JP2012044171A - 発光ダイオード構造及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】LED構造は、基板200と、発光エピタキシャル構造204,210,212と、第1の導電型接触層214と、第2の導電型接触層216と、透明絶縁層218と、第1の反射層226と、第2の反射層230と、第1の障壁層228と、第2の障壁層232と、第1の導電型電極234と、第2の導電型電極236とを備える。
【選択図】図2E
Description
Claims (20)
- 基板と、
前記基板に配置される第1の導電型半導体層と、前記第1の導電型半導体層の第1の部分に配置され、前記第1の導電型半導体層の第2の部分を露出させる活性層と、前記活性層に配置され、前記第1の導電型半導体層の導電タイプと異なる導電タイプを有する第2の導電型半導体層とを含む発光エピタキシャル構造と、
前記第1の導電型半導体層の第2の部分に配置される第1の導電型接触層と、
前記第2の導電型半導体層に配置される第2の導電型接触層と、
前記発光エピタキシャル構造、前記第1の導電型接触層、前記第2の導電型接触層を被覆し、且つ表面を有し、それぞれ前記第1の導電型接触層の一部及び前記第2の導電型接触層の一部を露出させる第1の接触孔及び第2の接触孔を含む透明絶縁層と、
前記第1の接触孔及び前記透明絶縁層の表面の一部で延伸して、それらを被覆する第1の反射層と、
前記第2の接触孔及び前記透明絶縁層の前記表面の他の部分で延伸して、それらを被覆する第2の反射層と、
前記第1の反射層に配置され、前記第1の接触孔を充填する第1の導電型電極と、
前記第2の反射層に配置され、前記第2の接触孔を充填する第2の導電型電極と、
を備える、発光ダイオード(LED)構造。 - 前記第1の反射層と前記第1の導電型電極との間に配置される第1の障壁層と、前記第2の反射層と前記第2の導電型電極との間に配置される第2の障壁層とを更に備える、請求項1に記載のLED構造。
- 前記第1の導電型電極と前記第2の導電型電極が、同一の平面に配置される、請求項1に記載のLED構造。
- 前記第1の接触孔の側壁及び前記第2の接触孔の側壁の両者とも、前記発光エピタキシャル構造に対して傾斜する、請求項1に記載のLED構造。
- 前記透明絶縁層が、少なくとも1つのパターン構造を含む、請求項1に記載のLED構造。
- 基板と、
前記基板に配置される第1の導電型半導体層と、前記第1の導電型半導体層の第1の部分に配置され、前記第1の導電型半導体層の第2の部分を露出させる活性層と、前記活性層に配置され、前記第1の導電型半導体層の導電タイプと異なる導電タイプを有する第2の導電型半導体層とを含む発光エピタキシャル構造と、
前記第1の導電型半導体層の第2の部分に配置される第1の導電型接触層と、
前記第2の導電型半導体層に配置される第2の導電型接触層と、
前記第1の導電型接触層に重ねられる第1の反射層と、
前記第2の導電型接触層に重ねられる第2の反射層と、
前記発光エピタキシャル構造、前記第1の反射層、前記第2の反射層を被覆し、且つ表面を有し、それぞれ前記第1の反射層の一部及び前記第2の反射層の一部を露出させる第1の接触孔及び第2の接触孔を含む透明絶縁層と、
前記透明絶縁層に配置され、前記第1の接触孔を充填する第1の導電型電極と、
前記透明絶縁層に配置され、前記第2の接触孔を充填する第2の導電型電極と、
を備える、発光ダイオード(LED)構造。 - 前記第1の接触孔及び前記透明絶縁層の表面の一部と前記第1の導電型電極との間に配置される第1の障壁層と、
前記第2の接触孔及び前記透明絶縁層の表面の他の部分と前記第2の導電型電極との間に配置される第2の障壁層と、
を更に備える、請求項6に記載のLED構造。 - 前記第1の導電型電極と前記第2の導電型電極が、同一の平面に配置される、請求項6に記載のLED構造。
- 前記第1の接触孔の側壁及び前記第2の接触孔の側壁の両者とも、前記発光エピタキシャル構造に対して傾斜する、請求項6に記載のLED構造。
- 前記透明絶縁層が、少なくとも1つのパターン構造を含む、請求項6に記載のLED構造。
- 基板に、前記基板に配置される第1の導電型半導体層と、前記第1の導電型半導体層の第1の部分に配置され、前記第1の導電型半導体層の第2の部分を露出させる活性層と、前記活性層に配置され、前記第1の導電型半導体層の導電タイプと異なる導電タイプを有する第2の導電型半導体層とを含む発光エピタキシャル構造を形成するステップと、
前記第1の導電型半導体層の前記第2の部分に、第1の導電型接触層を形成するステップと、
前記第2の導電型半導体層に、第2の導電型接触層を形成するステップと、
前記発光エピタキシャル構造、前記第1の導電型接触層、前記第2の導電型接触層を被覆する透明絶縁層を形成するステップと、
前記透明絶縁層に、それぞれ前記第1の導電型接触層の一部及び前記第2の導電型接触層の一部を露出させる第1の接触孔及び第2の接触孔を形成するステップと、
前記第1の接触孔及び前記透明絶縁層の表面の一部で延伸して、それらを被覆する第1の反射層を形成するステップと、
前記第2の接触孔及び前記透明絶縁層の前記表面の他の部分で延伸して、それらを被覆する第2の反射層を形成するステップと、
それぞれ前記第1の反射層及び前記第2の反射層を被覆する第1の障壁層及び第2の障壁層を形成するステップと、
前記第1の障壁層に、第1の導電型電極を形成し、前記第1の接触孔を充填するステップと、
前記第2の障壁層に、第2の導電型電極を形成し、前記第2の接触孔を充填するステップと、
を備える、発光ダイオード(LED)構造の製造方法。 - 前記第1の導電型電極と前記第2の導電型電極が、同一の平面に配置される、請求項11に記載のLED構造の製造方法。
- 前記透明絶縁層を形成する前記ステップが、前記透明絶縁層として、回転塗布によって透明酸化層を形成するステップを含む、請求項11に記載のLED構造の製造方法。
- 前記第1の接触孔及び前記第2の接触孔を形成する前記ステップが、前記第1の接触孔の側壁及び前記第2の接触孔の側壁の両者とも、前記発光エピタキシャル構造に対して傾斜させるステップを更に含む、請求項11に記載のLED構造の製造方法。
