JP2012009872A - 照明光学系、露光装置及び投射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 第1レーザ発振部(41a)と、第2レーザ発振部(41b)と、入射した光の一方向の強度分布を均一な分布に近づける光学素子(42)と、を有し、第1レーザ発振部(41a)からのレーザビームおよび第2レーザ発振部(41b)からのレーザビームは、光学素子(42)の異なる箇所に入射し、光学素子(42)を経た第1レーザ発振部(41a)からのレーザビーム、および光学素子(42)を経た第2レーザ発振部(41b)からのレーザビームは、照明領域が重なることを特徴とする。
【選択図】図15
Description
レーザ発振部を複数並べたレーザアレイ光源と、格子溝のピッチ方向の光束成分の強度を均一化する回折格子を有する回折素子と、レンズアレイ方向の光束成分の強度を均一化するシリンドリカルレンズアレイと、を有し、前記回折素子は、前記レーザアレイ光源から出射されるレーザビームアレイのアレイ方向と前記回折素子の格子溝のピッチ方向とが垂直になるように配置され、前記シリンドリカルレンズアレイは、前記レーザビームアレイのアレイ方向と前記レンズアレイ方向が平行になるように配置されていることを特徴とする。
また、本発明にかかるレーザ照明光学系は、
レーザアレイ光源と、回折格子を形成した回折素子と、シリンドリカルレンズアレイによるフライアイレンズ系と、を有するレーザ照明光学系であって、
前記レーザアレイ光源のアレイ方向と垂直な光束成分の強度が前記回折素子によって均一化され、前記アレイ方向に平行な光束成分の強度が前記フライアイレンズ系で均一化されるように構成されることを特徴とする。
また、本発明にかかるレーザ照明光学系は、
レーザアレイ光源と、回折格子を形成した回折素子と、シリンドリカルレンズアレイ及びシリンドリカルレンズからなるフライアイレンズ系と、を有するレーザ照明光学系であって、
前記レーザアレイ光源のアレイ方向と垂直な光束成分の強度が前記回折素子によって均一化され、前記アレイ方向に平行な光束成分の強度が前記フライアイレンズ系で均一化されるように構成されることを特徴とする。
上記記載のレーザ照明光学系と、投影レンズとを有することを特徴とする。
上記記載のレーザ照明光学系と、レンズとを有することを特徴とする。
発振波長の異なる3つのレーザアレイ光源と、上記記載のレーザ照明光学系を3組と、色合成手段と、空間変調ライトバルブと、投射レンズとを備えたことを特徴とする。
図1ないし図3は、本発明によるレーザ照明光学系の一実施例を主に説明するための図で、光学系の側面概略構成および光路を図1に、平面概略構成および光路を図2に、斜視概略構成及び光路を図3に示すものである。レーザ照明光学系は各図に示すようにレーザアレイ光源11と、ホログラム素子12と、シリンドリカルレンズアレイ13a,13bによるフライアイレンズ系13とで構成される。また図中、14は被照射部を示す。
図6及び図7は、本発明によるレーザ照明光学系の他の実施例を説明するための図で、光学系の側面概略構成と光路を図6に、平面概略構成と光路を図7に示すものである。本実施例の光学系は、レーザアレイ光源11と、ホログラム素子12と、シリンドリカルレンズアレイ13a,13b及びシリンドリカルレンズ13cからなるフライアイレンズ系13で構成される。
図8及び図9は、本発明によるレーザ照明光学系の更に他の実施例を説明するための図で、光学系の側面概略構成と光路を図8に、平面概略構成と光路を図9に示すものである。本実施例の光学系は、レーザアレイ光源11と、コリメートレンズアレイ21と、ホログラム素子22とにより構成されるもので、上記実施例2の構成に加えてコリメートレンズアレイ21をレーザアレイ光源11とホログ
