JP2012049417A - コレットホルダおよびダイボンダ - Google Patents
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Abstract
【課題】ワークを破損や損傷させることなく装着対象に装着することができるコレットホルダを提供する。
【解決手段】コレットホルダは、弾性体シール8と先端部材7とコレット6との真空経路に印加される負圧でワーク5を吸着して装着対象に装着する。コレット6は弾性支持機構4で上下方向に変位自在に支持されていて上下方向に伸縮自在な弾性体シール8で配管されいる。このため、コレット6と先端部材7とを充分に小型化することができるので、ワーク5を装着対象に装着するときの衝撃力を充分に低減することができる。
【選択図】図1
【解決手段】コレットホルダは、弾性体シール8と先端部材7とコレット6との真空経路に印加される負圧でワーク5を吸着して装着対象に装着する。コレット6は弾性支持機構4で上下方向に変位自在に支持されていて上下方向に伸縮自在な弾性体シール8で配管されいる。このため、コレット6と先端部材7とを充分に小型化することができるので、ワーク5を装着対象に装着するときの衝撃力を充分に低減することができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、ワークを吸着して装着対象に装着するコレットホルダ、このコレットホルダを上下方向に変位自在に支持しているダイボンダ、に関する。
半導体組立工程において、個片に分割・切断された半導体ペレットをリードフレームや基板に搭載するダイボンディング工程の高速化が生産性向上のために必要である。
特に、ダイオードやトランジスタなどの単機能なディスクリート半導体においては、ウエハ一枚当たりの収量を増やしてペレットコストを低減させるためにペレットが小型化する傾向にあり、近年では0.2〜0.3mm角の微細な半導体ペレットの高速ダイボンディングが要求されている。
一般的にダイボンダでは、半導体ペレットを搬送するためにコレットと呼ばれる真空吸着ツールが用いられるが、上記のような微小なペレット用のコレットは先端が細く、ボンディング時の荷重がペレットに集中し、ペレットの割れ・欠けなどが発生しやすくなるという問題がある。
特に、LED(Light Emitting Diode)などの化合物半導体はSi系の半導体に比べ機械的に脆い傾向にあるため、量産組立工程においてペレットの割れ・欠けが問題になる場合がある。
このボンディング時のペレットに加わる荷重としては、(1)コレットがペレットに接触するときの衝撃荷重、(2)ペレットをリードフレームまたは基板に適切な圧力で押さえつけるための静的な一定荷重(ボンディング荷重:数10g程度)、がある。
これらのうち(2)の一定荷重に関しては、一定荷重を加えるためのバネやVCMなどとコレットを上下に可動させるガイド機構を組み合わせた荷重機構が実現されており、荷重を精密に設定するために摺動抵抗の小さい様々なガイド機構が考案されている。
これに対し、ペレットに必要以上の荷重を加えないようにするためには、上記(1)の衝撃荷重を低減させる必要がある。このためには、(a)コレットの剛性を低くする(樹脂等の軟らかい材料を用いる)、(b)コレット等可動物の質量を小さくする、(c)コレットがペレットに接触するときの速度を小さくする、という手段が考えられる。
しかし、(a)の樹脂性コレットなどによるコレットの低剛性化は(特に微小なペレットの場合)コレット先端の磨耗を早めコレットの寿命が短くなるため、量産工程では用いられない。また(b)の軽量化は上記荷重機構の実現のために限界があり現状以上の軽量化は難しい状況にある。
そのため、衝撃荷重によるペレットの割れ・欠けが問題となるような場合は、コレット移動速度を落としてペレットへの衝撃を低減させるしかなく、これが高速ダイボンディングの妨げとなっていた。
ここで、コレットホルダの従来例を図7を参照して以下に簡単に説明する。図7に示すコレットおよび、それを用いたダイボンダは、ダイボンダ本体31に固定された垂直部32の下端から屈曲した水平部33からなるL字形状を有するアーム部材34を有する。
その垂直部32の下端近傍部位にバネ手段である二枚の板バネ35が上下に平行に隔離配置された状態で水平に張り出すように固着されている。これらの板バネ35の先端部にコレットホルダ36が固着されており、コレットホルダ36の下部にペレット37を吸着するコレット38を有する。
