JP2012000701A - 加工装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】加工装置に関する情報を表示ウィンドウ上に表示しつつ加工装置の操作を可能とする加工装置を提供する。
【解決手段】加工装置本体と、該加工装置本体の動作条件を入力する操作画面21を表示する表示モニタ6とを備えた加工装置であって、該操作画面は、操作ボタンを有する操作ウィンドウ22と、該操作ウィンドウの少なくとも一部に重なって、該加工装置本体の情報を表示する表示ウィンドウ32と、該操作ウィンドウ上に表示される透過ボタン24とを含み、該透過ボタンを有効にした場合に該表示ウィンドウを見かけ上半透明表示にして該表示ウィンドウ下の該操作ウィンドウを可視表示するとともに該表示ウィンドウ下の該操作ウィンドウへの入力を許容し、該透過ボタンを無効にした場合に該表示ウィンドウを不透明表示にするとともに該表示ウィンドウ下の該操作ウィンドウへの入力を禁止する制御手段、を具備した。
【選択図】図4
【解決手段】加工装置本体と、該加工装置本体の動作条件を入力する操作画面21を表示する表示モニタ6とを備えた加工装置であって、該操作画面は、操作ボタンを有する操作ウィンドウ22と、該操作ウィンドウの少なくとも一部に重なって、該加工装置本体の情報を表示する表示ウィンドウ32と、該操作ウィンドウ上に表示される透過ボタン24とを含み、該透過ボタンを有効にした場合に該表示ウィンドウを見かけ上半透明表示にして該表示ウィンドウ下の該操作ウィンドウを可視表示するとともに該表示ウィンドウ下の該操作ウィンドウへの入力を許容し、該透過ボタンを無効にした場合に該表示ウィンドウを不透明表示にするとともに該表示ウィンドウ下の該操作ウィンドウへの入力を禁止する制御手段、を具備した。
【選択図】図4
Description
本発明は、被加工物に加工を施す加工手段を有する加工装置本体と、加工装置本体の動作条件を入力する操作画面を表示する表示モニタとを備えた加工装置に関する。
例えば、半導体デバイス製造プロセスでは、半導体ウエーハ上に複数のICやLSI等の回路素子が形成される。複数の回路素子が形成された半導体ウエーハの裏面を研削装置で研削してウエーハを所定の厚みへと薄化した後、切削装置で切削して個々の回路素子へと分割することで半導体デバイスを製造している。
これらの切削装置や研削装置では、特開2001−108401号公報に開示されるように、切削ブレード又は研削ホイールが装着されたスピンドル及びチャックテーブル等の可動機構の動作条件や、同じく可動機構である被加工物を洗浄するための洗浄部の動作条件等を入力する操作ボタンと、入力された動作条件や顕微鏡で撮像した加工結果等の装置情報を表示する表示モニタを備えている。
一方、近年では装置の小型化や見栄えを考慮して、動作条件等の情報の入力及び動作条件や加工結果の表示を可能とした操作画面を表示するタッチパネル式の表示モニタが広く採用されている(例えば、特開2009−194326号公報)。
ところが、タッチパネル式の表示モニタでは、加工装置を操作するための操作ボタンが配設された操作ウィンドウ上に、加工装置の情報を表示する表示ウィンドウが表示される場合がある。
この場合には、操作ウィンドウが表示ウィンドウで覆い隠されるため、加工装置の情報を表示ウィンドウ上で確認しながら操作ウィンドウ上に配設された操作ボタンを操作して加工装置を操作できないという問題がある。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、加工装置に関する情報を表示ウィンドウ上に表示しつつ操作ウィンドウ上に表示された操作ボタンで加工装置の操作を可能とする加工装置を提供することである。
本発明によると、被加工物に加工を施す加工装置本体と該加工手段を収容するハウジングとを有する加工装置本体と、該加工手段の動作条件を入力する操作画面を表示する該ハウジングに配設された表示モニタとを備えた加工装置であって、該操作画面は、該加工装置本体を操作するための操作ボタンを有する操作ウィンドウと、該操作ウィンドウの少なくとも一部に重なって該操作ウィンドウ上に出現し、該加工装置本体の情報を表示する表示ウィンドウと、出現した該表示ウィンドウに重ならない位置の該操作ウィンドウ上に表示される透過ボタンとを含み、該透過ボタンを有効にした場合に、該表示ウィンドウを見かけ上半透明表示にして該表示ウィンドウの下の該操作ウィンドウを可視表示するとともに該表示ウィンドウの下の該操作ウィンドウへの入力を許容し、該透過ボタンを無効にした場合に、該表示ウィンドウを不透明表示にするとともに該表示ウィンドウの下の該操作ウィンドウへの入力を禁止する制御手段、を具備したことを特徴とする加工装置が提供される。