ラム素子22との間の光路上に設けたものである。なお、図8に示すホログラム素子22は、実施例1及び2のホログラム素子12と同様にレーザアレイ光源11から発散されるレーザビームによる光束のうち一方向(格子溝のピッチ方向)のみの強度分布を格子によって変換させる働きを有するが、実施例1及び2のホログラム素子12に対して平行光が入射するように回折角が設定されるため、ここでは別の符号(22)が付してある。
る。
図10及び図11は、本発明によるレーザ照明光学系の更に他の実施例を説明するための図で、光学系の側面概略構成と光路を図10に、平面概略構成と光路を図11に示すものである。本実施例のレーザ照明光学系は、発光部が直線状にアレイ化されたレーザアレイ光源(またはシングルストライプレーザ)11と、シリンドリカルレンズアレイ(またはレンチキュラーレンズ)31と、シリンドリカルレンズ32と、ホログラム素子22と、シリンドリカルレンズアレイ13a,13b及びシリンドリカルレンズ13cからなるフライアイレンズ系13とにより構成されたもので、上記実施例2の構成に加えてシリンドリカルレンズアレイ(またはレンチキュラーレンズ)31とシリンドリカルレンズ32とをレーザアレイ光源21とホログラム素子12との間の光路上に設けたものである。
図12は、レーザ光の遠視野像(ファーフィールドパターン)で、レーザの広がりに対する光強度分布の例を示す図である。一般的に、レーザビームの広がり角は図12に示すように半値全角θで表される。図6のホログラム素子12の面で隣接レーザ間の光束を重ならないようにするには、レーザ光の広がり角の2倍の光束が重ならなければ光の利用効率が高い。仮にレーザアレイ方向に平行な面内でのレーザの広がり角θ=10°のとき、図13のように半角でθ=10°(すなわち全角で2θ=20°)の光束が隣接ビームと重ならなければピーク強度の約6
%の光までを利用できる。
d≦P/2/tan(θ) …(式1)
を満たすように配置することによって隣接レーザ光が重ならない。仮に、ホログラム素子12で隣接レーザ光が重なると、2方向からの入射光は同一の方向に回折できないため、光を損失させてしまう。すなわち上記(式1)を満たす構成によって光利用効率は高くなる。
図14は、本発明によるレーザ照明光学系の更に他の実施例を説明するための図で、光学系の側面概略構成と光路を示すものである。照明光学系は、レーザアレイ光源41a,41bと、ホログラム素子42と、シリンドリカルレンズアレイ13a,13b及びシリンドリカルレンズ13cからなるフライアイレンズ系13とにより構成される。上述の実施例と同様にシリンドリカルレンズアレイ13bは省略することも可能である。
図15は、本発明によるレーザ照明光学系の更に他の実施例を説明するための図で、光学系の側面概略構成と光路を示すものである。レーザ照明光学系は、レーザアレイ光源41a,41bと、ホログラム素子43と、シリンドリカルレンズアレイ13a,13b及びシリンドリカルレンズ13cからなるフライアイレンズ系13とにより構成される。上述の実施例と同様にシリンドリカルレンズアレイ13bは省略することも可能である。
図16は、本発明によるレーザ照明光学系の更に他の実施例を説明するための図で、光学系の側面概略構成と光路を示すものである。本実施例は、上記実施例7の光学系に対してホログラム素子42の直後にシリンドリカルレンズ44を配置したもので、その他の要素の作用及び光路については、上記実施例7と同様であるので繰り返しの説明は省略する。
上述の各実施例において、レーザアレイ光のアレイ方向に直交する光束成分はホログラム素子によって強度変化させるが、アレイ方向の照度均一化はフライアイレンズ系に担当させている。レーザアレイ数とフライアイの分割数は、ある特定の関係を除外するように構成する必要がある。
ぶ。
図21は、本発明による露光装置の一実施例について説明するための概略図で、図中、100はレーザアレイ光源、101はレーザ照明光学系、102はレチクル(マスク)、103は投影レンズ、104は基板ステージである。照明光学系は、本発明に係わるレーザ照明光学系であって、例えば、上記実施例で説明した照明光学系が適用される。レーザアレイ光源100からのアレイ光はレーザ照明光学系101によってレチクル102上で均一放射照度となる。
