JP2012045769A - 液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を有する基板と、前記液体を吐出する吐出口と、前記吐出口に連通する発泡室と、を前記エネルギー発生素子の上側にそれぞれ有する流路形成部材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記流路形成部材を構成する材料としてネガ型感光性樹脂を用い、前記発泡室の側壁を構成する第一の像を形成するための第一の露光処理と、前記吐出口の側壁を構成する第二の像を形成するための第二の露光処理とを、前記第一の像の側壁と前記第二の像の側壁とが斜めに交差するように行うことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。
【選択図】図7
Description
本実施形態は、ネガ型感光性樹脂に凹レンズとして機能する窪み部を形成し、入射光を屈折させることによって、吐出口の側壁を基板の垂直方向に対して角度を持たせる方法を示す。凹レンズは、レンズとなる部分の周囲を露光した後、ネガ型感光性樹脂の未硬化時の軟化点以上の温度でベークすることで、未露光部のみ樹脂密度が上昇するように変形が起こり、窪みが形成される。この時の窪みの深さは、ネガ型感光性樹脂の塗布膜厚、形成させる凹レンズの面積、ベーク温度等の条件によって変化する。窪みは、塗布膜厚が厚く、凹レンズの面積が小さく、ベーク温度が高いほど深くなるが、本実施形態においては例えば1〜10μmである。窪みの断面は放物線に似た形状となるが、カテナリー曲線で良く近似することができる。
本実施形態では、吐出口の露光の際にパターンの結像位置をネガ型感光性樹脂の内部に持たせ、吐出口の側壁を基板の垂直方向に対して角度を持たせる方法を示す。
本実施例では、図2の工程によりインクジェット記録ヘッドを作製した。
本実施例では、図3の工程を用いてインクジェット記録ヘッドを作製した。
本実施例では、図4の工程を用いてインクジェット記録ヘッドを作製した。なお、本実施例においては、実施例2における発泡室と吐出口の露光順序を逆にしており、他の工程に変わりない。
本実施例では、図5の工程を用いてインクジェット記録ヘッドを作製した。
比較のために、吐出口の下面と発泡室の上面が異なる面積となるインクジェット記録ヘッドを作製した。以下に図6を用いて説明する。
上記実施例で作製したそれぞれのインクジェット記録ヘッドの吐出口及び発泡室の断面形状を観察したところ、吐出口と発泡室の連結部が同じ面積で形成されたことを確認した。
2 エネルギー発生素子
3 液体流路(インク流路)
4 流路形成部材
4’ ネガ型感光性樹脂
5 吐出口
6 液体供給口(インク供給口)
7 流路パターン(インク流路パターン)
8 第一の像
8’ 第一の像の側壁(発泡室の側壁)
9 窪み部
10 第二の像
10’ 第二の像の側壁(吐出口の側壁)
11 発泡室
12 流路形成部材
13 窪み部
Claims (11)
- 液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を有する基板と、
前記液体を吐出する吐出口と、前記吐出口に連通する発泡室と、を前記エネルギー発生素子の上側にそれぞれ有する流路形成部材と、
を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記流路形成部材を構成する材料としてネガ型感光性樹脂を用い、
前記発泡室の側壁を構成する第一の像を形成するための第一の露光処理と、前記吐出口の側壁を構成する第二の像を形成するための第二の露光処理とを、前記第一の像の側壁と前記第二の像の側壁とが斜めに交差するように行うことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記吐出口の側壁が前記発泡室の側壁上端から斜め上方に延伸し、かつ前記吐出口の上端開口に向かって前記吐出口の水平断面が小さくなるように、前記吐出口及び前記発泡室を形成する請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記吐出口の下端開口と前記発泡室の上端開口が同じ面積となるように前記吐出口及び前記発泡室を形成する請求項1又は2に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- (1)前記基板の上に前記ネガ型感光性樹脂を配置する工程と、
(2)前記第一の露光処理を行う工程と、
(3)前記第一の像の側壁と前記第二の像の側壁とが斜めに交差するように第二の露光処理を行う程と、
(4)前記ネガ型感光性樹脂を現像する工程と、
をこの順で含む請求項1乃至3のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記工程(2)の後であって前記工程(3)の前に、前記ネガ型感光性樹脂の軟化点以上の温度で熱処理をすることにより、前記第一の像の上部に窪み部を形成する工程を有し、
前記第二の露光処理は、前記ネガ型感光性樹脂を露光し、前記窪み部に前記第二の像を形成する処理である請求項4に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記第二の露光処理は、前記第一の像の側壁と前記第二の像の側壁とが、前記ネガ型感光性樹脂の内部で交差するよう、前記第二の露光の結像位置を前記ネガ型感光性樹脂の内部に設けて露光する処理である請求項1乃至3のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記基板に前記流路形成部材の下部を構成する第一のネガ型感光性樹脂を配置する工程と、
前記第一のネガ型感光性樹脂を露光して第一の像を形成した後、現像して前記第一の像の側壁を有する前記発泡室を形成する工程と、
前記流路形成部材の上部を構成する第二のネガ型感光性樹脂を前記流路形成部材の下部の上及び前記発泡室に配置する工程と、
前記第二のネガ型感光性樹脂の軟化点以上の温度で熱処理をすることにより、前記発泡室の上側の第二のネガ型感光性樹脂に窪み部を形成する工程と、
前記第二のネガ型感光性樹脂を露光し、前記窪み部に前記第二の像を形成する第二の露光処理と、
を行う請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記ネガ型感光性樹脂がカチオン重合性の光硬化性樹脂からなる請求項1乃至7のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記ネガ型感光性樹脂はカチオン重合性の光硬化性樹脂からなり、
前記カチオン重合性の光硬化性樹脂は、露光波長に対して0.03〜0.07/μmの吸光度を有する光増感剤を添加することを特徴とする請求項7に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記基板は内部に前記液体を供給するための貫通口からなる液体供給口を有し、前記流路形成部材は前記液体供給口と前記発泡室とに連通する液体流路を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記ネガ型感光性樹脂を前記基板の上に配置する前に、前記基板の上に溶解可能な樹脂を設けることにより、前記液体流路の型材を形成する工程と、
前記発泡室及び前記吐出口を形成した後に、前記型材を溶解して前記液体流路を形成する工程と、
を有する請求項1乃至9のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記溶解可能な樹脂がポリメチルイソプロペニルケトンからなる請求項10に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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