JP2012036479A - 成膜方法およびそれを用いた成膜装置 - Google Patents
成膜方法およびそれを用いた成膜装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012036479A JP2012036479A JP2010179771A JP2010179771A JP2012036479A JP 2012036479 A JP2012036479 A JP 2012036479A JP 2010179771 A JP2010179771 A JP 2010179771A JP 2010179771 A JP2010179771 A JP 2010179771A JP 2012036479 A JP2012036479 A JP 2012036479A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film thickness
- layer
- refractive index
- film
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
光学薄膜の成膜において、膜厚、屈折率が設計値からずれた場合でも、最終的に得られる光学性能が目的とする光学性能に近づけることができる技術を提供する。
【解決手段】
光学的膜厚がλ/4以上の層で光量の極値が判明した時点で、それ以前に成膜した光学的膜厚がλ/4以下の薄い層の屈折率と膜厚を推定し、最適化手法を用いて成膜中の層および成膜中の層以降の層の膜厚を補正することによって目的とする光学性能を得る。
【選択図】なし
Description
成膜中の層の該モニター基板上での光学的膜厚がλ/4(λは該モニター光の計測波長)以上の厚さの場合に、該膜厚制御工程で計測された光学的膜厚がλ/4の奇数倍の位置における反射率または透過率の極大値または極小値に基づいて、当該層および当該層以前の層の屈折率を推定する屈折率推定工程と、
該膜厚制御工程で得られた計測結果と、該屈折率推定工程で推定された屈折率から、当該層以前の層の膜厚を推定する膜厚推定工程と、
該屈折率推定工程と該膜厚推定工程で推定された各層の屈折率と膜厚とを用いて、当該層および当該層以降の層の目標膜厚を補正する膜厚補正工程を有することを特徴とする。
第1層および第2層のピーク光量、停止光量(%)は、光学的膜厚がλ/4に達しないため不明である。
最初に数10の補正式を用いて第3層のピーク光量から第1層がλ/4以上の膜厚であったと仮定した場合のピーク光量を推定する。
ここでは第1層の補正係数を−0.01とする。
第1層の推定ピーク光量は、P’=73.06+73.06×−0.01=72.33となる。
製品基板上の物理的膜厚=46.86×0.75=35.15nm、光学的膜厚=35.15×(2.050+0.013)=72.51=0.145λ(λ=500nm)。(2.050は分散式を用いて計算した波長500nmでのZrO2の屈折率。)
第14章4項P.505 Levenberg-Marquardt法,
日本, 株式会社技術評論社,
平成18年5月5日初版第13刷, ISBN4-87408-560-1、に記載のコードを用いることができる。
12 蒸発源
13 製品基板配置用ドーム
14 モニター基板ホルダー
15 モニター基板マスク
16 モニター基板
17 投受光部
18 演算および制御部
21 モニター基板マスク開口部
成膜中の層の該モニター基板上での光学的膜厚がλ/4(λは該モニター光の計測波長)以上の厚さの場合に、該膜厚制御工程で計測された光学的膜厚がλ/4の奇数倍の位置における反射率または透過率の極大値または極小値に基づいて、当該層および光学的膜厚がλ/4未満の当該層以前の層の屈折率を推定する屈折率推定工程と、
該膜厚制御工程で得られた計測結果と、該屈折率推定工程で推定された屈折率から、光学的膜厚がλ/4未満の当該層以前の層の膜厚を推定する膜厚推定工程と、
該屈折率推定工程と該膜厚推定工程で推定された各層の屈折率と膜厚とを用いて、当該層および当該層以降の層の目標膜厚を補正する膜厚補正工程を有することを特徴とする。
モニター基板上の光学膜厚は、該当層の製品基板上の光学膜厚と膜物質の屈折率とから製品基板上の物理膜厚を計算し、製品基板上の物理膜厚を膜厚比で割ることによってモニター基板上の物理膜厚を計算し、モニター上の物理膜厚に計測波長における真空中でのモニター基板上の層の屈折率をかけることによって導き出すことができる。
第1層および第2層のピーク光量、停止光量(%)は、モニター基板上の光学的膜厚がλ/4に達しないため不明である。
すなわち第3層のピークでの反射率は、第3層の初期光量Rs、第3層のピーク光量Rp、基板の反射率Roを用いて求めることができる。
例えば第1層の補正係数Aは、実験的に第1層をモニター基板上にλ/4以上の膜厚で成膜し引き続き成膜した第3層のピーク光量と比較することによって求めることができる。
Claims (5)
- 光学多層膜の各層の膜厚をモニター光を用いてモニター基板上で成膜中に計測することによって制御する膜厚制御工程と、
成膜中の層の該モニター基板上での光学的膜厚がλ/4(λは該モニター光の計測波長)以上の厚さの場合に、該膜厚制御工程で計測された光学的膜厚がλ/4の奇数倍の位置における反射率または透過率の極大値または極小値に基づいて、当該層および当該層以前の層の屈折率を推定する屈折率推定工程と、