- 前記第1の接触孔及び前記第2の接触孔を形成するステップと前記第1の反射層を形成するステップとの間に、前記透明絶縁層の前記表面に、少なくとも1つのパターン構造を形成するステップを更に備える、請求項11に記載のLED構造の製造方法。
- 基板に、前記基板に配置される第1の導電型半導体層と、前記第1の導電型半導体層の第1の部分に配置され、前記第1の導電型半導体層の第2の部分を露出させる活性層と、前記活性層に配置され、前記第1の導電型半導体層の導電タイプと異なる導電タイプを有する第2の導電型半導体層とを含む発光エピタキシャル構造を形成するステップと、
前記第1の導電型半導体層の前記第2の部分に、第1の導電型接触層を形成するステップと、
前記第2の導電型半導体層に、第2の導電型接触層を形成するステップと、
前記第1の導電型接触層に、第1の反射層を形成するステップと、
前記第2の導電型接触層に、第2の反射層を形成するステップと、
前記発光エピタキシャル構造、前記第1の反射層、前記第2の反射層を被覆する透明絶縁層を形成するステップと、
前記透明絶縁層に、それぞれ前記第1の反射層の一部及び前記第2の反射層の一部を露出させる第1の接触孔及び第2の接触孔を形成するステップと、
前記第1の接触孔及び前記透明絶縁層の表面の一部で延伸して、それらを被覆する第1の障壁層を形成するステップと、
前記第2の接触孔及び前記透明絶縁層の前記表面の他の部分で延伸して、それらを被覆する第2の障壁層を形成するステップと、
前記第1の障壁層に、第1の導電型電極を形成し、前記第1の接触孔を充填するステップと、
前記第2の障壁層に、第2の導電型電極を形成し、前記第2の接触孔を充填するステップと、
を備える、発光ダイオード(LED)構造の製造方法。 - 前記第1の導電型電極と前記第2の導電型電極が、同一の平面に配置される、請求項16に記載のLED構造の製造方法。
- 前記透明絶縁層を形成する前記ステップが、前記透明絶縁層として、回転塗布によって透明酸化層を形成するステップを含む、請求項16に記載のLED構造の製造方法。
- 前記第1の接触孔及び前記第2の接触孔を形成する前記ステップが、前記第1の接触孔の側壁及び前記第2の接触孔の側壁の両者とも、前記発光エピタキシャル構造に対して傾斜させるステップを更に含む、請求項16に記載のLED構造の製造方法。
- 前記第1の接触孔及び前記第2の接触孔を形成するステップと前記第1の障壁層を形成するステップとの間に、前記透明絶縁層の前記表面に、少なくとも1つのパターン構造を形成するステップを更に備える、請求項16に記載のLED構造の製造方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020524407A (ja) * | 2017-06-19 | 2020-08-13 | オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングOsram Opto Semiconductors GmbH | 半導体レーザーダイオード |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010014177A1 (de) * | 2010-04-01 | 2011-10-06 | Jenoptik Polymer Systems Gmbh | Oberflächenemittierende Halbleiter-Leuchtdiode |
TW201340396A (zh) * | 2012-03-23 | 2013-10-01 | Chi Mei Lighting Tech Corp | 發光二極體元件及其製造方法 |
TWI473298B (zh) * | 2012-04-20 | 2015-02-11 | Genesis Photonics Inc | 半導體發光元件及覆晶式封裝元件 |
JP2013232477A (ja) * | 2012-04-27 | 2013-11-14 | Toshiba Corp | 発光モジュール |
CN103426987B (zh) * | 2012-05-14 | 2016-04-06 | 新世纪光电股份有限公司 | 半导体发光元件及覆晶式封装元件 |
US9306124B2 (en) * | 2012-05-17 | 2016-04-05 | Epistar Corporation | Light emitting device with reflective electrode |
KR101399524B1 (ko) * | 2012-12-28 | 2014-05-29 | 한국광기술원 | 발광 소자 패키지 장치와, 발광 소자 패키지 모듈 및 발광 소자 패키지 장치의 제작 방법 |
JP2014150245A (ja) * | 2013-01-08 | 2014-08-21 | Rohm Co Ltd | 発光素子および発光素子パッケージ |
WO2015053600A1 (ko) * | 2013-10-11 | 2015-04-16 | 주식회사 세미콘라이트 | 반도체 발광소자 |
CN103794695A (zh) * | 2014-02-25 | 2014-05-14 | 深圳市兆明芯科技控股有限公司 | 覆晶式led芯片 |
KR101471894B1 (ko) * | 2014-04-03 | 2014-12-11 | 한국광기술원 | 발광 소자 패키지 장치와 발광 소자 패키지 장치의 제작 방법 |
TWI641285B (zh) | 2014-07-14 | 2018-11-11 | 新世紀光電股份有限公司 | 發光模組與發光單元的製作方法 |
TWI548123B (zh) | 2014-12-03 | 2016-09-01 | 隆達電子股份有限公司 | 發光二極體結構 |
KR102427641B1 (ko) * | 2015-09-16 | 2022-08-02 | 삼성전자주식회사 | 반도체 발광소자 |
