JP2012027374A - フォトスペーサ用フォトマスク、フォトスペーサ及びカラーフィルタ基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】遮光膜9が形成されたマスクブランクスに対し、45度回転させた正方形の開口部8を角部が連接するか若しくは一部が重なるように連接したパターンを開口部として形成したことを特徴とするフォトスペーサ用フォトマスクであって、前記正方形の開口部を連接した開口部の全体が、(8〜14)μm×(16〜26)μmの範囲にあることを特徴とするフォトマスクである。
【選択図】図1
Description
また、dがレジスト形状に影響があるのは、目的とする長方形形状が(15〜27)μm×(6〜15)μmと微細な場合で、この値よりも大きなサイズでは得られるレジスト形状が、マスクのパターン形状と乖離するということがそもそもない。
本実施例で使用する透明基板1としては、ソーダ石灰ガラス、低アルカリ硼珪酸ガラス、無アルカリアルミノ硼珪酸ガラスなどのガラス板や、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、ポリエチレンテレフタレートなどの樹脂基板が用いられる。透明性、強度、耐熱性、耐候性において優れた200cm×150cmサイズで厚み0.7mmのガラス基板を用いた。
本実施例では、フォトスペーサ2を線幅が15μmのブラックマトリックス(BM)上に形成した。フォトスペーサ(以下、PSとも記す。)の線幅に制限があることから、PSの現像後のサイズは34μm×15μmの範囲内になるように種々設定した。
フォトマスク用ブランクスとして、上記のガラス基板より一回り大きなガラス基板に金属クロムを膜付けしたものを使用した。
下記の比率で混合攪拌し、カーボンブラック分散体を調製した
・カーボンブラック分散液:TPBK−2016(御国色素社製) 28.5重量部
・樹脂:V259−ME(新日鐵化学社製) 10.3重量部
・モノマー:DPHA(日本化薬社製) 2.58重量部
・開始剤:OXE−02(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)0.86重量部
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 92.0重量部
エチル−3−エトキシプロピオネート 4.3重量部
・レベリング剤:BYK−330(ビックケミー社製) 1.3重量部
ガラス基板1に、上記ブラックマトリックス形成用感光性組成物をスピンコートにより塗膜を形成し、100℃で3分間乾燥の後、膜厚1.6μmの黒色感光層を作製した。得られた黒色感光層に所定パターンのフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を200mJ/cm2 照射し、2.5%炭酸ナトリウム水溶液にて30秒間現像、現像後水洗、乾燥させた後、パターンを定着させるため230℃60分焼成することで、ガラス基板1の所定位置に線幅15μmのブラックマトリックス2を形成した(図2(a))。
下記組成の混合物を均一に攪拌混合した後、直径1mmのガラスビースを用いて、サンドミルで5時間分散した後、5μmのフィルタで濾過して赤色顔料の分散体を作製した。
・赤色顔料:C.I.Pigment Red 254 18重量部
(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「イルガーフォーレッド B-CF」)
・赤色顔料:C.I.Pigment Red 177 2重量部
(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「クロモフタールレッド A2B」)
・分散剤(味の素ファインテクノ社製「アジスパーPB821」) 2重量部
・アクリルワニス(固形分20%) 50重量部
・上記分散体 72重量部
・樹脂:熱可塑性アクリル系樹脂 28重量部
・モノマー:DPHA(日本化薬社製) 12重量部
・開始剤:Irgacure907 3重量部
(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)
・増感剤:EAB−F(保土ヶ谷化学社製) 1重量部
・溶剤:シクロヘキサノン 253重量部
ブラックマトリックス2が形成されたガラス基板1に、上記赤色感光性組成物をスピンコートにより塗膜を形成し、90℃で5分間乾燥の後、膜厚3.2μmの赤色感光層を作製した。 得られた赤色感光層に赤層形成用のストライプ状フォトマスクを通して高圧水銀灯の光を300mJ/cm2 照射し、アルカリ現像液にて60秒間現像、現像後水洗、乾燥させた後、パターンを定着させるため230℃30分焼成することで、ストライプ形状の赤色層3を形成した(図2(b))。
・炭酸ナトリウム 1.5重量部
・炭酸水素ナトリウム 0.5重量部
・陰イオン系界面活性剤(花王・ペリレックスNBL) 8.0重量部
・水 90重量部
下記組成の混合物を均一に攪拌混合した後、直径1mmのガラスビースを用いて、サンドミルで5時間分散した後、5μmのフィルタで濾過して緑色顔料の分散体を作製した。
・緑色顔料:C.I.Pigment Green 36
(東洋インキ製造(株)製「リオノールグリーン 6YK」) 16重量部
・黄色顔料:C.I.Pigment Yellow 150
(バイエル社製「ファンチョンファーストイエロー Y-5688」) 8重量部
・分散剤(ビックケミー社製「Disperbyk-163」) 2重量部
・アクリルワニス(固形分20%) 102重量部
・上記分散体 29重量部
・モノマー:DPHA(日本化薬社製) 14重量部
・開始剤:Irgacure907 4重量部
(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)
・増感剤:EAB−F(保土ヶ谷化学社製) 2重量部
・溶剤:シクロヘキサノン 257重量部
ブラックマトリックス2および赤色層3が形成されたガラス基板1に、上記緑色感光性組成物をスピンコートにより塗膜を形成し、90℃で5分間乾燥の後、膜厚3.2μmの緑色感光層を作製した(特に図示せず)。得られた緑色感光層に緑層形成用のストライプ状フォトマスクを通して高圧水銀灯の光を300mJ/cm2 照射し、アルカリ現像液にて60秒間現像、現像後水洗、乾燥させた後、パターンを定着させるため230℃30分焼成することで、ストライプ形状の緑色層4を形成した。アルカリ現像液は、上記赤色層と同じ組成のものを使用した(図2(c))。
下記組成の混合物を均一に攪拌混合した後、直径1mmのガラスビースを用いて、サンドミルで5時間分散した後、5μmのフィルタで濾過して青色顔料の分散体を作製した。
・青色顔料:C.I.Pigment Blue 15:6
(東洋インキ製造(株)製「リオノールブルーES」) 3.6重量部
・分散剤(ゼネカ社製「ソルスバーズ20000」) 0.6重量部
・アクリルワニス(固形分20%) 22.1重量部
・上記分散体 28.3重量部
・樹脂:熱可塑性アクリル系樹脂 9.4重量部
・モノマー:DPHA(日本化薬社製) 4.7重量部
・開始剤:Irgacure907(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)
1.4重量部
・増感剤:EAB−F(保土ヶ谷化学社製) 0.2重量部
・溶剤:シクロヘキサノン 26重量部
2−アセトキシ−1−メトキシプロパン 11重量部
酢酸イソペンチル 20重量部
ブラックマトリックス2、赤色層3、および緑色層4が形成されたガラス基板1に、上記青色感光性組成物をスピンコートにより塗膜を形成し、90℃で5分間乾燥の後、膜厚3.2μmの青色感光層を作製した(特に図示せず)。 得られた青色感光層に青層形成用のストライプ状フォトマスクを通して高圧水銀灯の光を300mJ/cm2 照射し、アルカリ現像液にて60秒間現像、現像後水洗、乾燥させた後、パターンを定着させるため230℃30分焼成することで、ストライプ形状の青色層5を形成した(図2(d))。
アルカリ現像液は、上記赤色層と同じ組成のものを使用した。
PS用樹脂組成物の一例を以下に示す。
サンプル瓶(2000ml)に回転子を入れ、マグネチックスターラーに設置した。シクロヘキサノン370g、ジエチレングリコールジメチルエーテル520gをサンプル瓶に入れた。攪拌しながら、エポキシ樹脂;ESF−300(新日鐡化学(株)製:ビスフェノールフルオレン型エポキシ樹脂でエポキシ当量231g/eq)60g、エポキシ樹脂;EHPE3150(ダイセル化学工業(株)製:脂環式固形エポキシ樹脂で、分子中のエポキシ基数9個、エポキシ当量170g/eq)20g、エポキシ樹脂;EOCN−1020(日本化薬(株)製オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、エポキシ当量200g/eq)140gを加え、完全に溶解させた。引き続き、硬化剤として無水トリメリット酸を20g加え、十分に攪拌溶解した後、硬化促進剤としてジメチルシクロヘキシルアミンを0.10g加えた。更に、シランカップリング剤(チッソ社製S−150)3.0g、界面活性剤(住友スリーエム社製;フロラードFC−430)0.12gを加えて十分に攪拌、溶解後、これをろ過してPS用樹脂組成物を得た。
に近くなるものと推察された。
(C),(E)については角部が丸みを帯びているが、(B)に比べると扁平であって、本発明の有効性が確認された。
2、ブラックマトリックス
3、赤色着色層
4、緑色着色層
5、青着色画層
6、オーバーコート層
7、フォトスペーサ
8、フォトマスク開口部
9、遮光部
Claims (5)
- 遮光膜が形成されたマスクブランクスに対し、45度回転させた正方形の開口部を角部が連接するか若しくは一部が重なるように連接したパターンを開口部として形成したことを特徴とするフォトスペーサ用フォトマスク
- 遮光膜が形成されたマスクブランクスに対し、長方形の長辺部分を凹凸状に窪ませ、且つ短辺部分を凸状にした開口部を形成したことを特徴とするフォトスペーサ用フォトマスク。
- 前記正方形の開口部を連接した開口部の全体が、(8〜14)μm×(16〜26)μmの範囲にあることを特徴とする請求項1に記載のフォトスペーサ用フォトマスク。
- ネガ型感光性レジストを請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のフォトスペーサ用フォトマスクを介して、プロキシミティ露光を行い、現像して形成したことを特徴とするフォトスペーサ。
- 請求項4に記載のフォトスペーサをカラーフィルタ上に備えることを特徴とするカラーフィルタ基板。
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