とする請求項1から5のいずれか1つに記載の光起電力装置の製造方法。
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