該膜厚制御工程で得られた計測結果と、該屈折率推定工程で推定された屈折率から、当該層以前の層の膜厚を推定する膜厚推定工程と、
該屈折率推定工程と該膜厚推定工程で推定された各層の屈折率と膜厚とを用いて、当該層および当該層以降の層の目標膜厚を補正する膜厚補正工程を有することを特徴とする成膜方法。 - 請求項1記載の膜厚補正工程における膜厚補正方法は、成膜中の層および成膜中の層以降の層の膜厚をパラメーターとして、目標とする分光特性と、前記屈折率推定工程と前記膜厚推定工程で推定された屈折率と膜厚の推定値を用いて計算した分光特性との差の二乗和が最小となるようにパラメーターを最適化することを特徴とする請求項1記載の成膜方法。
- 請求項1記載の膜厚制御工程における膜厚計測方法が単一波長の光量を計測するものであることを特徴とする請求項1または請求項2記載の成膜方法。
- 真空蒸着法またはスパッタリング法により多層膜を形成することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の成膜方法。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の成膜方法を用いたことを特徴とする成膜装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010179771A JP4854098B1 (ja) | 2010-08-10 | 2010-08-10 | 成膜方法およびそれを用いた成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010179771A JP4854098B1 (ja) | 2010-08-10 | 2010-08-10 | 成膜方法およびそれを用いた成膜装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP4854098B1 JP4854098B1 (ja) | 2012-01-11 |
JP2012036479A true JP2012036479A (ja) | 2012-02-23 |
Family
ID=45540525
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010179771A Active JP4854098B1 (ja) | 2010-08-10 | 2010-08-10 | 成膜方法およびそれを用いた成膜装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4854098B1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016507745A (ja) * | 2013-02-11 | 2016-03-10 | ハリバートン エナジー サヴィシーズ インコーポレイテッド | 原子層蒸着を使用して形成される統合計算要素を有する流体解析システム |
US10895667B2 (en) | 2016-03-09 | 2021-01-19 | Lg Chem, Ltd. | Antireflection film |
JP2021031693A (ja) * | 2019-08-19 | 2021-03-01 | 株式会社オプトラン | 光学膜厚制御装置、薄膜形成装置、光学膜厚制御方法および薄膜形成方法 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101991928B1 (ko) | 2017-04-28 | 2019-06-21 | 주식회사 엘지화학 | 반사 방지 필름 |
CN116005124B (zh) * | 2022-12-30 | 2023-08-15 | 佛山市博顿光电科技有限公司 | 镀膜换层判停方法、装置及镀膜控制设备 |
CN117230416B (zh) * | 2023-07-12 | 2024-03-01 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 磁控溅射元件镀膜膜厚分布修正的挡板设计方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005344168A (ja) * | 2004-06-03 | 2005-12-15 | Shincron:Kk | 薄膜形成方法,膜厚測定方法及び膜厚測定装置 |
JP2007113091A (ja) * | 2005-10-21 | 2007-05-10 | Pentax Corp | 多層膜の形成方法 |
-
2010
- 2010-08-10 JP JP2010179771A patent/JP4854098B1/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005344168A (ja) * | 2004-06-03 | 2005-12-15 | Shincron:Kk | 薄膜形成方法,膜厚測定方法及び膜厚測定装置 |
JP2007113091A (ja) * | 2005-10-21 | 2007-05-10 | Pentax Corp | 多層膜の形成方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016507745A (ja) * | 2013-02-11 | 2016-03-10 | ハリバートン エナジー サヴィシーズ インコーポレイテッド | 原子層蒸着を使用して形成される統合計算要素を有する流体解析システム |