図22は、本発明によるレーザ加工機の一実施例について説明するための概略図で、図中、105はレンズ、106はワークである。本発明のレーザ加工機は、レーザアレイ光源100からのレーザ光を上述したレーザ照明光学系101で均一ビームに変換し、レンズ105でワーク106に縮小または拡大して照射する。集光スポットではワークの表面加工や切断加工を行うことができる。また、レンズ105を投影レンズに置きかえるか、もしくは被照射部を直接ワークとする配置では、ワークの広い範囲にわたって均一照明できるため、レーザアニールとしても利用できる。本実施例では、上述したレーザ照明光学系を用いてレーザアレイ光源のアレイ垂直方向の光束を変調ピッチのホログラム素子でビームプロファイルを変換させるため、ワーク上で干渉縞が発生しない。このため、良好なレーザ加工やレーザアニールを行うことができる。
図23は、本発明による投射装置の一実施例を説明するための概略図である。本発明の投射装置は、レーザアレイ光源100r,100g,100bと、上述したレーザ照明光学系101r,101g,101bと、色合成手段113と、ライトバルブ114と、投射レンズ115とを有している。また図中、116はフィールドレンズで、ライトバルブからの画像光を効率良く投射レンズ115の瞳に入れるために用いるが、必ずしも必須の構成ではない。色合成手段113としてはダイクロイックプリズムやダイクロイックミラーを用いることができる。
図24は本発明による投射装置の他の実施例を説明するための図である。本発明の投射装置は、レーザアレイ光源100r,100g,100bと、上述したレーザ照明光学系(ホログラム素子111r,111g,111b,フライアイレンズ系112)、色合成手段113と、ライトバルブ114と、投射レンズ115とを有している。また図中、116はフィールドレンズで、ライトバルブ114からの画像光を効率良く投射レンズ115の瞳に入れるために用いるが、必ずしも必須の構成ではない。また色合成手段113としてはダイクロイックプリズムやダイクロイックミラーを用いることができる。
12 ホログラム素子、
13,112b,112g,112r フライアイレンズ系
13a,13b,31 シリンドリカルレンズアレイ
13c,32,44 シリンドリカルレンズ
14 被照射部
21 コリメートレンズアレイ
22,42,43,111b、111g、111r ホログラム素子
101,101r,101g,101b レーザ照明光学系
102 レチクル(マスク)
103 投影レンズ
104 基板ステージ
105 レンズ
106 ワーク
113 色合成手段
114 ライトバルブ
115 投射レンズ
116 フィールドレンズ、
l レーザビームアレイ
g,g′ 格子溝
第1レーザ発振部と、
第2レーザ発振部と、
入射した光の一方向の強度分布を均一な分布に近づける光学素子と、を有し、
前記第1レーザ発振部からのレーザビームおよび前記第2レーザ発振部からのレーザビームは、前記光学素子の異なる箇所に入射し、
前記光学素子を経た前記第1レーザ発振部からのレーザビーム、および前記光学素子を経た前記第2レーザ発振部からのレーザビームは、照明領域が重なることを特徴とする。
Claims (15)
- レーザ発振部を複数並べたレーザアレイ光源と、格子溝のピッチ方向の光束成分の強度を均一化する回折格子を有する回折素子と、レンズアレイ方向の光束成分の強度を均一化するシリンドリカルレンズアレイと、を有し、前記回折素子は、前記レーザアレイ光源から出射されるレーザビームアレイのアレイ方向と前記回折素子の格子溝のピッチ方向とが垂直になるように配置され、前記シリンドリカルレンズアレイは、前記レーザビームアレイのアレイ方向と前記レンズアレイ方向が平行になるように配置されていることを特徴とするレーザ照明光学系。
- レーザアレイ光源と、回折格子を形成した回折素子と、シリンドリカルレンズアレイによるフライアイレンズ系と、を有するレーザ照明光学系であって、