上述の従来例では、コレット38がペレット37をリードフレームまたは基板(ともに図示せず)に押し付けると板バネ35が撓み、コレットホルダ36およびコレット38がアーム部材34に対して相対的に上方に変位する(数10〜数100ミクロン程度)。
これとともに、板バネ35の弾性力によりペレット37に対して適切なボンディング荷重が掛かる。この従来例においてはアーム部材34に対してコレット38が上方に変位する際に板バネ35の弾性変形を利用しているため、ガタや摩擦が発生する恐れはなく、常に滑らかな動きが実現できる(特許文献1)。
前述の従来のコレット38を用いたダイボンダでは、コレット38が下降してペレット37と接触する際に、コレット38とコレットホルダ36の運動量(質量×速度)に応じた衝撃力がペレット37に加わり、ペレット37の割れ・欠けの原因となる。コレット38がペレット37に接触するときの衝撃力は以下のように見積もられる。
コレット38およびコレット38が固定されているコレットホルダ36の合計質量:mと、コレット38の下降速度:vより、コレット38とコレットホルダ36の運動エネルギEkは、
Ek=m・v2/2・・・(1)
となる。
Ek=m・v2/2・・・(1)
となる。
コレット38とペレット37の合成バネ定数:Kより最大衝撃力:Fmaxによるコレット38およびペレット37の弾性エネルギ:Eeは、
Ee=Fmax2/(2・K)・・・(2)
となる。
Ee=Fmax2/(2・K)・・・(2)
となる。
ここで、コレット38とコレットホルダ36の運動エネルギEkが全てコレット38とペレット37の弾性変形に吸収された(運動エネルギが全て弾性エネルギに変換された)とすると、(1)=(2)とおいて、
Fmax=v・√(K・m)・・・(3)
が得られる。
Fmax=v・√(K・m)・・・(3)
が得られる。
従って、コレット38下降速度とコレット38・ペレット37合成バネ定数(剛性)、コレット38+コレットホルダ36の質量から、衝撃力Fmaxが求まる。例えば、通常のLEDなどのペレット37の組立を行うダイボンダの条件、コレット38の下降速度:5mm/sec、コレット38の先端径:φ0.3mm、コレット38の材質:超硬合金(ヤング率:500GPa)、コレット38+コレットホルダ36の質量:10g(コレット38:1g、コレットホルダ36:9g)では、衝撃力:Fmaxは約200gfとなり、荷重機構による静的なボンディング荷重をいくら低減しても衝撃力によってペレット37の割れ・欠けが発生する恐れがある。
衝撃荷重を低減する一つの手段として、樹脂製のコレット38を用いることによってコレット38のバネ定数(剛性)を下げる方法が考えられるが、微小なペレット37を吸着する先端径の細いコレット38の場合、樹脂製のコレット38では先端部の磨耗が激しく、頻繁にコレット38の交換が必要になるという問題がある。また、コレット38の下降速度を下げて衝撃荷重を低減させると、ペレット37の一個当たりの作業時間が伸び、ダイボンダの生産性が低下するという問題がある。
さらに、前述のコレットホルダ36で、板バネ35の撓みによりコレットホルダ36の実用的な変位量(数10〜数100ミクロン)を確保するためには、板バネ35およびコレットホルダ36の小型化は困難であり、コレットホルダの更なる軽量化はできない。
本発明のコレットホルダは、負圧が印加される真空経路の一部が上下方向に貫通されていて下端でワークを吸着するコレットと、真空経路の一部が上下方向に貫通されていてコレットが下端に固定されている先端部材と、先端部材を上下方向に弾発的に変位自在に支持している弾性支持機構と、真空経路の一部が上下方向に貫通されていて先端部材の上端に配管されている上下方向に伸縮自在な弾性体シールと、を有する。
従って、本発明のコレットホルダでは、弾性体シールと先端部材とコレットとの真空経路に負圧が印加されるので、コレットの下端でワークが吸着される。このようなコレットが固定されている先端部材が弾性支持機構により上下方向に弾発的に変位自在に支持されているので、ワークが装着対象に適正な圧力で圧接される。
本発明のダイボンダは、本発明のコレットホルダを上下方向に変位自在に支持している。
なお、本発明の各種の構成要素は、必ずしも個々に独立した存在である必要はなく、複数の構成要素が一個の部材として形成されていること、一つの構成要素が複数の部材で形成されていること、ある構成要素が他の構成要素の一部であること、ある構成要素の一部と他の構成要素の一部とが重複していること、等でもよい。
