JP2012056229A - レーザ割断装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板50の位置を検知するCCDカメラ38,39と、固定台11を回転させる回転機構25とX方向に移動させるスライドテーブル26とを設け、レーザビーム照射方向から見て、レーザビーム照射予定ライン51と棒状部材12とが重なるように、CCDカメラ38,39からの検知情報に基づいて、基板50を固定した固定台11の位置を回転機構25及びスライドテーブル26によって調整する。
【選択図】図2
Description
12 棒状部材
13a,13b 押圧部材
25 回転機構
26 スライドテーブル(移動機構)
37 冷却ノズル
38,39 CCDカメラ(位置検知手段)
50 脆性材料基板
51 レーザビーム照射予定ライン
53 垂直クラック
P 真空ポンプ
LB レーザビーム
AM アライメントマーク(検出用マーク)
Claims (6)
- 脆性材料基板を固定する固定台と、レーザ照射手段と、冷却手段と、前記固定台に固定された前記基板をレーザビームの照射面側が凸となるように湾曲させる棒状部材とを備え、前記棒状部材で前記基板を湾曲させ、前記基板に対して前記レーザ照射手段及び前記冷却手段を相対移動させて、レーザビームを脆性材料基板に照射して溶融温度未満に加熱した後、前記基板に対して冷却媒体を吹き付けて冷却し、前記基板に生じた熱応力によって、垂直クラックを形成して前記基板を割断するレーザ割断装置であって、
前記基板の位置を検知する位置検知手段と、前記固定台の位置を調整する位置調整手段とをさらに備え、
レーザビーム照射方向から見て、レーザビーム照射予定ラインと前記棒状部材とが重なるように、前記位置検知手段からの検知情報に基づいて、前記基板を固定した前記固定台の位置を前記位置調整手段によって調整することを特徴とするレーザ割断装置。 - 前記位置調整手段は、前記固定台の基板固定面に対して垂直な軸を中心として前記固定台を回転させる回転機構と、前記固定台の基板固定面が同一面内を維持するように前記固定台を移動させる移動機構とを有する請求項1記載のレーザ割断装置。
- 前記位置検知手段が、前記基板に形成された検出用マークを光学的に検知するものである請求項1又は2記載のレーザ割断装置。
- 前記固定台に前記基板を固定するための吸引固定手段が設けられている請求項1〜3のいずれかに記載のレーザ割断装置。
- 前記棒状部材が、前記固定台に対して突出位置と没入位置とに移動自在で、前記固定台から突出した位置に移動することによって前記基板を湾曲させる請求項1〜4のいずれかに記載のレーザ割断装置。
- 前記棒状部材を中心として前記基板の両側を前記固定台に押圧する一対の押圧部材をさらに備え、
前記固定台に前記基板を固定し、前記一対の押圧部材で前記基板を押圧した後、前記棒状部材で前記基板を湾曲させる請求項1〜5のいずれかに記載のレーザ割断装置。
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