TWI772253B (zh) * | 2015-11-13 | 2022-08-01 | 晶元光電股份有限公司 | 發光元件 |
US11024775B2 (en) * | 2017-10-17 | 2021-06-01 | Lumileds Llc | LED emitters with integrated nano-photonic structures to enhance EQE |
CN110518105B (zh) * | 2019-08-02 | 2023-11-28 | 晶能光电股份有限公司 | 倒装led芯片反射电极制备方法及其结构 |
CN110970537A (zh) * | 2019-12-19 | 2020-04-07 | 京东方科技集团股份有限公司 | Led、驱动电路基板、显示面板及制作方法、显示装置 |
CN114188447A (zh) * | 2020-09-14 | 2022-03-15 | 厦门乾照光电股份有限公司 | 一种具有平坦化绝缘层的led芯片及其制作方法 |
TWI751809B (zh) | 2020-11-18 | 2022-01-01 | 隆達電子股份有限公司 | 增進接合良率的發光二極體結構 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004095959A (ja) * | 2002-09-02 | 2004-03-25 | Nichia Chem Ind Ltd | 窒化物半導体発光素子 |
JP2005019939A (ja) * | 2003-06-23 | 2005-01-20 | Samsung Electro Mech Co Ltd | フリップチップボンディング用窒化ガリウム系発光ダイオード及びその製造方法 |
JP2006261609A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | GaN系発光ダイオードおよびそれを用いた発光装置 |
JP2009130059A (ja) * | 2007-11-21 | 2009-06-11 | Rohm Co Ltd | 半導体発光素子およびその製造方法 |
JP2010062425A (ja) * | 2008-09-05 | 2010-03-18 | Showa Denko Kk | 半導体発光素子及び半導体発光素子の製造方法、ランプ |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI341039B (en) | 2007-03-30 | 2011-04-21 | Delta Electronics Inc | Light emitting diode apparatus |
CN102124574B (zh) | 2008-06-16 | 2013-07-17 | 丰田合成株式会社 | 半导体发光元件、其电极及制造方法以及灯 |
JP4724222B2 (ja) | 2008-12-12 | 2011-07-13 | 株式会社東芝 | 発光装置の製造方法 |
-
2010
- 2010-08-20 TW TW099127966A patent/TW201210074A/zh unknown
-
2011
- 2011-03-28 US US13/073,812 patent/US8410505B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-07-26 EP EP11175287A patent/EP2421059A2/en not_active Withdrawn
- 2011-08-09 JP JP2011173611A patent/JP2012044171A/ja active Pending
- 2011-08-18 KR KR1020110081962A patent/KR101188634B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004095959A (ja) * | 2002-09-02 | 2004-03-25 | Nichia Chem Ind Ltd | 窒化物半導体発光素子 |
JP2005019939A (ja) * | 2003-06-23 | 2005-01-20 | Samsung Electro Mech Co Ltd | フリップチップボンディング用窒化ガリウム系発光ダイオード及びその製造方法 |
JP2006261609A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | GaN系発光ダイオードおよびそれを用いた発光装置 |
JP2009130059A (ja) * | 2007-11-21 | 2009-06-11 | Rohm Co Ltd | 半導体発光素子およびその製造方法 |
JP2010062425A (ja) * | 2008-09-05 | 2010-03-18 | Showa Denko Kk | 半導体発光素子及び半導体発光素子の製造方法、ランプ |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020524407A (ja) * | 2017-06-19 | 2020-08-13 | オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングOsram Opto Semiconductors GmbH | 半導体レーザーダイオード |
US11336078B2 (en) | 2017-06-19 | 2022-05-17 | Osram Oled Gmbh | Semiconductor laser diode |
US11695253B2 (en) | 2017-06-19 | 2023-07-04 | Osram Oled Gmbh | Semiconductor laser diode |
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