また、本発明で云う前後左右上下の方向とは、完全に幾何学的に直交している必要はなく、相対的に前後左右上下となる方向となっていればよく、例えば、各方向が任意の方向に傾斜していてもよい。
例えば、本発明で云う上下方向に変位するとは、変位の結果として上下方向に相違する位置に移動することを意味しており、変位の方向そのものが厳密に上下方向である必要はない。
本発明のコレットホルダでは、ワークを吸着する負圧が弾性体シールと先端部材とコレットとの真空経路に印加される。このコレットは弾性支持機構で上下方向に変位自在に支持されていて上下方向に伸縮自在な弾性体シールで配管されいる。このため、コレットと先端部材とを充分に小型化することができ、ワークを装着対象に装着するときの衝撃力を充分に低減することができるので、ワークを破損や損傷させることなく装着対象に装着することができる。
本発明の実施の一形態を図面を参照して以下に説明する。ただし、本実施の形態に関して前述した一従来例と同一の部分は、同一の名称を使用して詳細な説明は省略する。なお、本実施の形態では図示するように前後左右上下の方向を規定して説明する。しかし、これは構成要素の相対関係を簡単に説明するために便宜的に規定するものである。従って、本発明を実施する製品の製造時や使用時の方向を限定するものではない。
以下に、本実施の形態のコレットホルダおよび、それを用いたダイボンダについて図面を用いて詳細に説明する。図1は本発明のコレットホルダおよび、それを用いたダイボンダを示す斜視図である。
本実施の形態のコレットホルダは、図1ないし図4に示すように、負圧が印加される真空経路13の一部が上下方向に貫通されていて下端でワークであるペレット5を吸着するコレット6と、真空経路13の一部が上下方向に貫通されていてコレット6が下端に固定されている先端部材7と、先端部材7を上下方向に弾発的に変位自在に支持している弾性支持機構である板バネ4と、真空経路13の一部が上下方向に貫通されていて先端部材7の上端に配管されている上下方向に伸縮自在な真空配管部材である弾性体シール8と、を有する。
さらに、本実施の形態のコレットホルダでは、板バネ4を支持している先端支持部材3も有し、先端部材7と板バネ4と先端支持部材3とが一体に成形されている。そして、本実施の形態のダイボンダは、上述のようなコレットホルダを上下方向に変位自在に支持している。
より具体的には、図1に示すコレットホルダは、上下二段の三方向のベアリング1で拘束されていて上下方向のみに変位可能なシャフト2と、このシャフト2の下端部に固定されている先端支持部材3と、この先端支持部材3に固定されていて上下に隔離配置された二枚の板バネ4と、これらの板バネ4により支持されていて、ペレット5を真空吸着するコレット6を保持・固定する先端部材7と、先端部材7の上面と先端支持部材3の下面との間に充填されていて、先端部材7と先端支持部材3とシャフト2との真空経路(図示せず)と連通する真空経路(図示せず)が形成されている柔軟性のあるゴム状の材料からなる弾性体シール8と、シャフト2の上端に連結されていて外部の配管に接続されることによりシャフト2の真空経路を外部の真空発生源(図示せず)に接続する継手9と、シャフト2の上端に固定されていて引張バネ10が取り付けられているバネフック11と、を含んで構成される。
ここで、バネフック11に取り付けられた引張バネ10の反対側である下方の片端はダイボンダの固定部15に取り付けられ、この引張バネ10のバネ力により、ペレット5を後述するリードフレーム12や基板などに搭載する際に適切なボンディング荷重が掛かるように設定されている。
図2は本発明のコレットホルダの先端部分を拡大した斜視図である。図2に示したコレットホルダの先端部分は、コレット6を固定する先端部材7が平行な二枚の板バネ4で先端支持部材3に連結されている。
ここで二枚の板バネ4は先端支持部材3に対して先端部材7を上下方向にのみ可動せしめる弾性支持機構として機能する。コレット6、先端部材7、先端支持部材3、シャフト2の内部には、前述のように真空吸着のための真空経路が形成されている。
ただし、先端支持部材3に対して先端部材7が板バネ4の撓み分変位するため、先端部材7と先端支持部材3の間に柔らかいゴムなどの弾性体で製作された弾性体シール8が設けられており、この弾性体シール8の内部にも真空経路が形成されていることにより、可動部であるコレット6および先端部材7への真空経路がリークすることなく確保されている。
