JP2020098824A - レーザアニール装置 - Google Patents
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Abstract
Description
に関する。
ここで、レーザアニール装置の構成の説明に先駆けて、レーザアニール装置でアニール処理を行う被処理基板の一例について説明する。図1および図2に示すように、被処理基板10は、ガラス基板11と、このガラス基板11の表面に略全面に形成された被処理膜としての非晶質シリコン膜12Aとでなり、最終的にはTFT基板となる。なお、非晶質シリコン膜12Aとガラス基板11との間には、作製するTFTの構造によってはゲート線などの配線パターンが形成されていてもよい。
以下、図1を用いて、本実施の形態に係るレーザアニール装置1の概略構成を説明する。レーザアニール装置1は、基台2と、レーザ照射部3と、を備える。レーザ照射部3は、光源部4と、入射側結像系5と、均一化素子としてのロッドインテグレータ6と、出射側結像系7と、を備える。
本実施の形態に係るレーザアニール装置1においては、複数の半導体レーザ20から波長帯域が400〜500nmの青色のレーザ光を連続照射する。具体的には、被処理基板10における処理予定領域13の走査方向全体に亘って連続的にレーザ光を発振するように駆動する。そして、処理予定領域13が島状に点在する場合は、その処理予定領域13を走査する間に連続的にレーザ光を発振する駆動を行う。ここで、連続照射とは、目的領域に対して連続してレーザ光を照射する所謂疑似連続照射も含む概念である。つまり、レーザ光がパルスレーザであっても、パルス幅が広ければこの疑似連続照射に含まれる場合がある。
図3は、本発明の第2の実施の形態に係るレーザアニール装置1Aを示す概略構成図である。本実施の形態に係るレーザアニール装置1Aは、1つの半導体レーザ20と、分散素子8と、均一化素子としてのロッドインテグレータ6と、出射側結像系7と、を備える。本実施の形態では、半導体レーザ20と、分散素子8と、入射側結像系5と、ロッドインテグレータ6と、出射側結像系7と、でレーザ照射部3Aを構成している。分散素子8としては、拡散板、回折光学素子、プリズムアレイなどを用いることができる。
図4は、本発明の第3の実施の形態に係るレーザアニール装置1Bを示す概略構成図である。本実施の形態に係るレーザアニール装置1Bは、4つの半導体レーザ20と、均一化素子としてのロッドインテグレータ6と、出射側結像系7と、を備える。本実施の形態では、半導体レーザ20と、ロッドインテグレータ6と、出射側結像系7と、でレーザ照射部3Bを構成している。
図5は、本発明の第4の実施の形態に係るレーザアニール装置1Cを示す概略構成図である。本実施の形態に係るレーザアニール装置1Cは、一対の半導体レーザ20と、それぞれの半導体レーザ20に対応する一対の入射側結像系5Aと、均一化素子としてのロッドインテグレータ6と、出射側結像系7と、を備える。本実施の形態では、一対の半導体レーザ20と、一対の入射側結像系5Aと、ロッドインテグレータ6と、出射側結像系7と、でレーザ照射部3Cを構成している。
図6は、本発明の第5の実施の形態に係るレーザアニール装置1Dを示す概略構成図である。本実施の形態に係るレーザアニール装置1Dは、4つの半導体レーザ20を備える光源部4と、それぞれの半導体レーザ20に対応する入射側結像系5Bと、均一化素子としてのロッドインテグレータ6と、出射側結像系7と、を備える。本実施の形態では、光源部4と、入射側結像系5Bと、ロッドインテグレータ6と、出射側結像系7と、でレーザ照射部3Dを構成している。
図7は、本発明の第6の実施の形態に係るレーザアニール装置1Eを示す概略構成図である。本実施の形態に係るレーザアニール装置1Eは、4つの半導体レーザ20Aを備える光源部4と、均一化素子としてのロッドインテグレータ6と、出射側結像系7と、を備える。本実施の形態では、光源部4と、ロッドインテグレータ6と、出射側結像系7と、でレーザ照射部3Eを構成している。
以上、実施の形態について説明したが、この実施の形態の開示の一部をなす論述および図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例および運用技術が明らかとなろう。
2 基台
3,3A,3B,3C,3D,3E レーザ照射部
4 光源部
5,5A,5B 入射側結像系
5C オンチップレンズ
6 ロッドインテグレータ(均一化素子)
7 出射側結像系
8 分散素子
10 被処理基板
12A 非晶質シリコン膜
12P 多結晶シリコン膜
13 処理予定領域
20,20A 半導体レーザ
24 活性層
24A 反射面
27 完全反射膜
41 アレイ基板
61 光入射面
62 光出射面
63 側面
64 側面
BS ビームスポット
LB レーザビーム
T 走査方向
Claims (9)
- レーザビームを被処理基板の表面に照射して被処理基板に対してアニール処理を行うレーザアニール装置であって、
レーザ光を出射する半導体レーザを備える光源部と、
光入射面と当該光入射面に対向する光出射面とを有し、前記光入射面に前記半導体レーザから直接出射されたレーザ光が入射され、前記光出射面から均一化されたレーザビームを出射する均一化素子と、
前記光出射面から出射されたレーザビームを、被処理基板の表面へ投影する出射側結像系と、
を備えるレーザアニール装置。 - 前記光源部と前記均一化素子との間に、前記半導体レーザから直接出射されたレーザ光のビーム全体を前記光入射面の領域内のみに入射させる入射側結像系を備える
請求項1に記載のレーザアニール装置。 - 前記光源部は、複数の前記半導体レーザを備える
請求項1または請求項2に記載のレーザアニール装置。 - 前記光源部は、単一の前記半導体レーザを備え、
前記光源部と前記入射側結像系との間に、前記半導体レーザから直接出射されたレーザ光のビームを複数のビームに分散させる分散素子を備える
請求項2に記載のレーザアニール装置。 - 前記出射側結像系から出射されるレーザビームは、前記被処理基板の表面に矩形状のビームスポットで投影される
請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のレーザアニール装置。 - 前記均一化素子は、前記光出射面から平行光でなるレーザビームを出射する
請求項1から請求項5のいずれか一項に記載のレーザアニール装置。 - 前記均一化素子は、ロッドインテグレータ、ロッドアレイ、フライアイレンズから選ばれる
請求項1から請求項5のいずれか一項に記載のレーザアニール装置。 - 前記入射側結像系は、前記半導体レーザの活性層のレーザ光出射端面に配されたオンチップレンズである
請求項2または請求項4に記載のレーザアニール装置。 - 前記光源は、レーザ光を連続発振する
請求項1から請求項8のいずれか一項に記載のレーザアニール装置。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004200497A (ja) * | 2002-12-19 | 2004-07-15 | Sony Corp | 光照射装置及びレーザアニール装置 |
JP2008227122A (ja) * | 2007-03-13 | 2008-09-25 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザアニール方法およびレーザアニール装置 |
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JP2008227122A (ja) * | 2007-03-13 | 2008-09-25 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザアニール方法およびレーザアニール装置 |
JP2012220589A (ja) * | 2011-04-05 | 2012-11-12 | V Technology Co Ltd | レーザ照明装置 |
JP2012009872A (ja) * | 2011-07-11 | 2012-01-12 | Ricoh Co Ltd | 照明光学系、露光装置及び投射装置 |
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