US10895667B2 (en) | 2016-03-09 | 2021-01-19 | Lg Chem, Ltd. | Antireflection film |
US10983252B2 (en) | 2016-03-09 | 2021-04-20 | Lg Chem, Ltd. | Anti-reflective film |
US11262481B2 (en) | 2016-03-09 | 2022-03-01 | Lg Chem, Ltd. | Anti-reflective film |
US11275199B2 (en) | 2016-03-09 | 2022-03-15 | Lg Chem, Ltd. | Anti-reflective film |
JP2021031693A (ja) * | 2019-08-19 | 2021-03-01 | 株式会社オプトラン | 光学膜厚制御装置、薄膜形成装置、光学膜厚制御方法および薄膜形成方法 |
JP7303701B2 (ja) | 2019-08-19 | 2023-07-05 | 株式会社オプトラン | 光学膜厚制御装置、薄膜形成装置、光学膜厚制御方法および薄膜形成方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4854098B1 (ja) | 2012-01-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4854098B1 (ja) | 成膜方法およびそれを用いた成膜装置 | |
JP3848571B2 (ja) | 薄膜形成方法及び装置 | |
Sullivan et al. | Deposition error compensation for optical multilayer coatings. I. Theoretical description | |
JP6704343B2 (ja) | インライン堆積制御装置及びインライン堆積制御方法 | |
Sullivan et al. | Deposition error compensation for optical multilayer coatings. II. Experimental results—sputtering system | |
JP2016527397A5 (ja) | ||
US10619996B2 (en) | Vapor phase growth rate measuring apparatus, vapor phase growth apparatus, and growth rate detection method | |
JP6800800B2 (ja) | 成長速度測定装置および成長速度検出方法 | |
US11474281B2 (en) | Optical element and method of making an optical element | |
EP1094344B1 (en) | Thin film forming method and apparatus | |
JP3625736B2 (ja) | 光学フィルタの製造方法 | |
JP2017143241A (ja) | 気相成長速度測定装置、気相成長装置および成長速度検出方法 | |
US8200448B2 (en) | Optical monitor for rugate filter deposition | |
EP0545699B1 (en) | Optical coatings having a plurality of prescribed properties and methods of fabricating same | |
JP2022513882A (ja) | 層システムを製造するためのコーティング設備を動作させる方法 | |
TWI781105B (zh) | 多層膜之成膜方法 | |
WO2021065499A1 (ja) | 薄膜付ウェーハの膜厚分布の測定方法 | |
JP3926073B2 (ja) | 薄膜形成方法及び装置 | |
JP2003202211A (ja) | 膜厚モニタ光波長決定方法および装置、ならびにプログラム | |
JP5416175B2 (ja) | エタロンフィルタの製造方法 | |
Watson et al. | The effect of phase distortion on interferometric measurements of thin film coated optical surfaces | |
JP2013029549A (ja) | エタロンフィルタ及びエタロンフィルタの設計方法 | |
JPH1158580A (ja) | 積層薄膜の作製方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111024 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111024 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141104 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4854098 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |