JP2012015010A - 電子線装置、及びその観察方法 - Google Patents
電子線装置、及びその観察方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012015010A JP2012015010A JP2010151853A JP2010151853A JP2012015010A JP 2012015010 A JP2012015010 A JP 2012015010A JP 2010151853 A JP2010151853 A JP 2010151853A JP 2010151853 A JP2010151853 A JP 2010151853A JP 2012015010 A JP2012015010 A JP 2012015010A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- microscope
- observation
- electron beam
- scanning electron
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
【解決手段】試料18の観察領域に電子線を走査しつつ照射する電子光学系を具備し試料のSEM像データを出力する走査電子顕微鏡10と、光源、前記光源で照明された前記試料の前記観察領域の光学像を形成する光学系を具備し光学像データを出力する光学顕微鏡30と、を同一筐体に備え、前記SEM像データ及び光学像データに基づいて前記走査電子顕微鏡と光学顕微鏡とで試料を同時に観察できるかを判定する同時観察判定手段41、を備える。光源を最小光量とした状態でSEM像を撮像し、同時観察判定手段41で光学顕微鏡30との同時観察が可と判断した場合は同時観察を行い、不可と判断した場合には走査電子顕微鏡10と光学顕微鏡30の交互観察を行う。
【選択図】図2
Description
10 走査電子顕微鏡
11 鏡筒
12 電子線源
13 電子線
14 コンデンサレンズ
15 偏向コイル
16 対物レンズ
17 試料室
18 試料
19 荷電粒子
20 検出器
30 光学顕微鏡
31 光学鏡筒
32 光源
33 撮像装置
34 光学像表示装置
41 同時観察判定手段
42 撮像制御手段
43 光量調整手段(撮像条件変更手段)
44 光学像判定手段
45 SEM画像形成手段
46 SEM設定手段(撮像条件変更手段)
47 SEM像判定手段
48 SEM画像表示装置
Claims (8)
- 試料の観察領域に電子線を走査しつつ照射する電子光学系を具備し試料のSEM像データを出力する走査電子顕微鏡と、
光源、前記光源で照明された前記試料の前記観察領域の光学像を形成する光学系を具備し光学像データを出力する光学顕微鏡と、を同一筐体に備え、
前記SEM像データ及び光学像データに基づいて前記走査電子顕微鏡と光学顕微鏡とで試料を同時に観察できるかを判定する同時観察判定手段を備えることを特徴とする電子線装置。 - 前記同時観察判定手段が同時観察はできないとしたとき、前記走査電子顕微鏡の撮像条件及び前記光学顕微鏡の撮像条件の少なくとも一方の条件を変更する撮像条件変更手段を備えることを特徴とする請求項1に記載の電子線装置。
- 前記同時観察判定手段が同時観察はできないとしたとき、走査電子顕微鏡での観察と、光学顕微鏡での観察を交互に行うよう前記走査電子顕微鏡と光学顕微鏡とを制御する撮像制御手段を備えることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の電子線装置。
- 前記撮像条件変更手段は、前記走査電子顕微鏡の撮像条件を、前記走査電子顕微鏡における検出器のゲイン、オフセットの調整及び、電子線の加速電圧、試料電流を含む電子ビーム条件の変更により行うことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の電子線装置。
- 前記撮像条件変更手段は、前記光学顕微鏡の撮像条件を、前記光源の光量の変更により行うことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の電子線装置。
- 前記交互観察制御手段は、光学顕微鏡による観察を前記走査電子顕微鏡像の1画面の走査終了から次画面の走査開始までの垂直帰線期間に行うことを特徴とする請求項3に記載の電子線装置。
- 試料の観察領域に電子線を走査しつつ照射する電子光学系を具備し試料のSEM像データを出力する走査電子顕微鏡と、光源、前記光源で照明された前記試料の前記観察領域の光学像を形成する光学系を具備し光学像データを出力する光学顕微鏡と、を同一筐体に備える電子線装置において、
前記光学像データに基づいて前記光源の光量を調整する行程と、
前記光源による照明下において取得したSEM像に基づいて前記走査電子顕微鏡像の撮像条件を調整する工程と、
前記調整された走査電子顕微鏡像によるSEM像データに基づいて、前記走査電子顕及び微鏡前記光学顕微鏡の同時観察を行うか否かを判断する行程と、を備えることを特徴とする電子線装置の観察方法。 - 前記走査電子顕及び微鏡前記光学顕微鏡の同時観察をしないとき、前記走査電子顕微鏡と前記光学顕微鏡との観察を交互に行うことを特徴とする請求項7に記載の電子線装置の観察方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010151853A JP5776056B2 (ja) | 2010-07-02 | 2010-07-02 | 電子線装置、及び電子顕微鏡を用いた試料の観察方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010151853A JP5776056B2 (ja) | 2010-07-02 | 2010-07-02 | 電子線装置、及び電子顕微鏡を用いた試料の観察方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012015010A true JP2012015010A (ja) | 2012-01-19 |
JP5776056B2 JP5776056B2 (ja) | 2015-09-09 |
Family
ID=45601190
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010151853A Active JP5776056B2 (ja) | 2010-07-02 | 2010-07-02 | 電子線装置、及び電子顕微鏡を用いた試料の観察方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5776056B2 (ja) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6196644A (ja) * | 1984-10-17 | 1986-05-15 | Hitachi Ltd | 外観検査装置 |
JPH04106853A (ja) * | 1990-08-28 | 1992-04-08 | Jeol Ltd | 走査電子顕微鏡 |
JPH04280053A (ja) * | 1991-03-06 | 1992-10-06 | Jeol Ltd | 走査電子顕微鏡 |
JP2000228165A (ja) * | 1999-02-09 | 2000-08-15 | Jeol Ltd | 電子線装置 |