前記レーザアレイ光源のアレイ方向と垂直な光束成分の強度が前記回折素子によって均一化され、前記アレイ方向に平行な光束成分の強度が前記フライアイレンズ系で均一化されるように構成されることを特徴とするレーザ照明光学系。 - レーザアレイ光源と、回折格子を形成した回折素子と、シリンドリカルレンズアレイ及びシリンドリカルレンズからなるフライアイレンズ系と、を有するレーザ照明光学系であって、
前記レーザアレイ光源のアレイ方向と垂直な光束成分の強度が前記回折素子によって均一化され、前記アレイ方向に平行な光束成分の強度が前記フライアイレンズ系で均一化されるように構成されることを特徴とするレーザ照明光学系。 - 請求項1ないし3のいずれか1に記載のレーザ照明光学系において、前記回折素子は、前記回折格子としてホログラフィック格子を有するホログラフィック素子であることを特徴とするレーザ照明光学系。
- 請求項1ないし4のいずれか1に記載のレーザ照明光学系において、前記レーザアレイ光源と前記回折素子との間に各レーザ光をコリメートする手段を設けたことを特徴とするレーザ照明光学系。
- 請求項5に記載のレーザ照明光学系において、前記レーザアレイ光源は、直線状にアレイ化された光源またはシングルストライプのレーザアレイ光源であって、前記コリメートする手段は、シリンドリカルレンズアレイまたはレンチキュラーレンズとシリンドリカルレンズとからなり、前記シリンドリカルレンズアレイのアレイピッチは前記レーザアレイ光源のアレイピッチと同等であり、前記シリンドリカルレンズは、前記レーザアレイ光源のアレイ方向に直交する方向にレンズパワーを有することを特徴とするレーザ照明光学系。
- 請求項1ないし6のいずれか1に記載のレーザ照明光学系において、前記レーザアレイ光源のアレイ方向におけるビームの広がり角を定義する半値全角をθ、前記レーザアレイ光源のピッチをPとするとき、前記回折素子と前記レーザアレイ光源の発光部の間隔dは、d≦P/2/tan(θ)を満たすことを特徴とするレーザ照明光学系。
- 請求項1ないし7のいずれか1に記載のレーザ照明光学系において、前記レーザアレイ光源は、ストライプ状のアレイ光源が複数の層状に積み重ねられた2次元構造のレーザアレイ光源であり、前記回折素子は、前記ストライプの方向と直交する方向にレーザプロファイルを均一化させるように該ストライプの層数に合わせてアレイ化されていることを特徴とするレーザ照明光学系。
- 請求項8に記載のレーザ照明光学系において、前記回折素子の各回折格子からの回折光が、被照射部全面に照射されるように構成されていることを特徴とするレーザ照明光学系。
- 請求項1に記載のレーザ照明光学系において、前記シリンドリカルレンズアレイは、該シリンドリカルレンズアレイの光束分割数が前記レーザアレイ光源の有効アレイ数の約数以外の値をとることを特徴とするレーザ照明光学系。
- 請求項2ないし9のいずれか1に記載のレーザ照明光学系において、前記フライアイレンズ系は、該フライアイレンズ系の光束分割数が前記レーザアレイ光源の有効アレイ数の約数以外の値をとることを特徴とするレーザ照明光学系。
- 請求項1ないし11のいずれか1に記載のレーザ照明光学系と、投影レンズとを有することを特徴とする露光装置。
- 請求項1ないし11のいずれか1に記載のレーザ照明光学系と、レンズとを有することを特徴とするレーザ加工機。
- 発振波長の異なる3つのレーザアレイ光源と、請求項1ないし11のいずれか1に記載のレーザ照明光学系を3組と、色合成手段と、空間変調ライトバルブと、投射レンズとを備えたことを特徴とする投射装置。
- 請求項14に記載の投射装置において、前記3組のレーザ照明光学系のフライアイレンズ系を共通化し、該フライアイレンズ系と3組の回折素子との間に前記色合成手段を配置したことを特徴とする投射装置。
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