好ましくは、前記制御手段は、前記表示ウィンドウを構成する複数の表示ウィンドウ画素の各色と該表示ウィンドウの下で該表示ウィンドウ画素に重なる前記操作ウィンドウ画素の各色との中間色を該表示ウィンドウ画素の色として表示することで、該表示ウィンドウを見かけ上半透明表示にして該表示ウィンドウの下の該操作ウィンドウを可視表示する。
本発明の加工装置によると、出現した表示ウィンドウに重ならない位置の操作ウィンドウ上に透過ボタンを有するため、操作画面上で操作ウィンドウに重ねて表示した表示ウィンドウを透過ボタンにより見かけ上半透明表示にすることにより、表示ウィンドウの下の操作ウィンドウを可視表示して、操作ウィンドウへの入力が可能となる。
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図1を参照すると、加工装置の一例である切削装置2の外観斜視図が示されている。切削装置2は、切削ブレードを有する切削ユニット10等の加工手段がハウジング8内に収容された加工装置本体4と、加工装置本体4のハウジング8に装着された表示モニタ6とから構成される。
切削ユニット10に隣接してチャックテーブル12がX軸方向に移動可能に配設されている。14は内部に複数のウエーハを収容したカセットを載置するカセット載置台(エレベータ)であり、上下方向に移動可能に構成されている。
16は切削装置2の稼働状況を表示する表示ランプであり、切削装置2が正常作動時には例えば緑色で点灯し、何らかの故障が生じた場合には赤色が点滅する。18,20は非常停止ボタンであり、作業者がこの非常停止ボタン18,20を押すと切削装置2の作動を直ちに停止することができる。
図2を参照すると、表示モニタ6の操作画面21上に軸動作データを表示する操作ウィンドウ22が表示された状態が示されている。図2に示す操作ウィンドウ22は、図5に示したトップメニューの操作ウィンドウ22Aでメンテナンス3ボタン34を押すことにより表示される。
操作ウィンドウ22は例えば、切削装置2の調整やメンテナンス時に加工手段を含む各可動部を動かすX,Y,Z,θ軸やエレベータ、スピンナテーブル等の動作データを入力する種々の入力部と、各軸、エレベータやスピンナテーブルを動かす動作ボタンを有している。
操作ウィンドウ22はその上辺近傍に、後述する表示ウィンドウを見かけ上半透明表示にする際に使用する透過ボタン24、表示ウィンドウ上にマニュアルを表示するマニュアルボタン26、表示ウィンドウ中に各種センサ類の状態を表示するセンサボタン28、アラームをクリアする際に使用するアラームクリアボタン30を有している。
操作ウィンドウ22について更に説明すると、軸動作部位にX軸と、二つのY軸(Y1,Y2)と二つのZ軸(Z1,Z2)を有しており、切削装置が2スピンドルタイプの切削装置2であることを示している。θはチャックテーブルの回転軸である。
図2に示された操作ウィンドウ22では、現在は着色されているX軸36が選択されている。この状態で例えば+インデックスボタン38を押すと、切削ブレードがX軸の+方向に20mm動き、+スキャンボタン40を押すと、X軸の+方向に50mm/sで動いていくことを示している。下辺近傍に配置された+インデックスボタン38及び+スキャンボタン40は動作ボタンである。
また、右下隅に配置された数字入力ボタン42を押すと、数字パレットが出現し、中央部に表示された速度(mm/s)、インデックス(mm)とを有する入力部への数字入力が可能となる。
図3を参照すると、操作ウィンドウ22上に表示ウィンドウ32が重ねて表示された状態の操作画面21が示されている。表示ウィンドウ32は、例えば、装置に供給されるエアー圧(Main Air)や水圧(Water Pressure)、ブレードノズル、シャワーノズル、スプレーノズルから噴出されている水量等を表示し、図2に示す操作ウィンドウ22でセンサボタン28を押すことにより表示される。表示ウィンドウ32は不透明表示であるため、その下の操作ウィンドウ22は表示ウィンドウ32により隠されている。