JP2003100247A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-04 | Jeol Ltd | 荷電粒子ビーム装置 |
JP2006108005A (ja) * | 2004-10-08 | 2006-04-20 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子顕微鏡 |
JP2006173020A (ja) * | 2004-12-17 | 2006-06-29 | Keyence Corp | 試料表示装置、試料表示装置の操作方法、試料表示装置操作プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器 |
-
2010
- 2010-07-02 JP JP2010151853A patent/JP5776056B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6196644A (ja) * | 1984-10-17 | 1986-05-15 | Hitachi Ltd | 外観検査装置 |
JPH04106853A (ja) * | 1990-08-28 | 1992-04-08 | Jeol Ltd | 走査電子顕微鏡 |
JPH04280053A (ja) * | 1991-03-06 | 1992-10-06 | Jeol Ltd | 走査電子顕微鏡 |
JP2000228165A (ja) * | 1999-02-09 | 2000-08-15 | Jeol Ltd | 電子線装置 |
JP2003100247A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-04 | Jeol Ltd | 荷電粒子ビーム装置 |
JP2006108005A (ja) * | 2004-10-08 | 2006-04-20 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子顕微鏡 |
JP2006173020A (ja) * | 2004-12-17 | 2006-06-29 | Keyence Corp | 試料表示装置、試料表示装置の操作方法、試料表示装置操作プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5776056B2 (ja) | 2015-09-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8982457B2 (en) | Microscope system and illumination intensity adjusting method | |
JP4795883B2 (ja) | パターン検査・計測装置 | |
JP6490029B2 (ja) | 物体の複数の個別画像から1つの組み合わせ画像を生成する顕微鏡及び方法 | |
US8887311B1 (en) | Scanning probe microscope | |
JP2006196281A (ja) | 走査電子顕微鏡及びその撮像方法 | |
JP5698157B2 (ja) | 荷電粒子線装置および傾斜観察画像表示方法 | |
EP2590205A3 (en) | Transmission electron microscope and method of observing TEM images | |
JP5776056B2 (ja) | 電子線装置、及び電子顕微鏡を用いた試料の観察方法 | |
JP4668807B2 (ja) | 荷電粒子線装置及び荷電粒子線画像生成方法 | |
US11133151B2 (en) | Transmission electron microscope and method of controlling same | |
JP5502794B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
JP4486509B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
JP2003100247A (ja) | 荷電粒子ビーム装置 | |
JPH09138353A (ja) | レーザー顕微鏡 | |
JP6518504B2 (ja) | 画像処理装置、電子顕微鏡、および画像処理方法 | |
JP2010244740A (ja) | レビュー装置、及びレビュー方法 | |
JP5020908B2 (ja) | イオンビーム加工装置 | |
JP6255305B2 (ja) | 光学顕微装置 | |
JP7127087B2 (ja) | 透過電子顕微鏡および対物絞りの調整方法 | |
WO2018230575A1 (ja) | 顕微鏡システム | |
JP2016035800A (ja) | 荷電粒子線装置 | |
WO2021038715A1 (ja) | 透過型電子顕微鏡および撮像方法 | |
JP6257294B2 (ja) | 顕微鏡装置 | |
JP2003207469A (ja) | 電子プローブマイクロアナライザ | |
JP2014116207A (ja) | 荷電粒子線装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20130528 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130628 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130827 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140214 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140220 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140417 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140619 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140610 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140709 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141203 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150129 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150304 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150529 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150603 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5776056 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |