JP2012028685A - インプリント装置及びインプリント転写方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スタンパの表面に有する凹凸形状を、被転写体にエネルギーを照射し、前記転写体に転写し、その後、前記スタンパを前記被転写体から剥離するインプリント装置またはインプリント転写方法において、前記スタンパ又は前記被転写体の少なくとも一方の第1の裏面を、平面形状を有する平面加圧体21で加圧し、その後、前記スタンパ又は前記被転写体の少なくとも一方の第2の裏面を流体で加圧し、前記加圧平面体による加圧と、前記流体による加圧との加圧タイミングを制御して前記転写を行うことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
また、流体加圧方式の長所は、100nm以下までフィルタリングされたクリーンエアのみが樹脂近傍に存在するので非常に均一な硬化品質が得られることである。一方、樹脂を平面で押圧しないので、樹脂の塗布厚の均一性は、樹脂の自己流動性に頼るしかないことが短所である。
本発明は、スタンパの表面に有する凹凸形状を、被転写体にエネルギーを照射し、前記転写体に転写し、その後、前記スタンパを前記被転写体から剥離するインプリント装置またはインプリント転写方法において、前記スタンパ又は前記被転写体の少なくとも一方の第1の裏面を、平面形状を有する平面加圧体で加圧し、その後、前記スタンパ又は前記被転写体の少なくとも一方の第2の裏面を流体で加圧し、前記加圧平面体による加圧と、前記流体による加圧との加圧タイミングを制御して前記転写を行うことを第1の特徴とする。
さらに、前記第1の裏面と前記第2の裏面は異なる裏面あることを第3の特徴とする。
また、前記制御は、前記加圧平面体による加圧か前記流体による加圧へ移行する際に前記加圧を所定の圧力に略維持するように行うことを第4の特徴とする。
さらに、前記エネルギーは熱または光であることを第5の特徴とする。
インプリント装置Ipは、大別して、スタンパの成形材料である光硬化性樹脂Pより上部に構成要素を持つ転写機構上部10と、光硬化性樹脂Pより下部に構成要素を持つ転写機構下部30とを有する。転写機構上部10は、スタンパであるパターン原版11と、パターン原版11を平面に保ちかつ吸着保持するための吸着板12とを有する。吸着板12は、図面上で上下方向に動作するアクチュエーター(図示せず)に保持されている。
尚、上記実施形態は、転写機構上部10と、転写機構下部20がお互いに上下逆に構成されてもその機能や特徴が変化しない。また、パターン原版であるスタンパのパターンを有する側を表面とすれば、流体加圧体及び圧縮流体による加圧面をスタンパ側の裏面側としてもよい。そこで、製造装置全体の設計として合理的な姿勢を選択することが可能である。
Step1:転写機構上部10の吸着板12に吸着固定されたパターン原版11に対向させた転写機構下部20の固定部に、前工程で予め光硬化性樹脂Pを中心に滴下されたスタンパ基材SBを載置する(図3(a)の状態)。なお、図3(a)は図1と同じで図である。
Step4:図4のチャートに示すように、所定の加圧圧力に達したら、光硬化性樹脂Pの層が所定の均一な厚さに押し広げられるまで、所定の加圧圧力をタイマー期間維持し、平面加圧モードを継続する(図3(b)の状態)。
Step7:図4のチャートに示すように、平面加圧体21が所定の位置まできたら、光源22を一定時間点灯し、光硬化性樹脂Pを露光硬化させる。このとき平面加圧体21は、その表面に微小な傷、汚れ、異物があっても、それらの影が露光に影響を与えないに充分な光硬化性樹脂Pとの距離を保っているので、光硬化性樹脂Pを均一なエネルギー強度で硬化させることが可能である。
以後、Step1からStep8を繰り返す。
第1に、第1の実施形態では光源22を転写機構下部20に設け光硬化性樹脂Pの下からUV光を照射していたのに対し、第2の実施形態では光源22を転写機構上部10の吸着板12の上からからUV光を照射する。そのために、吸着板はUV光を透過する部材、例えばガラスで構成する。一方、平面加圧体21はガラスである必要はない。
第2に、第1の実施形態では平面加圧体を圧縮流体で駆動していたのに対し、第2の実施形態では、エア駆動ベース36と平面加圧体21のエアシリンダ37を設け、平面加圧体を駆動する。この場合、必ずしも平面加圧体21は透明なガラス体でなくともよい。
第2の実施形態における動作フローは基本的に同じであるが、平面加圧モードから流体加圧モードに移行を確実に行うには、流体加圧室26の圧力を監視しながら、エアシリンダ36による平面加圧体21による圧力を制御してもよい。
図6(a)を用いて第2の実施形態との構成上に異なる点を説明する。第3の実施形態は、第2の実施形態とエアシリンダ37で平面加圧体29を駆動する点は同じであるが、流体加圧の構成が第2の実施形態とは異なる。その他の構成は、基本的には第2の実施形態と同じである。平面加圧体29は、その加圧面に所定の高さを持つ複数の溝38と、前記溝に連結された貫通孔39を有する。一方、流体加圧部は、前記溝に挿入可能な前記所定に略同じ高さを有するノズル40と、前記貫通孔39に設けられた連結管41と、連結管41に圧縮流体を供給する流体加圧用配管28とを有する。
図6(b)は、転写機構上部10が下降し、スタンパ基材SBと密着し、平面加圧体29をエアシリンダ37により上方に加圧し、光硬化性樹脂Pを平面加圧している状態を示す。溝38の大きさによっては転写パターン層の厚さ均一性が失われる場合がある。その場合は、各ノズル40に圧縮流体を注入し、平面加圧体29と同じ又は均一性が失われない程度の圧力を溝38のある光硬化性樹脂Pにかける。
上記に説明した構成及び動作フローを有する第3の実施形態においても、第1と第2の実施形態と同様な効果を奏することができる。
20:転写機構下部 21:第1、第2の実施態における平面加圧体
22:光源 23:光学窓 24:ハウジング
25:ハウジング 26:流体加圧室 27:平面加圧用配管
28:流体加圧用配管 29:第3の実施態における平面加圧体
31〜35:Oリング 36:エア駆動ベース 37:エアシリンダ
38:平面加圧体の表面の溝 39:平面加圧体の貫通孔 40:ノズル
41:連結管 Ip:インプリント装置 P:光硬化性樹脂
SB:スタンパ基材。
Claims (14)
- 表面に凹凸形状を有するスタンパと、前記凹凸形状が表面に転写される被転写体と、前記被転写体にエネルギーを照射するエネルギー源とを、前記スタンパを前記被転写体から剥離するインプリント装置において、
前記スタンパ又は前記被転写体の少なくとも一方の第1の裏面を平面形状を有する平面加圧体で加圧する平面加圧手段と、前記スタンパ又は前記被転写体の少なくとも一方の第2の裏面を流体で加圧する流体加圧手段と、前記平面加圧手段と前記流体加圧手段との加圧タイミングを制御する制御手段を有することを特徴とするインプリント装置。 - 前記第1の裏面と前記第2の裏面は同一の裏面であることを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。
- 前記同一の裏面は前記スタンパの裏面であることを特徴とする請求項2に記載のインプリント装置。
- 前記同一の裏面は前記被転写体の裏面であることを特徴とする請求項2に記載のインプリント装置。
- 前記第1の裏面と前記第2の裏面は異なる裏面であることを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。
- 前記第1の裏面は前記スタンパの裏面であり、前記第2の裏面は前記被転写体の裏面であることを特徴とする請求項5に記載のインプリント装置。
- 前記第1の裏面は前記被転写体の裏面であり、前記第2の裏面はスタンパの裏面であるあることを特徴とする請求項5に記載のインプリント装置。
- 前記制御手段は、前記平面加圧手段から前記流体加圧手段へ移行する際に前記加圧を所定の圧力に略維持するように制御することを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。
- 前記エネルギー源は熱源または光源であることを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。
- スタンパの表面に有する凹凸形状を、被転写体にエネルギーを照射し、前記転写体に転写し、その後、前記スタンパを前記被転写体から剥離するインプリント転写方法において、
前記スタンパ又は前記被転写体の少なくとも一方の第1の裏面を、平面形状を有する平面加圧体で加圧し、その後、前記スタンパ又は前記被転写体の少なくとも一方の第2の裏面を流体で加圧し、前記加圧平面体による加圧と、前記流体による加圧との加圧タイミングを制御して前記転写を行うことを特徴とするインプリント転写方法。 - 前記第1の裏面と前記第2の裏面は同一の裏面であることを特徴とする請求項10に記載のインプリント転写方法。
- 前記第1の裏面と前記第2の裏面は異なる裏面であることを特徴とする請求項10に記載のインプリント転写方法。
- 前記制御は、前記加圧平面体による加圧か前記流体による加圧へ移行する際に前記加圧を所定の圧力に略維持するように行うことを特徴とする請求項10に記載のインプリント転写方法。
- 前記エネルギーは熱または光であることを特徴とする請求項10に記載のインプリント転写方法。
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