JP2011522256A - 高強度x線ビームシステム - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (31)
- X線光学システムにおいて、
X線ビームを放射する源と、
輪郭の幾何学的な対称軸とは異なる軸周辺で定められた前記輪郭を回転させることで形成される光学反射面を有しており、前記源から前記ビームを受け取ると共に試料を特徴づけるために当該試料に向けて当該ビームを導く光学系と、
を備える、X線光学システム。 - 前記軸は、いずれかの縦方向の断面における前記幾何学的な対称軸を有する平面にある、請求項1のシステム。
- 前記サンプルを特徴づける検出器と、を更に備える、請求項1のシステム。
- 前記源は、少なくとも部分的に円形の放射プロファイルを有する、請求項1のシステム。
- 前記源は、完全に円形の放射プロファイルを有する、請求項4のシステム。
- 前記源は大きな源であり、それによって前記必要とされる円形のプロファイルは当該源の内部に埋め込まれている、請求項1のシステム。
- 前記反射面は凹面である、請求項1のシステム。
- 前記源は、半円形の断面を有する放射プロファイルを含む、請求項7のシステム。
- 前記源は、少なくとも部分的にリング断面を有する放射プロファイルを含む、請求項7のシステム。
- 前記反射面は凸面である、請求項1のシステム。
- 前記源は、リング断面を有する放射プロファイルを含む、請求項10のシステム。
- 前記源は、少なくとも部分的に円形の断面を有する放射プロファイルを含む、請求項10のシステム。
- 前記反射面は凸部と凹部とを含む、請求項1のシステム。
- 前記源は回転陽極である、請求項1のシステム。
- 前記源はシールド管X線発生システムである、請求項1のシステム。
- 前記源はマイクロフォーカス源である、請求項1のシステム。
- 前記光学系は全反射光学系である、請求項1のシステム。
- 前記光学系は多層光学系である、請求項1のシステム。
- 前記光学系は反射型結晶である、請求項1のシステム。
- 前記X線源は、異なる試料材料の多数の断面に分割されている、請求項1のシステム。
- 前記光学系は、異なるエネルギーのために一致する断面を有する全反射光学系である、請求項20のシステム。
- 前記光学系は、異なるエネルギーのために一致する断面を有する多層光学系であり、それぞれの断面は、コーティング材料の組合せ、層厚さ及び層厚みの変異を含むコーティング構造と、それ自身の輪郭と、を有するブラッグの法則に従っている、請求項20のシステム。
- 前記光学系は、異なるコーティング構造だが異なる断面のために同じ輪郭を有する、請求項22に記載の光学系。
- 前記光学系は、異なる輪郭だが同じコーティング構造を有する、請求項22の光学系。
- 前記光学系は異なる断面を有する結晶光学系であり、それらはそれぞれ、ブラッグの法則がそのエネルギーのために満たすことができるように、それ自身の輪郭と結晶構造を有する、請求項20のシステム。
- X線光学素子であって、
X線ビームを反射するために構成された反射面を備え、
該反射面は、幾何学的な形状によって定められた第1の方向に沿った輪郭を有し、かつ、該輪郭の前記幾何学的な対称軸とは異なる軸周辺で回転される前記輪郭の第2の垂直方向に形状を有する、X線光学素子。 - 前記軸は前記幾何学的な対称軸を有する平面にある、請求項26のシステム。
- 前記反射面は凹面である、請求項26のシステム。
- 前記反射面は凸面である、請求項26のシステム。
- 前記反射面は凸部と凹部を含む、請求項26のシステム。
- 試料を分析する方法において、
X線ビームを発生するステップと、
当該光学系の幾何学的な対称軸とは異なる軸周辺で定められた輪郭を回転させることによって形成される反射面を有する光学系を用いて試料に前記X線ビームを導くステップと、
前記試料からX線を検出するステップと、
前記検出された前記X線に対応する電気信号を発生させるステップと、を含む。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/130,574 | 2008-05-30 | ||
US12/130,574 US7720197B2 (en) | 2008-05-30 | 2008-05-30 | High intensity x-ray beam system |
PCT/US2009/045250 WO2009154967A1 (en) | 2008-05-30 | 2009-05-27 | High intensity x-ray beam system |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011522256A true JP2011522256A (ja) | 2011-07-28 |
JP2011522256A5 JP2011522256A5 (ja) | 2013-06-20 |
JP5588971B2 JP5588971B2 (ja) | 2014-09-10 |
Family
ID=40852328
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011511769A Active JP5588971B2 (ja) | 2008-05-30 | 2009-05-27 | X線光学システム及び試料を分析する方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7720197B2 (ja) |
EP (1) | EP2304739B9 (ja) |
JP (1) | JP5588971B2 (ja) |
CA (1) | CA2725521C (ja) |
WO (1) | WO2009154967A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWM369027U (en) * | 2009-07-02 | 2009-11-21 | Univ Far East | Watering-hint flower pots by utilizing humidity sensing material |
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Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2008
- 2008-05-30 US US12/130,574 patent/US7720197B2/en active Active
-
2009
- 2009-05-27 JP JP2011511769A patent/JP5588971B2/ja active Active
- 2009-05-27 EP EP09767279.4A patent/EP2304739B9/en active Active
- 2009-05-27 WO PCT/US2009/045250 patent/WO2009154967A1/en active Application Filing
- 2009-05-27 CA CA2725521A patent/CA2725521C/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2304739B1 (en) | 2013-05-22 |
US7720197B2 (en) | 2010-05-18 |
CA2725521A1 (en) | 2009-12-23 |
CA2725521C (en) | 2016-08-23 |
US20090296889A1 (en) | 2009-12-03 |
WO2009154967A1 (en) | 2009-12-23 |
EP2304739B9 (en) | 2013-10-02 |
EP2304739A1 (en) | 2011-04-06 |
JP5588971B2 (ja) | 2014-09-10 |
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