本実施の形態の先端支持部材3、板バネ4および先端部材7は小型・軽量化のために、同一部材からの加工によって形成された一体構造となっている。特に板バネ4の加工では、柔軟構造のため切削力が加わらないように放電加工またはエッチングなどで製作されるのが望ましい。
次に本発明のコレットホルダの動作を図面を用いて詳細に説明する。図3は本発明のコレットホルダの先端のコレット6がペレット5を真空吸着してリードフレーム12にペレット5を搭載する直前の様子を示した側面図である。
ペレット5を真空吸着するために、コレット6、先端部材7、弾性体シール8、先端支持部材3およびシャフト2に真空経路13が設けられていて、シャフト2に取り付けられている継手9を介して外部の真空配管(図示せず)に接続されている。
この状態では、板バネ4および弾性体シール8には先端部材7およびコレット6の自重しか外力として加わっていない。そのため、板バネ4および弾性体シール8には歪みや撓みは殆ど発生していない。
図4はコレット6を下降させてペレット5をリードフレーム12に搭載した瞬間の状態を示した側面図である。板バネ4および弾性体シール8には、引張バネ10によるペレット5をリードフレーム12に押さえつけるボンディング荷重と、コレット6およびコレットホルダ全体がリードフレーム12に衝突した際に発生する衝撃力とが加わり、板バネ4と弾性体シール8は弾性変形する。
二枚の板バネ4は平行板バネ機構になっているため、可動部である先端部材7は上下方向には変位できるが、その他の自由度に関しては剛性が充分に高いため、板バネ4の撓みによって先端部材7は正確に上下方向のみに変位し、ペレット5が水平方向に位置ずれしたり回転ずれを起こしたりすることはない。
以上の様に、コレット6を固定するコレットホルダの先端部材7を二枚の板バネ4による弾性支持機構で支持することにより、ペレット5とリードフレーム12の衝突時およびコレット6とペレット5の衝突時の衝撃力を緩和することができる。
ここで、本実施の形態のコレットホルダでのダイボンディング時の衝撃力を試算する。まず、コレット6および先端部材7の質量がペレット5に与える衝撃力Fmax1は、先端部材7の質量を充分小さく設計できるので、コレット6と先端部材7の合計質量を1gとする。すると、前記(3)式の質量mが1/10になるため、衝撃力Fmax1は従来の約1/3の63gfとなる。
また、先端支持部材3からシャフト2、継手9、バネフック11などから構成されるコレットホルダ本体(質量:9g)による衝撃力Fmax2は、板バネ4による弾性支持機構のバネ定数を10gf/μmとすると(弾性体シールのバネ定数は板バネ4のバネ定数より充分小さいとする)15gfとなる。
両者の合計の衝撃力:Fmax=Fmax1+Fmax2=78gfで、従来の衝撃力の約40%程度となることが期待できる。例えば、上記のバネ定数:10gf/μmを有する平行板バネによる弾性支持機構としては、板厚:0.1mm、バネ長:2mm、バネ幅:5mm程度の二枚の板バネ4で実現可能である。
上述のように、本実施の形態のコレットホルダでは、弾性体シール8と先端部材7とコレット6との真空経路に負圧が印加されるので、コレット6の下端でペレット5が吸着される。
このコレット6は板バネ4で上下方向に変位自在に支持されていて上下方向に伸縮自在な弾性体シール8で配管されいる。このため、コレット6と先端部材7とを充分に小型化することができ、ペレット5を装着対象に装着するときの衝撃力を充分に低減することができるので、ペレット5を破損や損傷させることなく装着対象に装着することができる。
なお、本発明は本実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で各種の変形を許容する。例えば、上記形態では、先端部材7と先端支持部材3を接続する真空経路に、ゴムなどの柔軟な材料でできた弾性体シール8を用いることを例示した。しかし、これをベローズの様な柔軟な構造の配管としてもよい。
図5は先端部材7と先端支持部材3を接続する真空経路に柔軟なベローズ14を用いた一変形例を示す側面図である。ベローズ14の材質は板バネ4に比べ充分柔軟であり真空のリークがなければ金属でもゴムでもよい。
また、上記形態では板バネ4をコレット6の中心軸に関して一方に形成されていることを例示した。このため、板バネ4の上下変位によりコレット6は微少に前後移動することになる。そこで、これが問題となる場合には、複数の板バネ4が先端部材7を中心に水平方向に対称に形成されていてもよい。