図4を参照すると、透過ボタン24を押すことにより、表示ウィンドウ32を見かけ上半透明表示にして、表示ウィンドウ32の下の操作ウィンドウ22を可視表示した状態の操作画面21が示されている。この状態では、表示ウィンドウ32の下の操作ウィンドウ22への入力が許容されるため、表示ウィンドウ32に表示される各センサ類の状態を確認しながら作業者は、例えば、各軸の動作速度やインデックスボタンを押した時に移動するインデックス量の動作データを入力するとともに、インデックスボタンを押して可動部を動かすことができる。即ち、各センサ類の状態を確認しながら可動部を動かしてのメンテナンス作業や調整作業が可能となる。
表示ウィンドウ32を見かけ上半透明表示する方法の一例については、図8及び図9を参照して後で説明する。表示ウィンドウ32が見かけ上半透明表示状態で透過ボタン24を再度押すと、表示ウィンドウ32は不透明化され、表示ウィンドウ32の下の操作ウィンドウ22への入力も禁止される。
尚、透過ボタン24を押した場合の、表示ウィンドウ32の選択的な半透明表示又は不透明表示及び操作ウィンドウ22への入力の可否については、切削装置2のコントローラ(制御手段)25のメモリに予めプログラムされて格納されている。
図5を参照すると、操作画面21上にトップメニューの操作ウィンドウ22Aが表示された状態が示されている。切削装置2の電源を投入すると、表示モニタ6の操作画面21にこの操作ウィンドウ22Aが表示される。
図5に示した操作ウィンドウ22Aでマニュアルボタン26を押すと、図6に示すように操作ウィンドウ22A上に操作マニュアルを表示した表示ウィンドウ32Aが重ねて表示される。この状態では、表示ウィンドウ32Aは不透明表示であるため、表示ウィンドウ32Aが重なった下側の操作ウィンドウ22Aは表示ウィンドウ32Aにより隠される。
図6に示した操作画面21で透過ボタン24を押すと、図7に示すように、表示ウィンドウ32Aが見かけ上半透明表示されて表示ウィンドウ32Aの下の操作ウィンドウ22Aが可視表示される。この状態では、可視表示された操作ウィンドウ22Aでの入力が許容される。透過ボタン24を再度押すと、図6に示すように表示ウィンドウ32Aは不透明となり、表示ウィンドウ32Aの下の操作ウィンドウ22Aへの入力は禁止される。
このように、表示ウィンドウ32Aで操作マニュアルを表示することにより、表示モニタ6上で操作マニュアルを見ながら切削装置2のオペレーションが可能となる。この場合、紙媒体での操作マニュアルは不要となる。
次に、図8及び図9を参照して、表示ウィンドウ32Bを見かけ上半透明表示にする方法について説明する。複数の表示ウィンドウ画素33を有する表示ウィンドウ32Bが不透明時には、図8(A)に示すように、複数の操作ウィンドウ画素23を有する操作ウィンドウ22B上に表示ウィンドウ32Bを重ねると、図8(B)に示すように、操作画面21上には表示ウィンドウ32Bのみが表示される。
本実施形態の表示ウィンドウ32Bの見かけ上の半透明表示化では、R(赤)G(緑)B(青)の各色を0〜255の256段階(0:最小 255:最大)で表す。例えば、輝度最大の赤は(255,0,0)で表し、黒は(0,0,0)で表し、白は(255,255,255)で表す。
図9を参照すると、(A)は表示ウィンドウ32Bを各表示ウィンドウ画素33に分割した状態の一部を示しており、(B)は操作ウィンドウ22Bを各操作ウィンドウ画素23に分割した状態の一部を示している。
例えば、画素1‐aは表示ウィンドウ32Bが白(255,255,255)で操作ウィンドウ22Bも白(255,255,255)なので、表示ウィンドウ32Bの画素1‐aに白(255,255,255)を表示する。
一方、画素1‐eは表示ウィンドウ32Bが灰色(127,127,127)で操作ウィンドウ22Bが白(255,255,255)なので、表示ウィンドウ32Bの画素1‐eには薄い灰色(191,191,191)を表示する。
このようにして、各画素について表示ウィンドウ32Bの色と操作ウィンドウ22Bの色との中間色を表示ウィンドウ32Bに表示することにより、表示ウィンドウ32Bを見かけ上半透明表示にすることができる。
上述した実施形態では、表示モニタ6を切削装置2に装着した例について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、表示モニタ6を研削装置、レーザ加工装置等の他の加工装置にも同様に装着することができる。
更に、表示モニタ6を加工装置本体4から取り外し可能に配設してもよい。この場合には、加工装置本体4と表示モニタ6との間で無線通信によりデータの送受信を行うか、或いは表示モニタ6をフレキシブルケーブルにより加工装置本体4に接続する。
上述した実施形態によると、操作ウィンドウ22が表示ウィンドウ32が重ならない位置に透過ボタン24を有するため、透過ボタン24を押すことにより操作ウィンドウ22上に表示ウィンドウ32を見かけ上半透明表示化して重ねて表示することができ、半透明表示化された表示ウィンドウ32の下の操作ウィンドウ22への入力が可能となる。
例えば、表示ウィンドウ32で流量やエア圧、バキューム圧等を表示しつつ、下側の操作ウィンドウ22で加工装置を操作しての調整や動作確認が可能となる。また、装置の操作マニュアルを半透明化した表示ウィンドウ32上に表示しつつ、操作ウィンドウ22で加工装置の操作が可能となる。
2 切削装置
4 切削装置本体
6 表示モニタ
8 ハウジング
10 切削ユニット
12 チャックテーブル
21 操作画面
22 操作ウィンドウ
23 操作ウィンドウ画素
24 透過ボタン
26 マニュアルボタン
28 センサボタン
32 表示ウィンドウ
33 表示ウィンドウ画素
34 加工条件データボタン
4 切削装置本体
6 表示モニタ
8 ハウジング
10 切削ユニット
12 チャックテーブル
21 操作画面
22 操作ウィンドウ
23 操作ウィンドウ画素
24 透過ボタン
26 マニュアルボタン
28 センサボタン
32 表示ウィンドウ
33 表示ウィンドウ画素
34 加工条件データボタン
Claims (3)
- 被加工物に加工を施す加工手段と該加工手段を収容するハウジングとを有する加工装置本体と、該加工装置本体の動作条件を入力する操作画面を表示する該ハウジングに配設された表示モニタとを備えた加工装置であって、
該操作画面は、該加工装置本体を操作するための操作ボタンを有する操作ウィンドウと、
該操作ウィンドウの少なくとも一部に重なって該操作ウィンドウ上に出現し、該加工装置本体の情報を表示する表示ウィンドウと、
出現した該表示ウィンドウに重ならない位置の該操作ウィンドウ上に表示される透過ボタンとを含み、
該透過ボタンを有効にした場合に、該表示ウィンドウを見かけ上半透明表示にして該表示ウィンドウの下の該操作ウィンドウを可視表示するとともに該表示ウィンドウの下の該操作ウィンドウへの入力を許容し、該透過ボタンを無効にした場合に、該表示ウィンドウを不透明表示にするとともに該表示ウィンドウの下の該操作ウィンドウへの入力を禁止する制御手段、を具備したことを特徴とする加工装置。 - 前記制御手段は、前記表示ウィンドウを構成する複数の表示ウィンドウ画素の各色と該表示ウィンドウの下で該表示ウィンドウ画素に重なる前記操作ウィンドウ画素の各色との中間色を該表示ウィンドウ画素の色として表示することで、該表示ウィンドウを見かけ上半透明表示にして該表示ウィンドウの下の該操作ウィンドウを可視表示することを特徴とする請求項1記載の加工装置。
- 前記表示ウィンドウでは、前記加工装置本体に配設されたセンサの検出値を表示する請求項1又は2記載の加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010136284A JP2012000701A (ja) | 2010-06-15 | 2010-06-15 | 加工装置 |
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JP2010136284A JP2012000701A (ja) | 2010-06-15 | 2010-06-15 | 加工装置 |
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-
2010
- 2010-06-15 JP JP2010136284A patent/JP2012000701A/ja active Pending
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