より具体的には、図6に例示するように、板バネ4をコレット6の中心軸に関して対称な先端部材7の対向する二面に設ければよい。板バネ4を両側に設けることにより、先端部材7のねじれ・倒れ方向の剛性が増し、コレット6の先端の位置ずれが低減するという効果がある。
なお、当然ながら、上述した実施の形態および複数の変形例は、その内容が相反しない範囲で組み合わせることができる。また、上述した実施の形態および変形例では、各部の構造などを具体的に説明したが、その構造などは本願発明を満足する範囲で各種に変更することができる。
1 ベアリング
2 シャフト
3 先端支持部材
4 板バネ
5 ペレット
6 コレット
7 先端部材
8 弾性体シール
9 継手
10 引張バネ
11 バネフック
12 リードフレーム
13 真空経路
14 ベローズ
15 固定部
31 ダイボンダ本体
32 垂直部
33 水平部
34 アーム部材
35 板バネ
36 コレットホルダ
37 ペレット
38 コレット
2 シャフト
3 先端支持部材
4 板バネ
5 ペレット
6 コレット
7 先端部材
8 弾性体シール
9 継手
10 引張バネ
11 バネフック
12 リードフレーム
13 真空経路
14 ベローズ
15 固定部
31 ダイボンダ本体
32 垂直部
33 水平部
34 アーム部材
35 板バネ
36 コレットホルダ
37 ペレット
38 コレット
Claims (5)
- 負圧が印加される真空経路の一部が上下方向に貫通されていて下端でワークを吸着するコレットと、
前記真空経路の一部が上下方向に貫通されていて前記コレットが下端に固定されている先端部材と、
前記先端部材を上下方向に弾発的に変位自在に支持している弾性支持機構と、
前記真空経路の一部が上下方向に貫通されていて前記先端部材の上端に配管されている上下方向に伸縮自在な弾性体シールと、
を有するコレットホルダ。 - 前記弾性支持機構を支持している先端支持部材を、さらに有し、
前記先端部材と前記弾性支持機構と前記先端支持部材とが一体に成形されている請求項1に記載のコレットホルダ。 - 前記弾性支持機構が上下方向に離間した複数の略平行な板バネ状に形成されている請求項1または2に記載のコレットホルダ。
- 複数の前記弾性支持機構が前記先端部材を中心に水平方向に対称に形成されている請求項1ないし3の何れか一項に記載のコレットホルダ。
- 請求項1ないし4の何れか一項に記載のコレットホルダを上下方向に変位自在に支持しているダイボンダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010191762A JP2012049417A (ja) | 2010-08-30 | 2010-08-30 | コレットホルダおよびダイボンダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010191762A JP2012049417A (ja) | 2010-08-30 | 2010-08-30 | コレットホルダおよびダイボンダ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012049417A true JP2012049417A (ja) | 2012-03-08 |
Family
ID=45903932
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010191762A Pending JP2012049417A (ja) | 2010-08-30 | 2010-08-30 | コレットホルダおよびダイボンダ |
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JP (1) | JP2012049417A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014156798A (ja) * | 2013-02-14 | 2014-08-28 | Keihin Corp | エンジンの吸気量制御装置 |
-
2010
- 2010-08-30 JP JP2010191762A patent/JP2012049417A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2014156798A (ja) * | 2013-02-14 | 2014-08-28 | Keihin Corp | エンジンの吸気量制御装置 |
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